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1. 发明公开

KR1020150089331A 잉곳 절단 장치 审中-实审
标题翻译：装置的装置
公开(公告)号：KR1020150089331A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：KR1020140009817
申请日：2014-01-27
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 김성호
IPC分类号： B28D1/08 , B28D7/04 , B26D1/553
CPC分类号： B28D5/045 , B23D61/185 , B28D5/0082 , H01L21/02002 , H01L21/304
摘要： 실시예는일단에형성되는제1 홈, 및상기제1 홈의측벽에배치되는제1 베어링을포함하는제1 스핀들, 일단에형성되는제2 홈, 및상기제2 홈의측벽에배치되는제2 베어링을포함하는제2 스핀들, 메인롤러, 일단이상기제1 홈내에삽입되고, 타단이상기메인롤러의일단과체결되는제1 커넥터, 일단이상기제2 홈내에삽입되고, 타단이상기메인롤러의타단과체결되는제2 커넥터, 및상기메인롤러의외주면에감기는와이어를포함한다.
摘要翻译：根据实施例，一种用于切割锭的装置包括：第一轴，其中第一槽形成在具有布置在第一凹槽的侧壁上的第一轴承的端部上; 第二主轴，其中在具有布置在所述第二凹槽的侧壁上的第二轴承的端部上形成第二凹槽; 主辊; 第一连接器，其中端部插入到第一槽中，另一端连接到主辊的端部; 第二连接器，其中端部插入到第二槽中，另一端连接到主辊的另一端; 以及围绕主辊的外周面缠绕的线。

2. 发明公开

KR1020120036462A 잉곳을 마운팅하는 빔 无效
标题翻译：光束安装好
公开(公告)号：KR1020120036462A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：KR1020100098157
申请日：2010-10-08
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 김성호
IPC分类号： B28D7/04 , B28D5/04 , H01L21/304 , B26D7/01
CPC分类号： B28D5/0088 , H01L21/02002 , H01L21/304
摘要： PURPOSE: A beam for mounting a ingot is provided to prevent misalignment of ingot and beam caused by ingot flow by supporting a rounded portion of ingot by guide units. CONSTITUTION: A beam for mounting an ingot(212) includes a lower part(312), an upper side, a lateral sides(410,420), first and second guide units(314,316). Ingot is attached to the lower part. The upper side faces the lower side. The lateral sides are formed between lower part and the upper side. The first and second guide units are respectively projected from the one side end and the other side end part. There is a first inclination angle between one side of the first guide part and the lower part. There is a second inclination angle between one side of the second guide part and the lower part. The first and second inclination angles are bigger than the third inclination angle.
摘要翻译：目的：提供用于安装锭的梁，以通过引导单元支撑锭的圆形部分来防止由锭流引起的锭和梁的错位。构造：用于安装锭（212）的梁包括下部（312），上侧，侧边（410,420），第一和第二引导单元（314,316）。锭子附在下部。上侧面向下侧。侧面形成在下部和上侧之间。第一和第二引导单元分别从一个侧端和另一侧端部突出。在第一引导部分的一侧和下部之间存在第一倾斜角度。在第二引导部分的一侧和下部之间存在第二倾斜角度。第一和第二倾斜角度大于第三倾斜角度。

3. 发明授权

KR100942144B1 더블 쏘우 와이어 잉곳 절단장치 失效
标题翻译：使用双电源线切割插座的设备
公开(公告)号：KR100942144B1
公开(公告)日：2010-02-16
申请号：KR1020070129165
申请日：2007-12-12
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 김성호 , 이영래 , 강희명
IPC分类号： B28D5/04 , H01L21/304 , B28D5/00
摘要： 본 발명은 더블 쏘우 와이어 잉곳 절단장치를 개시한다. 본 발명에 따른 더블 쏘우 와이어 잉곳 절단장치는, 잉곳을 절단하는 쏘우 와이어; 상부와 하부에 2개의 절단 구간을 제공하도록 상기 쏘우 와이어를 감아서 폐루프로 회전시키는 복수의 와이어롤러; 및 제1 잉곳이 장착된 상부테이블이 설치된 상부유닛과, 제2 잉곳이 장착된 하부테이블이 설치된 하부유닛, 및 상기 하부유닛을 기준으로 상부유닛이 상하 직선 이동이 가능하도록 상기 상부 유닛과 하부 유닛을 상호 결합시키는 직선 이동 가이더를 구비하고, 상기 제1 및 제2 잉곳을 각각 상기 상부 절단 구간 및 하부 절단 구간으로 동시에 이동시키는 잉곳 이동유닛을 포함한다.
본 발명에 따르면, 메인 롤러의 그루브를 재형성한 후 수행하는 갭(Gap) 조정 작업 시 스페이서를 사용하지 않고 조정을 용이하게 수행할 수 있다. 따라서, 작업자가 무거운 잉곳 이동유닛을 취급할 필요가 없고, 갭 조정 작업에 소요되는 시간 또한 현저히 단축시킬 수 있다.
잉곳, 쏘우 와이어, 잉곳 절단장치, 웨이퍼

