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1. 发明授权

KR101552895B1 워크의 절단방법 有权
标题翻译：切割工作方法
公开(公告)号：KR101552895B1
公开(公告)日：2015-09-14
申请号：KR1020107029217
申请日：2009-06-04
申请人： 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤
发明人： 키타가와,코지 , 토미,카즈야
IPC分类号： B28D5/04 , B24B27/06
CPC分类号： B28D5/045 , B24B27/0633 , B28D5/0088
摘要： 본발명은, 복수의와이어가이드사이에나선형으로감긴와이어에의해형성되는와이어열(列)에, 워크홀더에지지된원주상의워크(work)를압압하고, 워크와와이어의접촉부에슬러리를공급하면서와이어를주행시킴으로써, 워크를웨이퍼형태로절단하는절단방법에있어서, 와이어열에의해형성되는평면에대하여워크의축방향을경사시켜절단하는것으로서, 워크의경사를, 와이어열의평면에서떨어진쪽이, 와이어가이드가축방향으로신장되는쪽이되도록경사시킨후 절단하는워크의절단방법이다. 이에의해, 워크를와이어소(wire saw)로정밀도있게절단하여, 양호한 Warp 형상의웨이퍼로만들수 있는절단방법이제공된다.

2. 发明授权

KR100291047B1 원통형 단결정을 제조하는 방법과 장치 및 반도체 웨이퍼를 절삭하는 방법 有权
标题翻译：用于制造圆柱形单晶的工艺和装置以及用于切割半导体晶片的工艺
公开(公告)号：KR100291047B1
公开(公告)日：2001-05-15
申请号：KR1019990018842
申请日：1999-05-25
申请人： 실트로닉 아게
发明人： 엘크루그한스 , 룬드트홀거 , 안드래크리스찬 , 프룸요세프
IPC分类号： C30B33/00 , G01N23/20 , H01L21/304
CPC分类号： B24B47/22 , B24B49/12 , B28D5/0058 , B28D5/0088 , Y10S117/902 , Y10T117/1004 , Y10T117/1008
摘要： 본발명은결정격자의가급적근소한배열오차를가진반도체물질의원통형단결정을제조하는방법및 장치에관한것이다. 또한본 발명은와이어톱질에의해 2개이상의그러한단결정으로반도체웨이퍼를절삭하는방법에관한것이다. 단결정을제조하는방법은다음스텝으로구성되어있다. a) 많아야 1.5와동일한결정격자의배열오차를가진단결정이제조된다. b) 단결정은단결정이 2개회전축을회전할수 있게배치되며, 이때회전축은χ,y,z 축을가진직각좌표계의 2개축에의해걸쳐있는 2개면에수직이다. c) 단결정은결정축이좌표계의χ,y 면에, 또좌표계의χ,z 면에평행될때까지회전축을회전한다. e) 패드는단결정의단부에끼워맞추어진다. f) 단결정은결정축을회전하며, 이때단결정은연삭기에있는패드사이에죄여지며, 그리고단결정의측면은단결정이특정한균일직경을가질때까지연삭된다.

