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1. 发明公开

KR1020140079946A 가공물 센터링 유닛 및 이를 이용한 가공물 센터링 방법 审中-实审
标题翻译： WORKPEICE CENTERING UNIT AND METHOD FOR CINTERING WORKPIECE WITH THE SAME
公开(公告)号：KR1020140079946A
公开(公告)日：2014-06-30
申请号：KR1020120149177
申请日：2012-12-20
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 문철규 , 이상준 , 박성욱
IPC分类号： H01L21/304 , B24B37/04 , H01L21/68
CPC分类号： B24B41/06 , B23Q3/183 , H01L21/67259
摘要： Disclosed are a workpiece centering unit and a method for centering a workpiece using the same to reduce time for a centering operation and to enable an accurate centering operation. According to an embodiment of the present invention, the workpiece centering unit comprises a support; and a centering gauge disposed on the top of the support. The centering gauge comprises a support guide at both ends of a workpiece; an upper sensor engaged with the top of the support guide; and a lower sensor which is disposed to face the upper sensor and which is engaged with the bottom of the support guide.
摘要翻译：本发明公开了一种工件定心单元和使用该工件对准工件的方法，以减少对中操作的时间并且能够进行精确的对中操作。根据本发明的实施例，工件定心单元包括支撑件; 以及设置在支撑件顶部的定中心。定心计包括在工件的两端的支撑引导件; 与传感器顶部接合的上部传感器; 以及下传感器，其设置成面对上传感器并与支撑引导件的底部接合。

2. 发明授权

KR101607160B1 단결정 성장 장치 有权
标题翻译：单晶生长装置
公开(公告)号：KR101607160B1
公开(公告)日：2016-03-29
申请号：KR1020140097056
申请日：2014-07-30
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 문철규 , 이상준 , 최영규 , 윤성훈
IPC分类号： C30B15/10 , C30B15/00 , C30B29/06
摘要： 실시예는서로다른직경을갖는복수의단열판을포함하고, 복수의단열판은원통형상의측면, 측면의상부에서외곽으로연장되어돌출되는상부돌출부및 측면의하부에서내부로연장되어돌출된하부돌출부를포함하는단열부재및 이를포함하는단결정성장장치를제공하며, 가변형인단열부재로인하여단결정성장중에도도가니의상승위치에관계없이챔버내의공간의단열효과를증대시킬수 있다.

3. 发明公开

KR1020170048726A 단결정 잉곳 성장장치 审中-实审
标题翻译：单晶锭生长装置
公开(公告)号：KR1020170048726A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：KR1020150149169
申请日：2015-10-27
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 윤성훈 , 이종은 , 주용진 , 문철규
IPC分类号： C30B15/00 , C30B29/06
摘要： 실시예는챔버; 상기챔버내에배치되는도가니; 상기도가니의측부에배치되는가열부; 상기챔버측벽에배치되어상기가열부의열을차폐하는열차폐부; 상기열차폐부의상단부에배치되고, 상기도가니의상부에위치하는홀이중앙부에형성된핫존덮개부; 및상기핫존덮개부의상부에배치되는단열유닛을포함하고, 상기단열유닛은, 상기핫존덮개부의홀과대응하는관통홀이형성되고, 상기핫존덮개부의홀의중심에대하여수직방향으로이동하는제1 단열부재; 상기챔버의상측면에구비되어상기제1 단열부재를인상시키는인상부재; 및상기제1 단열부재와상기핫존덮개부사이에배치되고, 상기제1 단열부재의이동에따라상하방향으로가변적인높이를갖는제2 단열부재를포함하는단결정잉곳성장장치를제공한다.
摘要翻译：一个实施例包括腔室; 置于腔室内的坩埚; 加热单元，设置在坩埚的一侧; 隔热部分，其设置在腔室的侧壁上以屏蔽加热部分的热量; 热阴极盖，设置在隔热部分的上端，并且在其中心部分具有位于坩埚上部的孔; 且其中所述绝热部的上方的热区盖部分包括设置在热绝缘单元是，所述通孔对应于所述热区覆盖部孔形成，所述第一绝缘在垂直方向相对于热区盖部孔的中心移动成员; 提升构件，设置在腔室的上侧以提起第一绝热构件; 并且，第二绝热部件配置在第一绝热部件与第二绝热部件之间，伴随着第一绝热部件的移动而在上下方向上具有可变高度。

