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1. 发明授权

KR101362362B1 사파이어 잉곳 제조용 성장로의 하부 실드 失效
标题翻译：用于制造SAPPHIRE INGOT的胆固醇含量
公开(公告)号：KR101362362B1
公开(公告)日：2014-02-13
申请号：KR1020120000212
申请日：2012-01-02
申请人： 주식회사 케이엠에이치하이텍 , 비아이신소재 주식회사
发明人： 박종인 , 홍영곤 , 김현수 , 이종찬
IPC分类号： C30B35/00 , C30B29/20 , H01L33/00 , C30B11/00
摘要： 본 발명은 사파이어 잉곳 제조용 성장로의 하부 실드에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 사파이어 잉곳 제조용 성장로의 하부 실드는 다수의 통공이 판면에 관통 형성되며, 사파이어 잉곳 성장로의 하부에 다층으로 중첩 배치되는 복수의 원형 단열 플레이트;와, 스페이서는 중앙에 관통홀이 형성되어 인접한 한 쌍의 원형 단열 플레이트의 통공 사이에 각각 개재되는 스페이서; 및, 상기 원형 단열 플레이트의 통공과 스페이서의 관통홀을 관통하여 복수의 원형 단열 플레이트를 고정하는 체결부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 사파이어 잉곳 성장로 내의 온도 분포의 형성에 영향을 주는 하부 실드의 형상 정밀도와 배치 정밀도의 확보를 용이하게 한 사파이어 잉곳 제조용 성장로의 하부 실드가 제공된다.

2. 发明公开

KR1020130035025A 사파이어 단결정 성장장치 및 그에 이용되는 냉각 지지대 失效
标题翻译：用于生长SAPPHIRE单晶和冷却支架的装置
公开(公告)号：KR1020130035025A
公开(公告)日：2013-04-08
申请号：KR1020110099236
申请日：2011-09-29
申请人： 주식회사 케이엠에이치하이텍 , 비아이신소재 주식회사
发明人： 박종인 , 김현철 , 이종찬
IPC分类号： C30B11/00 , C30B29/20 , H01L33/00
CPC分类号： C30B29/20 , C30B11/003 , C30B35/00 , H01L33/16
摘要： PURPOSE: An apparatus for growing a sapphire single crystal and a cooling supporter are provided to facilitate a cooling process by removing a coating layer after a growth process is completed. CONSTITUTION: A cooling supporter(30) supports a crucible(10). The cooling supporter is located on the lower sides of the crucible and the heater. A heatproof coating layer(50) is formed on the cooling supporter and a contact surface with the lower side of the crucible. A thickness of the heatproof coating layer is 0.1 to 1 mm.
摘要翻译：目的：提供用于生长蓝宝石单晶和冷却支持体的装置，以便在生长过程完成之后通过去除涂层来促进冷却过程。构成：冷却支架（30）支撑坩埚（10）。冷却支架位于坩埚和加热器的下侧。在冷却支架上形成有耐热涂层（50）和与坩埚的下侧的接触面。耐热涂层的厚度为0.1〜1mm。

3. 发明公开

KR1020130022024A 대구경 사파이어 분석용 에칭장치 失效
标题翻译：用于分析具有大直径的SAPPHIRE的装置
公开(公告)号：KR1020130022024A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：KR1020110084664
申请日：2011-08-24
申请人： 주식회사 케이엠에이치하이텍 , 비아이신소재 주식회사
发明人： 박종인 , 오응세 , 이종찬
IPC分类号： G01N1/32 , G01N21/87
摘要： PURPOSE: An etching device for analyzing a large-sized sapphire is provided to obtain the etching device for an EDP(Electronic Data Processing) measurement optimized for the sapphire and to etch a plurality of the large-sized sapphires at one time. CONSTITUTION: An etching device for analyzing a large-sized sapphire comprises a housing unit(1), an etching chamber(2), a temperature control unit(3), a heating unit, and a wafer cassette. The etching chamber accommodates etching solution, forms an internal space to dip the sapphire into the etching solution, and has an opening on the top surface. The temperature control unit is installed inside the housing unit, thereby being installed outside of the etching chamber. The wafer cassette includes a plurality of slots for loading a plurality of sapphire wafers and is inserted into the etching chamber.
摘要翻译：目的：提供用于分析大尺寸蓝宝石的蚀刻装置，以获得为蓝宝石优化的EDP（电子数据处理）测量的蚀刻装置，并一次蚀刻多个大尺寸蓝宝石。构成：用于分析大尺寸蓝宝石的蚀刻装置包括壳体单元（1），蚀刻室（2），温度控制单元（3），加热单元和晶片盒。蚀刻室容纳蚀刻溶液，形成内部空间以将蓝宝石浸入蚀刻溶液中，并且在顶表面上具有开口。温度控制单元安装在壳体单元内，从而安装在蚀刻室的外部。晶片盒包括用于加载多个蓝宝石晶片的多个槽，并插入到蚀刻室中。

