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1. 发明授权

KR101908885B1 3차원 곡률형상을 갖는 솔라 웨이퍼의 제조장치 有权
公开(公告)号：KR101908885B1
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：KR1020180029101
申请日：2018-03-13
申请人： 장희철 , 장형일
发明人： 장희철 , 장형일
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0392 , H01L21/02
CPC分类号： H01L31/18 , H01L21/02002 , H01L31/03926
摘要： 본발명은 3차원곡률형상을갖는솔라웨이퍼의제조장치에관한것으로, 하우징(100)과, 상기하우징(100) 내부에서회전하는한 쌍의메인롤러(20)(20')와, 상기한 쌍의메인롤러(20)(20')를경유하되, 일단은하우징(100) 내부에설치된제1보빈(10)에권취되고, 타단은제2보빈(10')에권치되는다이아몬드와이어(W)와, 상기한 쌍의메인롤러(20)(20')의상부에설치되며잉곳(I) 장착된헤드(30) 로이루어지되, 상기헤드(30)가하강하여한 쌍의메일롤러(20)(20') 사이로잉곳(I)을삽입시키며, 상기잉곳(I)은한 쌍의메인롤러(20)(20')를경유하는다이아몬드와이어(W)에의해절단되는것으로, 본발명은잉곳을절단하여솔라웨이퍼를제조함에있어웨이퍼의양면에일정한피치와산이형성시킬수 있게다이아몬드와이어가권취되어정, 역회전하는한 쌍의메인롤러와잉곳이접착된헤드가 Z축의하강작동과 A축의전후이송작동을프로그램으로동기화시켜구현시킴으로태양광의집광효율을향상시키고잉곳으로양면이곡률을갖는솔라웨이퍼의절단, 제조하는시간을 4-9시간으로단축시켜생산성을향상시키며다이아몬드와이어의정, 역구동, 이송및 장력조절장치에의하여웨이퍼의불량률을최소화하고다이아몬드와이어의단선을최소화하여작업의연속성을향상시킬수 있는등의현저한효과가있다.

2. 发明公开

KR1020180073216A 와이어 쏘우를 이용한 잉곳 커팅 방법 有权
公开(公告)号：KR1020180073216A
公开(公告)日：2018-07-02
申请号：KR1020160176829
申请日：2016-12-22
申请人： (주)제이쓰리
发明人： 오형천 , 이경환 , 권재훈 , 전세력
IPC分类号： H01L21/78 , B23D57/00 , B28D5/04 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/78 , B23D57/0007 , B23D57/003 , B28D5/045 , H01L21/02002
摘要： 와이어쏘우를이용한잉곳커팅방법에관하여개시한다. 본발명의일 측면에따르면, 조형물을준비하는단계와, 조형물을잉곳에결합하는단계와, 조형물과결합된상기잉곳을와이어쏘우장치에장착하는단계와, 조형물과결합된잉곳을와이어를이용하여커팅하는단계를포함하는와이어쏘우를이용한잉곳커팅방법이제공된다.

3. 发明授权

KR101841551B1 잉곳 가압 장치 및 이를 포함하는 잉곳 절단 장치 有权
公开(公告)号：KR101841551B1
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：KR1020160156597
申请日：2016-11-23
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 전수인
IPC分类号： H01L21/78 , H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/60 , B28D5/04 , B28D7/00 , B28D7/04
CPC分类号： B28D5/045 , B28D5/0064 , B28D5/0076 , B28D5/0082 , H01L21/78 , B28D7/005 , B28D7/04 , H01L21/02002 , H01L21/67005 , H01L2021/60172
摘要： 본실시예에따른가압헤드는잉곳절단장치의가압헤드에있어서, 상기가압헤드의각부에대해별도의압력제어가가능하도록압축공기를공급하는공압공급포트가복수개 형성된헤드본체; 상기헤드본체의하단에상기공압공급포트에대응하는위치에설치되어, 각공압공급포트에의해공급되는압축공기에의해잉곳측면에압력을가하는가압수단; 상기각 가압수단의하면에설치되어각 복수개의가압수단사이의압력편차를조절하는공압보정수단; 상기공압보정수단의하측면에접촉되게설치되며, 그하면이잉곳측면에직접접촉가압하는접착판; 및상기헤드본체, 가압수단, 공압보정수단, 접착판을결합시켜지지하는결합지지수단을포함할수 있다.