3. 发明授权

KR101495150B1 샤프트암과 편심캠을 이용한 잉곳 틸팅장치 有权
标题翻译：倾斜装置采用轴臂和偏心凸轮
公开(公告)号：KR101495150B1
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：KR1020140124155
申请日：2014-09-18
申请人： (주)새한나노텍
发明人： 안국진 , 권대근
IPC分类号： H01L21/301 , H01L21/677 , H01L21/02
CPC分类号： B28D5/0088 , B28D5/045
摘要： 본 발명은 와이어 슬라이싱 장치의 샤프트암과 편심캠을 이용한 잉곳 틸팅장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 와이어 슬라이싱 장치에 의해 절단되는 잉곳을 틸팅 가능하도록 고정하여 잉곳과 다이아몬드 와이어와의 마찰열을 감소시키고 절단 면적을 최소화함으로써, 절단 속도를 증가시켜 절단 시간을 감소시킴과 동시에 잉곳의 절단에 의해 형성되는 웨이퍼의 절단면을 고르게 절단할 수 있는 틸팅 기능이 구비된 샤프트암과 편심캠을 이용한 잉곳 틸팅장치에 관한 것이다.
이에 의해, 본 발명은 다음과 같은 효과를 갖는다.
첫째, 와이어 슬라이싱 장치에 의해 절단되는 잉곳을 틸팅 가능하도록 고정하여 잉곳과 다이아몬드 와이어와의 마찰열을 감소시키고 절단 면적을 최소화함으로써, 다이아몬드 와이어가 손상되는 것을 방지하고 이에 따라 잉곳의 절단에 의해 형성되는 웨이퍼의 절단면을 고르게 할 수 있는 효과가 있다. 둘째, 잉곳과 다이아몬드 와이어와의 절단 면적을 최소화함에 따라 잉곳의 절단 속도를 증가시켜 절단 시간을 감소시킬 수 있는 효과가 있다. 세째, 틸팅과정에서 종래 구동모터의 정,역방향 구동에 따른 과부하를 제거하고 풀리구동에 따른 동작 오차를 제거할 수 있는 효과를 가진다.
摘要翻译：本发明涉及一种使用线轴切割装置的轴臂和偏心臂的锭倾斜装置，更具体地，涉及一种使用具有倾斜功能的轴臂和偏心臂的锭锭装置，其可以减少摩擦铸锭和金刚石线之间的热量，通过可切割地固定由切线装置切割的锭料来最小化切割区域，由此可以提高切割速度以缩短切割时间，并形成一个摆动的切割表面通过切割锭可以均匀切割。根据本发明，使用轴臂和偏心臂的锭倾斜装置，其安装在包括基部构件的线切割装置中，用于切割的线取出装置，张力调节装置，升降装置，切割装置，用于切割的线缠绕装置和控制器，包括：固定并联接到升降装置的下部的基架; 支撑框架，其垂直地联接到所述基架的两个下部; 以及可旋转地安装在两个支撑框架上以固定和倾斜铸锭的倾斜单元。倾斜单元包括：分别安装在两个支撑框架（220,220'）上的旋转轴（230,230'）; 与所述旋转轴（230,230'）的一个旋转轴（230）轴联接的轴承（231）; 驱动马达（240），其安装在所述基座框架（210）上，并且偏心臂（241）轴联接到驱动轴; 将所述偏心臂（241）与所述轴承（231）连接以将所述驱动马达（240）的旋转力传递到所述旋转轴（230,230'）的轴臂（243）; 以及旋转固定部，其安装成将两个旋转轴（230,230'）彼此连接以通过所述旋转轴（230,230'）的旋转而旋转并且将锭（D）固定在其中。偏心臂（241）包括具有突起形状并且可旋转地设置在其一端上的臂随动件，使得电动机的驱动力偏心地施加。偏心臂241可旋转地安装并沿着具有带状的凸轮连杆244的内圆周表面连接，该凸轮连杆244设置在轴臂的一侧，以允许旋转轴往复运动和振动。因此，本发明具有以下效果。首先，可以减少铸锭和金刚石线之间的摩擦热，并且通过将由切线装置切割的锭倾斜地固定来最小化切出面积。因此，可以防止对金刚丝线的损伤，并且可以均匀地切割通过切割锭形成的摇摆的切口表面。第二，由于锭和金刚石线的切出面积最小化，可以提高锭切割速度以缩短切割时间。第三，可以在倾斜过程中根据传统驱动电机的正向/反向驱动来消除过载，并且根据滑轮驱动消除操作错误。