4. 发明授权

KR101347060B1 사파이어 단결정 성장장치 및 그에 이용되는 냉각 지지대 失效
标题翻译：用于生长SAPPHIRE单晶和冷却支架的装置
公开(公告)号：KR101347060B1
公开(公告)日：2014-01-07
申请号：KR1020110099236
申请日：2011-09-29
申请人： 주식회사 케이엠에이치하이텍 , 비아이신소재 주식회사
发明人： 박종인 , 김현철 , 이종찬
IPC分类号： C30B11/00 , C30B29/20 , H01L33/00
摘要： 본 발명은 사파이어 단결정 성장장치 및 그에 이용되는 냉각 지지대에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 사파이어 단결정 성장장치는 도가니, 히터 및 상기 도가니의 하부에 위치하여 상기 도가니를 지지하는 냉각 지지대를 포함하는 사파이어 단결정 성장장치에 있어서, 상기 냉각 지지대와 상기 도가니의 하부면 과의 접촉면에 내열 코팅층이 형성된 것을 된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 사파이어 단결정 성장장치에 의하면 사파이어 단결정 성장 시 도가니와 냉각 지지대가 고온에 노출되는 경우, 접합 되어 분리가 어려운 문제점을 방지할 수 있는 장점이 있다.

5. 发明公开

KR1020130044891A 사파이어 잉곳 클램핑 장치 失效
标题翻译：镊子夹钳装置
公开(公告)号：KR1020130044891A
公开(公告)日：2013-05-03
申请号：KR1020110109230
申请日：2011-10-25
申请人： 주식회사 케이엠에이치하이텍 , 비아이신소재 주식회사
发明人： 박종인 , 오응세 , 이종찬
IPC分类号： B24B41/06 , B28D5/00 , H01L21/304
CPC分类号： B28D5/0082 , B24B41/06
摘要： PURPOSE: A device for clamping a sapphire ingot is provided to settle the center of the cylindrical sapphire ingot to the center of a mounting unit of a base without separate operation. CONSTITUTION: A device for clamping a sapphire ingot comprises a base(110), a clamp(130), and a fixing unit(140). The fixing unit includes an assembly block, a fixing shaft, and a fixing nut(144). The assembly block is rotatably installed to the base. The fixing shaft penetrates through the clamp and is connected to the assembly block. The fixing nut is screw-connected to the end portion of the fixing shaft and supports the clamp.
摘要翻译：目的：提供一种用于夹持蓝宝石锭的装置，用于将圆柱形蓝宝石锭的中心固定到基座的安装单元的中心，而不需要单独操作。构成：用于夹持蓝宝石锭的装置包括基座（110），夹具（130）和固定单元（140）。固定单元包括组装块，固定轴和固定螺母（144）。组装块可旋转地安装在基座上。固定轴穿过夹具并连接到组装块。固定螺母螺纹连接到固定轴的端部并支撑夹具。