4. 发明公开

KR1020170135684A 레이저 가공 장치 및 웨이퍼의 생성 방법 审中-实审
标题翻译：激光加工设备和生产晶圆的方法
公开(公告)号：KR1020170135684A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：KR1020170060934
申请日：2017-05-17
申请人： 가부시기가이샤 디스코
发明人： 히라타가즈야 , 유비라야스요시
IPC分类号： H01L21/78 , H01L21/268 , H01L21/02 , H01L21/683 , H01L21/67
CPC分类号： B23K26/0622 , B23K26/0006 , B23K26/0057 , B23K26/032 , B23K26/035 , B23K26/0823 , B23K26/0853 , B23K26/10 , B23K26/364 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K2201/40 , B23K2203/50 , C30B29/406 , C30B33/06 , H01L21/02002 , H01S3/0085 , H01S3/1003
摘要： (과제) GaN 잉곳을효율적으로절단하여 GaN 웨이퍼를생성할수 있는레이저가공장치, 및그 GaN 웨이퍼의생성방법을제공하는것이다. (해결수단) GaN 잉곳으로부터 GaN 웨이퍼를생성하는레이저가공장치로서, 척테이블에유지된 GaN 잉곳에대하여투과성을갖는파장의레이저빔을조사하는레이저빔 조사수단을포함한다. 그레이저빔 조사수단은, 레이저빔을발진하는레이저발진기를포함하고, 그레이저발진기는, 고주파의펄스레이저를발진하는시더와, 그시더가발진한고주파펄스를소정의반복주파수로솎아내어복수개의그 고주파펄스를서브펄스로하여 1 버스트펄스를생성하는솎아냄부와, 생성한그 버스트펄스를증폭시키는증폭기를포함한다.
摘要翻译：发明内容本发明提供一种能够高效率地切割GaN晶锭来制造GaN晶片的激光加工装置以及GaN晶片的制造方法。一种用于从GaN锭产生GaN晶片的激光处理设备包括激光束照射装置，用于向保持在卡盘台上的GaN锭照射具有透射率的激光束。激光束照射装置，多个，并且包括激光振荡器振荡的激光束，激光振荡器，并且更在其期间高频脉冲激光的振荡，geusi出减薄更假发浓缩高频脉冲以预定的重复频率作为产生一个脉冲串脉冲的子脉冲的高频脉冲，以及用于放大产生的脉冲串脉冲的放大器。

5. 发明公开

KR1020170126407A 레이저 가공 장치 审中-实审
标题翻译：激光加工设备
公开(公告)号：KR1020170126407A
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：KR1020170056805
申请日：2017-05-04
申请人： 가부시기가이샤 디스코
发明人： 기리하라나오토시
IPC分类号： H01L21/78 , H01L21/268 , H01L21/683 , H01S3/00
CPC分类号： H01L21/02002 , B23K26/032 , B23K26/0617 , B23K26/0624 , B23K26/0648 , B23K26/0853 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K26/402 , B23K2201/40 , H01L21/30 , H01L21/44 , H01L21/78
摘要： 본발명은, 큰힘을필요로하지않고기판을분할할수 있는실드터널을형성할수 있는레이저가공장치를제공하는것을목적으로한다. 레이저가공장치의집광기는구면수차의기능을갖는다. 집광기가구면수차의기능을갖고있기때문에, 조사되는레이저광선의횡단면의위치에따라집광점위치를웨이퍼의두께방향으로연속적으로변화시킬수 있다. 이에따라, 레이저광선의한 번의조사에의해, 웨이퍼의표면으로부터이면에걸쳐세공과이 세공을둘러싸는비정질로이루어진균질한실드터널을형성할수 있다.
摘要翻译：本发明的目的在于提供一种激光加工装置，其能够形成能够分割基板而不需要较大强度的遮蔽通道。激光加工装置的聚光器具有球面像差的功能。根据照射的激光束的横截面的位置，可以在晶片的厚度方向上连续改变聚光点的位置。因此，通过激光束的单次照射，可以形成由晶片的从表面到背面的孔隙和孔周围的非晶材料制成的均匀的屏蔽通道。