4. 发明公开

KR1020130015549A 사파이어 잉곳 가공용 지그 失效
标题翻译： JIG用于处理SAPPHIRE INGOT
公开(公告)号：KR1020130015549A
公开(公告)日：2013-02-14
申请号：KR1020110077593
申请日：2011-08-04
申请人： 주식회사 케이엠에이치하이텍 , 비아이신소재 주식회사
发明人： 박종인 , 오응세 , 이종찬
IPC分类号： B28D5/00 , B28D7/04 , C30B29/20
CPC分类号： B28D5/0088
摘要： PURPOSE: A jig for processing a sapphire ingot is provided to oppositely apply elastic force to a mounting part tilted by an elastic member interposed between a base part and a tilting plate, thereby preventing the mounting part from moving. CONSTITUTION: A jig for processing a sapphire ingot includes a mounting part(10), a base part(20), a separating part, and a tilting part(30). The mounting part is equipped with a settling member(11) on which the sapphire ingot is settled. The base part placed at the lower portion of the mounting part supports the mounting part. The separating part interposed between the base part and the mounting part separates the mounting part from the base part. The tilting part coupled with the mounting part and the base part tilts the mounting part. The tilting part includes a tilting plate(31), a tilting shaft(32), and a tilting fixing member(33). The tiling plate is coupled to and in contact with the lower surface of the mounting part. Through holes are respectively formed at the lateral portions of at least two sides of the tilting plate. The tilting shafts inserted into the through holes are fastened to positions corresponding to the through holes of the base part. The tilting fixing members coupled to the outer circumference surfaces of the tilting shaft fix the base to be tilted. Elastic members(42) respectively interposed between the edges of the tilting plate and the base part apply force such that the tilting plate and the base part pull each other.
摘要翻译：目的：提供一种用于处理蓝宝石锭的夹具，以相反的方式将弹性力施加到由插入在基部和倾斜板之间的弹性构件倾斜的安装部分上，从而防止安装部移动。构成：用于处理蓝宝石锭的夹具包括安装部分（10），基部（20），分离部分和倾斜部分（30）。安装部件配备有沉积物（11），蓝宝石锭在其上沉降。放置在安装部的下部的基部支撑安装部。插入在基部和安装部之间的分离部将安装部与基部分离。与安装部和基部结合的倾斜部倾斜安装部。倾斜部包括倾斜板（31），倾斜轴（32）和倾斜固定部件（33）。平铺板与安装部件的下表面联接并与其接触。通孔分别形成在倾斜板的至少两侧的侧部。插入到通孔中的倾斜轴被固定到与基部的通孔对应的位置。联接到倾斜轴的外周表面的倾斜固定构件固定待倾斜的基座。分别插入在倾斜板的边缘和基部之间的弹性构件（42）施加力，使得倾斜板和基部相互拉离。

5. 发明公开

KR1020120036462A 잉곳을 마운팅하는 빔 无效
标题翻译：光束安装好
公开(公告)号：KR1020120036462A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：KR1020100098157
申请日：2010-10-08
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 김성호
IPC分类号： B28D7/04 , B28D5/04 , H01L21/304 , B26D7/01
CPC分类号： B28D5/0088 , H01L21/02002 , H01L21/304
摘要： PURPOSE: A beam for mounting a ingot is provided to prevent misalignment of ingot and beam caused by ingot flow by supporting a rounded portion of ingot by guide units. CONSTITUTION: A beam for mounting an ingot(212) includes a lower part(312), an upper side, a lateral sides(410,420), first and second guide units(314,316). Ingot is attached to the lower part. The upper side faces the lower side. The lateral sides are formed between lower part and the upper side. The first and second guide units are respectively projected from the one side end and the other side end part. There is a first inclination angle between one side of the first guide part and the lower part. There is a second inclination angle between one side of the second guide part and the lower part. The first and second inclination angles are bigger than the third inclination angle.
摘要翻译：目的：提供用于安装锭的梁，以通过引导单元支撑锭的圆形部分来防止由锭流引起的锭和梁的错位。构造：用于安装锭（212）的梁包括下部（312），上侧，侧边（410,420），第一和第二引导单元（314,316）。锭子附在下部。上侧面向下侧。侧面形成在下部和上侧之间。第一和第二引导单元分别从一个侧端和另一侧端部突出。在第一引导部分的一侧和下部之间存在第一倾斜角度。在第二引导部分的一侧和下部之间存在第二倾斜角度。第一和第二倾斜角度大于第三倾斜角度。