6. 发明公开

KR1020130042297A 잉곳 검사 지그 失效
标题翻译： INGOT检查大
公开(公告)号：KR1020130042297A
公开(公告)日：2013-04-26
申请号：KR1020110106507
申请日：2011-10-18
申请人： 주식회사 케이엠에이치하이텍 , 비아이신소재 주식회사
发明人： 박종인 , 오응세 , 이종찬
IPC分类号： H01L21/66 , C30B27/00
摘要： PURPOSE: An ingot inspection jig is provided to improve the convenience of a process by performing the visual inspection of a sapphire ingot using one jig. CONSTITUTION: A support unit includes two frames(52a,52b). A turn table(54) is rotatably arranged in one frame. One end of a roller is inserted into one of the frames. The other end of the roller is inserted into the other frame. A rotation transmission member transfers rotation force to the turn table.
摘要翻译：目的：提供一种锭检查夹具，通过使用一个夹具进行蓝宝石锭的目视检查来提高工艺的便利性。构成：支撑单元包括两个框架（52a，52b）。转台（54）可旋转地布置在一个框架中。辊的一端插入其中一个框架。辊的另一端插入另一个框架。旋转传递部件将旋转力传递到转台。

7. 发明公开

KR1020130035017A 사파이어 단결정 제조용 냉각 장치 失效
标题翻译：用于生长SAPPHIRE单晶的冷却装置
公开(公告)号：KR1020130035017A
公开(公告)日：2013-04-08
申请号：KR1020110099223
申请日：2011-09-29
申请人： 주식회사 케이엠에이치하이텍 , 비아이신소재 주식회사
发明人： 박종인 , 김현철 , 이종찬
IPC分类号： C30B11/00 , C30B29/20 , H01L33/00
CPC分类号： C30B11/003 , H01L21/67098 , H01L21/67248 , H01L33/00
摘要： PURPOSE: A cooling apparatus for manufacturing a sapphire single crystal is provided to reduce manufacturing costs by reusing refrigerants for cooling a seed through a circulation process. CONSTITUTION: A refrigerant supply tube(111) and a refrigerant discharge tube(112) are formed in a refrigerant circulation unit(110). The refrigerant supply tube supplies refrigerants to a seed crystal part. The refrigerant discharge tube discharges the refrigerants to cool the lower side of a crucible. A first cooling part(120) has a dual tube structure of an inner tube and an outer tube. A second cooling part(130) includes a cooling bath to receive the first cooling part.
摘要翻译：目的：提供用于制造蓝宝石单晶的冷却装置，以通过循环过程重新使用用于冷却种子的制冷剂来降低制造成本。构成：制冷剂供给管（111）和制冷剂排出管（112）形成在制冷剂循环单元（110）中。制冷剂供给管将制冷剂供给到晶种部。制冷剂排出管排出制冷剂以冷却坩埚的下侧。第一冷却部件（120）具有内管和外管的双管结构。第二冷却部件（130）包括用于接纳第一冷却部件的冷却槽。

8. 发明公开

KR1020140044544A 단결정 성장장치 및 성장방법 无效
标题翻译：单晶生长系统和方法
公开(公告)号：KR1020140044544A
公开(公告)日：2014-04-15
申请号：KR1020120110641
申请日：2012-10-05
申请人： 비아이신소재 주식회사
发明人： 박종인 , 이종찬 , 김현수 , 홍영곤
IPC分类号： C30B11/00 , C30B29/30 , H01L33/00 , C30B35/00
CPC分类号： C30B15/10 , C30B15/20 , H01L21/02598 , H01L21/67098
摘要： The purpose of the present invention is to quantitatively and actively control the temperature gradient in a crucible, to minimize residual stress in a direction parallel with respect to a longitudinal direction when a single crystal is grown by suppressing deformation through structural reinforcement of a chamber, to prevent the formation of cracks or rupture, and to increase the diameter of a single crystal. To achieve this, the present invention includes a crucible (30) which is installed in a chamber (10) to move up and down; a side heater (22) installed at the side part of the crucible (30); a lower heater (24) installed in the lower part of the crucible (30); a cooling rod (40) which penetrates the chamber (10) and the lower heater (24) to touch the crucible (30) and moves up and down; an operation unit (50) for operating the cooling rod (40); and an electric field device (7) for individually controlling heating conditions for the side heater (22) and the lower heater (24) and vertical movement conditions of the cooling rod (40).
摘要翻译：本发明的目的是定量和主动地控制坩埚中的温度梯度，以通过抑制通过室的结构加强的变形来生长单晶时在与纵向方向平行的方向上的残余应力最小化到防止形成裂纹或破裂，并增加单晶的直径。为了实现这一点，本发明包括安装在室（10）中以上下移动的坩埚（30）; 安装在坩埚（30）的侧部的侧面加热器（22）; 安装在坩埚（30）的下部的下部加热器（24）; 穿过所述室（10）和所述下加热器（24）以接触所述坩埚（30）并上下移动的冷却杆（40）; 操作单元（50），用于操作冷却杆（40）; 以及用于单独控制侧加热器（22）和下加热器（24）的加热条件和冷却杆（40）的垂直运动状态的电场装置（7）。