6. 发明公开

KR1020160143529A 웨이퍼의 생성 방법 审中-实审
标题翻译：如何创建晶圆
公开(公告)号：KR1020160143529A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：KR1020160066447
申请日：2016-05-30
申请人： 가부시기가이샤 디스코
发明人： 히라타가즈야
IPC分类号： H01L21/78 , H01L21/76 , H01L21/02 , H01L21/268
CPC分类号： B23K26/0057 , B23K26/0006 , B23K26/53 , B23K2203/56 , B24B7/228 , B28D5/0011 , C30B33/00 , H01L21/7806 , H01L21/02002 , H01L21/02598 , H01L21/268 , H01L21/76 , H01L2924/35121
摘要： 본발명은, 상면이 c면과일치하는육방정단결정웨이퍼로부터상면에소정의오프각을갖는육방정단결정웨이퍼를경제적으로생성할수 있는웨이퍼의생성방법을제공하는것을목적으로한다. c면이상면에노출되고 c면과직교하는 c축을갖는육방정단결정잉곳으로부터α의오프각을갖는웨이퍼를생성하는웨이퍼의생성방법으로서, 쐐기각도α의쐐기형부재를통해지지테이블로상기육방정단결정잉곳을지지하고, 상기상면을수평면에대하여오프각(α)만큼경사지게하는지지단계와, 상기육방정단결정잉곳에대하여투과성을갖는파장의레이저빔의집광점을상기상면으로부터제1 깊이에위치시킴과더불어, 상기집광점과상기육방정단결정잉곳을상기오프각(α)이형성되는제2 방향과직교하는제1 방향으로상대적으로이동시켜레이저빔을상기상면으로조사하고, 상기육방정단결정잉곳의내부에직선형의개질층과상기개질층으로부터 c면을따라신장되는크랙을형성하는개질층형성단계와, 상기제2 방향으로상기집광점을상대적으로이동시켜소정량인덱싱이송하는인덱싱단계를포함한다.
摘要翻译：本发明的目的是提供一个顶表面以产生所述六角形顶点晶片，可以经济地生产具有对从决定如何将c面匹配晶片的上表面的预定偏离角的水晶晶片的六边形顶点。由于c面被暴露于至少面c侧，并产生正交的晶片，以产生通过在楔角α的楔形部件，其具有在所述支撑台的六方晶系晶体的c轴具有从所述六角形顶点晶锭α的关断角的晶片的方法并支撑所述正终端确定该锭，并支承包括：由角（α）相对于所述上表面倾斜关闭的水平表面，用波长相对于透光性六边形顶点晶锭到第一深度从所述上表面上的激光束的聚光点将激光束照射到上表面上并且使六方晶锭在与第二方向正交的第一方向上相对移动，和改性层形成所述锭的内部的步骤，以形成从重整层的直线沿着c平面延伸的裂纹和重整层，通过相对地移动所述聚光点在第二方向上的索引托运人的一个预定量它包括一个分度步骤。

7. 发明公开

KR1020160099852A 슬릿 코터용 슬릿 노즐 및 이를 사용한 약액 공급 시스템 有权
标题翻译： SLIT喷嘴和用于供应化学溶液的系统
公开(公告)号：KR1020160099852A
公开(公告)日：2016-08-23
申请号：KR1020150022047
申请日：2015-02-13
申请人： 주식회사 엔씨에스
发明人： 이상일
IPC分类号： H01L21/02 , B05B1/00 , H01L21/67 , H01L21/56
CPC分类号： H01L21/02002 , B05B1/00 , H01L21/56 , H01L21/67017
摘要： 슬릿코터용슬릿노즐및 이를사용한약액공급시스템이개시된다. 본발명에따른슬릿코터용슬릿노즐및 이를사용한약액공급시스템은, 약액이저장되는약액저장부와약액저장부에저장된약액을전달받아기판으로분사하는노즐부가별도로마련되어상호결합된다. 그러므로, 노즐부의심플레이트를교체하거나, 노즐부의수리가필요할시, 노즐부를약액저장부로부터분리한다음, 노즐부만을분해하여필요한작업을수행하면된다. 그러므로, 유지보수작업이대단히편리한효과가있을수 있다.
摘要翻译：公开了一种缝隙涂布机的狭缝喷嘴和使用其的化学溶液供给系统。在狭缝涂布机用狭缝喷嘴和根据本发明的化学溶液供给系统中，存储有化学溶液的化学溶液存储单元和接收存储在化学溶液储存器中的化学溶液的喷嘴单元单元并将化学溶液喷射到基底上，分别制备，然后彼此耦合。因此，当要更换喷嘴单元的垫片或者要修理喷嘴单元时，喷嘴单元与化学溶液存储单元分离，只有喷嘴单元被拆卸才能进行必要的处理。因此，可以非常方便地进行维护处理。