6. 发明公开

KR1020080038377A 디스크 형상 기판의 펴짐, 분리 및 운반을 위한 장치 및 방법 失效
标题翻译：用于分离和运输基板的装置和方法
公开(公告)号：KR1020080038377A
公开(公告)日：2008-05-06
申请号：KR1020087004916
申请日：2007-07-05
申请人： 레나 게엠베하
发明人： 헤르테르,리차르트 , 칼텐바흐,콘라트
IPC分类号： B28D5/00 , H01L21/68 , H01L21/677
CPC分类号： B28D5/0082 , B28D5/0088 , H01L21/67092 , H01L21/67126 , H01L21/6776
摘要： The invention particularly relates to separating and transporting a disk-shaped substrate (102; 202), such as a solar wafer. The invention is characterized in that separation steps are performed within a fluid and that adhesive forces develop between a gripper (108; 208) and the substrate to be separated (102; 202) due to a thin fluid film, the forces enabling adhesion to the gripper (108; 208). Due to the removal transversely to the feed direction (105; 205) or particularly parallel to a flat extension of the substrates (102; 202), a very gentle and efficient separation of disk-shaped substrates (102; 202) at a high cycle time is achieved.
摘要翻译：本发明特别涉及分离和输送诸如太阳能晶片的盘形基板（102; 202）。本发明的特征在于，分离步骤在流体内进行，并且由于薄的流体膜，夹持器（108; 208）和要分离的基底（102; 202）之间的粘合力产生粘附力，夹具（108; 208）。由于横向于馈送方向（105; 205）或特别平行于衬底（102; 202）的平坦延伸部的移除，以高循环非常平缓和有效地分离盘形衬底（102; 202）时间到了。

7. 发明公开

KR1020020095719A 다이아몬드 다이스의 홀 가공장치 失效
标题翻译：金刚石加工孔的装置
公开(公告)号：KR1020020095719A
公开(公告)日：2002-12-28
申请号：KR1020010033902
申请日：2001-06-15
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 박정래 , 이기성
IPC分类号： B28D5/00
CPC分类号： B28D5/0088 , B28D5/0058 , B28D7/043
摘要： PURPOSE: A device for processing a hole of a diamond dice is provided to improve the dice processing efficiency by precisely centering an upper and a lower tapes of a dice. CONSTITUTION: A device for processing a hole of a diamond dice comprises a jig clamp(162) for installing a diamond dice, a dice jig(166) for installing the jig clamp, a power resource for rotating the dice jig, a rotating table on which the dice jig and the power resource are installed and having shafts on both ends, an angle adjusting handle(104) installed at one side of the shafts and rotating the rotating table, and an X-Y stage(120) installed under the rotating table and moving the rotating table in the X direction and the Y direction.
摘要翻译：目的：提供一种用于处理钻石骰子孔的装置，以通过精确地对中骰子的上部和下部带来提高骰子加工效率。构成：用于处理金刚石骰子的孔的装置包括用于安装金刚石骰子的夹具夹（162），用于安装夹具夹的骰子夹具（166），用于旋转骰子夹具的动力资源，旋转工作台其中骰子夹具和动力资源被安装并且在两端具有轴，安装在轴的一侧并旋转旋转台的角度调节手柄（104）和安装在旋转台下方的XY台（120）在X方向和Y方向移动旋转台。