4. 发明公开

KR1020090062068A 더블 쏘우 와이어 잉곳 절단장치 失效
标题翻译：使用双电源线切割插座的设备
公开(公告)号：KR1020090062068A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：KR1020070129165
申请日：2007-12-12
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 김성호 , 이영래 , 강희명
IPC分类号： B28D5/04 , H01L21/304 , B28D5/00
CPC分类号： B28D5/0058 , B28D5/045
摘要： An apparatus for slicing ingot using double saw wire is provided to perform gap correction without using a spacer and a heavy ingot carriage. An apparatus for slicing ingot comprises a double saw wire(200) cutting ingot, a plurality of wire rollers which roll the double saw wire into a closed loop so as to provide upper and lower cutting sections, and an ingot moving unit(400). The ingot moving unit is composed of an upper unit(401) in which an upper table with a first ingot is mounted, a lower unit(402) in which a lower table with a second ingot is mounted, and a linear movement guider(470) which combines the upper and lower units so that the upper unit can move up and down linearly, and moves the first and the second ingot to the respective upper and lower cutting sections at the same time.
摘要翻译：提供了一种使用双锯线切割锭的设备，以便在不使用间隔件和沉重的锭块托架的情况下执行间隙校正。一种用于切割锭的装置包括双锯线（200）切割锭，将双锯线卷绕成闭合回路以提供上切割部分和下切割部分的多个线辊以及锭移动单元（400）。锭移动单元由安装有第一锭的上台的上单元（401），安装有第二锭的下台的下单元（402）和线移动导向器（470）），其结合上部和下部单元，使得上部单元可以线性地上下移动，并且同时将第一和第二锭移动到相应的上部和下部切割部。

5. 发明公开

KR1020100036809A 웨이퍼 슬라이싱 장치 有权
标题翻译：装置摆放的装置
公开(公告)号：KR1020100036809A
公开(公告)日：2010-04-08
申请号：KR1020080096198
申请日：2008-09-30
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 김성호 , 김근태 , 최원구
IPC分类号： H01L21/301 , H01L21/78
CPC分类号： B28D5/045 , B28D5/0082
摘要： PURPOSE: An apparatus for slicing a wafer is provided to prevent foreign materials from flowing through a gap between roller shafts and a spindle shaft by sealing the gap between the roller shafts and the spindle shaft. CONSTITUTION: The both ends of a plurality of roller shafts(22) are combined to a pair of support frames. A plurality of spindles(30) includes a spindle body(31), a spindle shaft(32) and a bearing(33). The spindle shaft is combined to the roller shafts and is inserted into the hollow part of the spindle body. The bearing is interposed between the spindle body and the spindle shaft and supports the spindle shaft to be rotatable. An o-ring is interposed between the roller shafts and the spindle shaft.
摘要翻译：目的：提供一种用于切片晶片的设备，以通过密封辊轴和主轴之间的间隙来防止异物流过辊轴和主轴之间的间隙。构成：多个辊轴（22）的两端组合成一对支撑框架。多个主轴（30）包括主轴主体（31），主轴（32）和轴承（33）。主轴与滚子轴组合，插入主轴主体的中空部分。轴承插入在主轴主体和主轴之间，并支撑主轴可转动。 O形圈插入辊轴和主轴之间。

6. 发明授权

KR101222275B1 슬러리 공급시스템 有权
标题翻译：泥浆供应系统
公开(公告)号：KR101222275B1
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：KR1020100097168
申请日：2010-10-06
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 김성호
IPC分类号： H01L21/301 , B24B27/06 , B28D5/04
摘要： 실시예는 슬러리 공급시스템에 관한 것이다.
실시예에 따른 슬러리 공급시스템은 단결정 잉곳 절단장치에 사용되는 슬러리 공급시스템에 있어서, 슬러리가 공급되는 제1 슬러리 노즐 봉; 상기 공급된 슬러리가 분사될 수 있도록 상기 제1 슬러리 노즐 봉 상측에 형성되고, 서로 이격된 복수의 홀 형태의 제1 홀 분사구; 상기 제1 홀 분사구의 홀들을 막아주도록 상기 제1 슬러리 노즐 봉 내부에 구비되고, 상기 제1 홀 분사구의 홀 사이즈보다 작은 홀들로 이루어진 슬러리 걸름망; 상기 제1 슬러리 노즐봉을 내포하도록 구비된 제2 슬러리 노즐 봉; 및 상기 제2 슬러리 노즐 봉 하측에 라인 형태로 구성되며, 서로 평행한 방향으로 배열된 제1,2 홈 분사구;를 포함하며, 상기 제1 홈 분사구와 상기 제2 홈 분사구의 중심으로부터 상기 제2 홈 분사구까지의 각도는 20°~40°로 구성된다.