8. 发明公开

KR1020160094416A 탄화규소용 층 전사 기술 审中-实审
标题翻译：硅碳复合层传输技术
公开(公告)号：KR1020160094416A
公开(公告)日：2016-08-09
申请号：KR1020167017717
申请日：2014-12-02
申请人： 주식회사 스트라티오코리아 , 스트라티오 인코포레이티드
发明人： 이제형 , 정우식
IPC分类号： H01L29/36 , H01L29/16 , H01L21/02 , H01L21/324
CPC分类号： H01L21/76254 , H01L21/02002 , H01L21/02381 , H01L21/02529 , H01L21/02694 , H01L21/31 , H01L29/0649 , H01L29/1608 , H01L29/36 , H01L21/02378 , H01L21/02472 , H01L21/02554 , H01L21/324
摘要： 탄화규소층을포함하는소자및 그러한소자를만들기위한방법이개시된다. 방법은양성자가주입된제1 탄화규소웨이퍼를획득하는단계; 제1 탄화규소웨이퍼위에스핀-온-글라스의제1 층을도포하는단계; 제1 반도체기판을획득하는단계; (ⅰ) 스핀-온-글라스의제1 층을 (ⅱ) 제1 반도체기판에접합하는단계; 및탄화규소의제1 층이제1 반도체기판위에남아있도록제1 탄화규소웨이퍼의스플리팅을개시하기위해서제1 탄화규소웨이퍼를가열하는단계를포함한다. 반도체소자는반도체기판; 반도체기판위에위치되는스핀-온-글라스의제1 층; 스핀-온-글라스의제1 층위에위치되는탄화규소의제1 층; 탄화규소의제1 층위에위치되는스핀-온-글라스의제2 층; 및스핀-온-글라스의제2 층위에위치되는탄화규소의제2 층을포함한다.

9. 发明公开

KR1020160078581A 처리액 공급 방법 및 기판 처리 장치 有权
标题翻译：供应用于处理基材的化学和设备的方法
公开(公告)号：KR1020160078581A
公开(公告)日：2016-07-05
申请号：KR1020140187980
申请日：2014-12-24
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 정영헌 , 서경진 , 유혜정 , 조수현
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： H01L21/02 , H01L21/02002 , H01L21/02005
摘要： 본발명은처리액을공급하는방법및 장치를제공한다. 기판에처리액을공급하는방법으로는, 제1케미칼과순수를혼합하여상기처리액을생성하되, 상기순수는상기제1케미칼과혼합전에가열된상태로공급되고, 가열된상기순수의양에의해상기처리액의농도및 온도가조절된다. 이에따라현상공정의쓰루풋을향상시키고, 처리액의사용량을줄일수 있다.
摘要翻译：本发明提供一种供给处理液的方法及其装置。在向基板供给处理液的方法中，混合第一化学纯水并产生处理液，在纯水与第一化学品混合之前，以加热状态供给纯水，浓度和处理液的温度通过加热的纯水的量来调节。因此，可以提高显影处理的生产量，并且可以减少使用处理液体的量。

10. 发明公开

KR1020160075149A 샤워헤드 有权
标题翻译： SHOWERHEAD
公开(公告)号：KR1020160075149A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：KR1020140184772
申请日：2014-12-19
申请人： 주식회사 테스
发明人： 이상선 , 김진영 , 안명헌 , 윤병호 , 김재우
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： H01L21/02 , H01L21/02002 , H01L21/02005
摘要： 본발명은샤워헤드내부에서파우더가발생되는것이방지되도록구조가개선된샤워헤드에관한것이다. 본발명에따른샤워헤드는기판처리장치에설치되어기판으로가스를공급하기위한것으로, 가스가공급되는가스유로가형성되어있는상부플레이트와, 다수의분사홀이관통형성되어있으며, 상부플레이트와의사이에확산공간이형성되도록상부플레이트의하방에결합되는분사플레이트와, 상부플레이트의상면에결합되며, 상부플레이트를가열하는가열패드를포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种具有改进结构的淋浴喷头，以防止在淋浴头内产生粉末。根据本发明，将淋浴头安装在基板处理装置上以向基板供给气体。淋浴头包括：上板，其上形成有供给气体的气体流路; 喷射板，其上形成有多个喷射孔，穿过该喷射孔，并连接到上板的下部，使得在上板和喷涂板之间形成扩散空间; 以及联接到上板的上表面并加热上板的加热垫。

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