8. 发明公开

KR20180036702A 워크홀더 및 워크의 절단방법 审中-公开
标题翻译：工件夹具和工件的切割方法
公开(公告)号：KR20180036702A
公开(公告)日：2018-04-09
申请号：KR20187002347
申请日：2016-07-12
IPC分类号： B24B27/06 , B28D5/04 , B28D7/04 , H01L21/304
CPC分类号： B24B27/06 , B28D5/0088 , B28D5/045
摘要： 본발명은, 와이어소로워크를절단할때에이용되는워크홀더로서, 워크에당판을개재하여접착고정되는워크플레이트와, 워크플레이트를지지하는홀더본체를구비하고, 워크의직경방향중, 워크플레이트의워크접착면에평행한방향을 x축방향, 수직인방향을 y축방향으로한 경우, 워크플레이트는, x축방향의워크의결정방위축의어긋남을수정하여워크에접착고정되고, 워크홀더는, 워크플레이트를 y축방향으로비스듬히함으로써, 워크플레이트에유지되는워크의 y축방향의기울기를조정하고, 조정된기울기로워크플레이트및 워크를상기홀더본체에고정할수 있는워크홀더이다. 이에따라, 단결정잉곳의방위조정기구를구비하는와이어소를사용하지않아도, 외단부착방식으로방위규격이엄격한사양의잉곳의절단을실현가능한워크홀더및 이것을이용한워크의절단방법이제공된다.
摘要翻译：本发明提供一种工件支架切割导线牛工作时使用，通过dangpan工作夹持器体，用于支撑所述工作板设置被粘接和固定时，一工作板，并在工作径向方向上，板的工作工作情况下平行于x轴方向的粘合剂表面上的一个方向，在垂直于y轴方向，工作板的方向，通过改变晶体取向轴沿x轴被粘接并固定到工件上，所述工件保持器，工件的工件位移由在y轴方向上的角板，以调节工件板保持的工作的y轴方向的倾斜，并且可以固定到所述保持器主体到工件并与倾斜调整的工作板的工件支架。 Yiettara，它不需要使用具有单晶锭的轴承调节器小丝，在外端附接方法提供了使用一种可行的工作夹持器切割工件的方法，并且该切割硬要求轴承规格的铸锭的。

9. 发明公开

KR1020150052920A 태양 전지 제조용 스크라이빙 장치 审中-实审
标题翻译：用于制造太阳能电池的SCRIBING装置
公开(公告)号：KR1020150052920A
公开(公告)日：2015-05-15
申请号：KR1020130134298
申请日：2013-11-06
申请人： 삼성에스디아이 주식회사
发明人： 이동호 , 남정규 , 허광수 , 김수진
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/04
CPC分类号： H01L31/022425 , B26D3/085 , B28D5/0023 , B28D5/0088 , H01L31/0463 , H01L31/18 , H01L31/1884 , Y02E10/50 , Y10T83/0333
摘要： 태양전지제조용스크라이빙장치및 이를이용한태양전지의제조방법에관한기술이개시된다. 본발명의일 측면에따르면, 태양전지를제조하기위한기판을지지하는스테이지부, 상기기판상에형성된박막에스크라이빙공정을수행하는스크라이빙유닛, 상기박막에스크라이빙공정이수행되도록상기스테이지부및 상기스크라이빙유닛중 적어도하나를이동시키는이동부를포함하는, 태양전지제조용스크라이빙장치가제공된다.
摘要翻译：提供了一种用于制造太阳能电池的划线装置和使用该装置的太阳能电池的制造方法。根据本发明的一个实施例，提供了一种用于制造太阳能电池的划线装置，包括：台架单元，其支撑基板以制造太阳能电池; 划线单元，对形成在基板上的薄膜进行划线处理; 以及移动单元，其移动台单元和划线单元中的至少一个，以对薄膜进行划线处理。

10. 发明公开

KR1020140100195A 잉곳 절단 장치 有权
标题翻译：一个装备的装置
公开(公告)号：KR1020140100195A
公开(公告)日：2014-08-14
申请号：KR1020130013202
申请日：2013-02-06
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 이정훈 , 이상준 , 박성욱 , 문철규
IPC分类号： B28D5/04 , B28D7/04
CPC分类号： B28D5/0088 , B28D5/0058
摘要： An embodiment of the present invention includes a body; a table protruded from the body; a support unit arranged on the table and supporting the side of an ingot including a first surface, a second surface, and a side surface between the first and second surfaces; a transfer unit arranged between the support unit and table, while transferring the support unit; and a cutting unit arranged on the body, while cutting the ingot supported by the support unit. The support unit is capable of adjusting the height of a portion of the side surface of the ingot.
摘要翻译：本发明的一个实施例包括一个主体; 从身体突出的桌子; 支撑单元，布置在桌子上并支撑包括第一表面，第二表面和第一表面和第二表面之间的侧表面的锭的侧面; 传送单元，布置在支撑单元和工作台之间，同时传送支撑单元; 以及切割单元，其布置在所述主体上，同时切割由所述支撑单元支撑的所述锭。支撑单元能够调节锭的侧表面的一部分的高度。

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