7. 发明授权

KR101014299B1 웨이퍼 슬라이싱 장치 有权
标题翻译：用于切片晶片的装置
公开(公告)号：KR101014299B1
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：KR1020080096198
申请日：2008-09-30
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 김성호 , 김근태 , 최원구
IPC分类号： H01L21/301 , H01L21/78
摘要： 본 발명은 잉곳을 낱장으로 잘라내기 위한 웨이퍼 슬라이싱 장치를 제공한다. 본 발명에 따른 웨이퍼 슬라이싱 장치는 상호 이격되어 배치되는 한 쌍의 지지프레임, 일방향으로 길게 형성되어 양단이 한 쌍의 지지프레임에 회전가능하게 결합되는 복수의 롤러샤프트, 중공형으로 지지프레임에 결합되는 스핀들바디와, 롤러샤프트와 결합되며 스핀들바디의 중공부에 회전가능하게 끼워지는 스핀들샤프트와, 스핀들바디와 스핀들샤프트 사이에 개재되어 스핀들샤프트를 회전가능하게 지지하는 베어링을 포함하여 이루어지는 복수의 스핀들, 복수의 롤러샤프트에 감기어 이송되는 와이어를 구비하며, 롤러샤프트와 스핀들샤프트 사이에 개재되는 오링을 더 구비하는 것에 특징이 있다.

8. 发明授权

KR101263132B1 고니오미터 및 고니오미터의 사용방법 有权
标题翻译： GONIOMETER及其使用方法
公开(公告)号：KR101263132B1
公开(公告)日：2013-05-20
申请号：KR1020110143822
申请日：2011-12-27
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 김성호
IPC分类号： G01B9/10 , B28D5/00
摘要： PURPOSE: A goniometer and a utilization method thereof are provided to exquisitely align a cutting direction of a silicon ingot and to obtain a wafer and a semiconductor chip with desired performance. CONSTITUTION: A goniometer(1) comprises an ingot orientation measurement unit(2), a pair of rollers(3,4), and an additive mounting unit(7). A silicon ingot is mounted on the rollers. The additive mounting unit is arranged between the rollers, and additives which are to be fixed to the silicon ingot are mounted on the additive mounting unit.
摘要翻译：目的：提供测角仪及其利用方法，以精细地对准硅锭的切割方向，并获得具有期望性能的晶片和半导体芯片。构成：测角器（1）包括锭方向测量单元（2），一对辊（3,4）和添加剂安装单元（7）。硅锭安装在滚筒上。添加剂安装单元布置在辊之间，并且要固定到硅锭的添加剂安装在添加剂安装单元上。

9. 发明公开

KR1020120035568A 슬러리 공급시스템 有权
标题翻译：浆料供应系统和包括其中的单晶的锯切装置
公开(公告)号：KR1020120035568A
公开(公告)日：2012-04-16
申请号：KR1020100097168
申请日：2010-10-06
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 김성호
IPC分类号： H01L21/301 , B24B27/06 , B28D5/04
CPC分类号： B28D5/007 , B28D5/045
摘要： PURPOSE: A slurry supply system and a single crystal ingot cutting apparatus including the same are provided to improve equipment performance by reducing equipment delay time during a slurry nozzle washing process. CONSTITUTION: Slurry is supplied to a first slurry nozzle rod(110). A first nozzle hole(H1) is formed on the outside of the first slurry nozzle rod. The first nozzle hole comprises hole type nozzles which are separated from each other. A slurry filtering net(115) is arranged inside of the first slurry nozzle rod. The first slurry nozzle rod and the filtering net have a cylindrical shape.
摘要翻译：目的：提供一种浆料供应系统和包括该浆料供应系统的单晶锭切割设备，以通过在浆料喷嘴清洗过程中减少设备延迟时间来提高设备性能。构成：将浆料供应到第一浆料喷嘴杆（110）。第一喷嘴孔（H1）形成在第一浆料喷嘴杆的外侧。第一喷嘴孔包括彼此分离的孔型喷嘴。浆料过滤网（115）布置在第一浆料喷嘴杆的内部。第一浆料喷嘴杆和过滤网具有圆柱形状。

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