4. 发明授权

KR101509343B1 단결정 성장을 위한 도핑 장치 및 도핑 방법 有权
标题翻译：单晶生长的掺杂工具和掺杂法
公开(公告)号：KR101509343B1
公开(公告)日：2015-04-07
申请号：KR1020130120157
申请日：2013-10-08
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 문철규 , 이상준 , 최윤환 , 공정현
IPC分类号： C30B15/04 , C30B15/20 , C30B29/06
摘要： 본발명의실시예에따른실리콘단결정성장용도핑장치는, 쵸크랄스키법에따라실리콘융액으로부터실리콘단결정을성장시키기위한도핑장치로서, 실리콘융액중심부의상부에위치하고, 챔버상부와연결되는뚜껑부및 상기뚜껑부의외주면과결합되는도펀트로딩부를포함하고, 상기뚜껑부는원판형상의덮개부와, 상기덮개부의외주부에서중심방향으로경사면을갖는경사부를포함하고, 상기도펀트로딩부는상기덮개부외주부와체결되는원통형상의외측부와, 상기외측부내측에상기외측부보다높이와직경이작게형성되는원통형상의내측부와, 상기외측부와내측부의하단을연결하는링 형상의바닥부를포함한다.
摘要翻译：根据本发明的实施例的用于单晶生长的掺杂装置是用于从基于切克劳斯基法的硅熔体生长硅单晶，并且包括设置在硅熔体的中心部分的上部的盖单元，连接到室的上部; 以及耦合到所述盖单元的外周表面的掺杂物加载单元，其中所述盖单元包括盘形盖单元和从所述盖单元的外周部分沿中心方向具有倾斜表面的倾斜部; 并且所述掺杂物加载单元包括联接到所述盖单元的外周部的圆筒形外部，形成在所述圆筒形外部部分内的具有比所述圆筒形外部的高度和直径小的圆柱形内部，以及环形状的底部将圆柱形外部部分与圆柱形内部部分的下端连接。

5. 发明授权

KR101446719B1 잉곳 절단 장치 有权
标题翻译：一个装备的装置
公开(公告)号：KR101446719B1
公开(公告)日：2014-10-06
申请号：KR1020130013202
申请日：2013-02-06
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 이정훈 , 이상준 , 박성욱 , 문철규
IPC分类号： B28D5/04 , B28D7/04
摘要： 실시 예는 몸체, 상기 몸체로부터 돌출되는 테이블, 상기 테이블 상에 배치되고, 제1면, 제2면, 및 상기 제1면과 상기 제2면 사이의 측면을 포함하는 잉곳의 상기 측면을 지지하는 지지부, 상기 지지부와 상기 테이블 사이에 배치되고, 상기 지지부를 이동시키는 이송부, 및 상기 몸체에 배치되고, 상기 지지부에 의해 지지되는 상기 잉곳을 절단하는 절단부를 포함하며, 상기 지지부는 상기 잉곳의 상기 측면의 일 부분의 높이를 조절한다.

6. 发明公开

KR1020160014909A 단결정 성장 장치 有权
标题翻译：热绝缘组件和单晶生长装置，包括它们
公开(公告)号：KR1020160014909A
公开(公告)日：2016-02-12
申请号：KR1020140097056
申请日：2014-07-30
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 문철규 , 이상준 , 최영규 , 윤성훈
IPC分类号： C30B15/10 , C30B15/00 , C30B29/06
摘要： 실시예는서로다른직경을갖는복수의단열판을포함하고, 복수의단열판은원통형상의측면, 측면의상부에서외곽으로연장되어돌출되는상부돌출부및 측면의하부에서내부로연장되어돌출된하부돌출부를포함하는단열부재및 이를포함하는단결정성장장치를제공하며, 가변형인단열부재로인하여단결정성장중에도도가니의상승위치에관계없이챔버내의공간의단열효과를증대시킬수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种绝热构件和包括该绝热构件的单晶生长装置。绝热构件包括具有不同直径的多个隔热板，其中隔热板包括：圆柱形的一侧; 从上侧向外侧延伸并突出的上部突出部; 下突出单元从下侧向内延伸并突出。不管由于可变隔热构件而在单晶生长期间坩埚的上升位置如何，可以增加腔室中的空间的绝热效果。

7. 发明公开

KR1020140100195A 잉곳 절단 장치 有权
标题翻译：一个装备的装置
公开(公告)号：KR1020140100195A
公开(公告)日：2014-08-14
申请号：KR1020130013202
申请日：2013-02-06
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 이정훈 , 이상준 , 박성욱 , 문철규
IPC分类号： B28D5/04 , B28D7/04
CPC分类号： B28D5/0088 , B28D5/0058
摘要： An embodiment of the present invention includes a body; a table protruded from the body; a support unit arranged on the table and supporting the side of an ingot including a first surface, a second surface, and a side surface between the first and second surfaces; a transfer unit arranged between the support unit and table, while transferring the support unit; and a cutting unit arranged on the body, while cutting the ingot supported by the support unit. The support unit is capable of adjusting the height of a portion of the side surface of the ingot.
摘要翻译：本发明的一个实施例包括一个主体; 从身体突出的桌子; 支撑单元，布置在桌子上并支撑包括第一表面，第二表面和第一表面和第二表面之间的侧表面的锭的侧面; 传送单元，布置在支撑单元和工作台之间，同时传送支撑单元; 以及切割单元，其布置在所述主体上，同时切割由所述支撑单元支撑的所述锭。支撑单元能够调节锭的侧表面的一部分的高度。

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