9. 发明授权

KR101339888B1 대구경 사파이어 분석용 에칭장치 失效
标题翻译：用于分析具有大直径的SAPPHIRE的装置
公开(公告)号：KR101339888B1
公开(公告)日：2013-12-10
申请号：KR1020110084664
申请日：2011-08-24
申请人： 주식회사 케이엠에이치하이텍 , 비아이신소재 주식회사
发明人： 박종인 , 오응세 , 이종찬
IPC分类号： G01N1/32 , G01N21/87
摘要： 본 발명은 대구경 사파이어 분석용 에칭장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 대구경 사파이어 분석용 에칭장치는 대구경 사파이어 웨이퍼의 내부결함을 분석을 위한 대구경 사파이어 분석용 에칭장치에 있어서, 하우징과; 에칭액을 수용하고 상기 사파이어가 상기 에칭액에 담겨지도록 내부공간을 형성하며 상부에 개구부가 형성되어 상기 하우징에 마련되는 에칭챔버와; 상기 에칭챔버의 상기 개구부에 설치되어, 상기 에칭액의 온도를 센싱하는 온도센서와, 상기 에칭액에 직접 접촉하여 상기 에칭액을 직접 가열하며, 높이에 따른 상기 에칭액의 온도차가 발생하지 않도록 상기 에칭챔버 내에서 높이방향을 따라 연장되는 봉형상으로 마련되며, 상기 에칭챔버 내부에서 외부 방향으로 상기 에칭액을 직접 가열하는 봉형상의 히팅봉이 마련되는 온도제어부와; 상기 하우징의 내부에 설치되어 상기 에칭챔버의 외측면을 균일하게 감싸고, 상기 에칭챔버의 외측면에서부터 내부방향으로 열이 전달되도록 가열하는 가열부와; 다수의 사파이어 웨이퍼가 세워져 적재될 수 있도록 다수의 슬롯이 형성되며, 상기 챔버에 인입이 가능하도록 배치되는 웨이퍼 카세트를 포함하며, 상기 에칭액이 신속하게 가열되도록 상기 히팅봉과 상기 가열부는 동시에 작동하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 사파이어에 최적화된 EPD 측정용 에칭장치가 제공된다.

10. 发明授权

KR101289660B1 사파이어 잉곳 가공용 지그 失效
标题翻译：加工蓝宝石锭的夹具
公开(公告)号：KR101289660B1
公开(公告)日：2013-07-25
申请号：KR1020110077593
申请日：2011-08-04
申请人： 주식회사 케이엠에이치하이텍 , 비아이신소재 주식회사
发明人： 박종인 , 오응세 , 이종찬
IPC分类号： B28D5/00 , B28D7/04 , C30B29/20
摘要： 본 발명은 사파이어 잉곳 가공용 지그에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 사파이어 잉곳 가공용 지그는 사파이어 잉곳이 안착되는 안착부재가 마련된 마운팅부; 상기 마운팅부의 하부에 배치되어 상기 마운팅부를 지지하는 베이스부; 상기 마운팅부의 하면에 결합되고 이웃하는 두 개의 변의 측부에 관통공이 각각 형성된 틸팅플레이트, 상기 관통공에 삽입되어 상기 베이스부의 상기 관통공과 대응되는 위치에 체결되며 상기 틸팅플레이트가 기울어지도록 상기 틸팅플레이트를 상기 베이스부로부터 멀어지는 방향 또는 가까워지는 방향측으로 이동시키는 틸팅축, 상기 틸팅축의 외주면에 결합되어 상기 베이스부의 기울어진 상태가 유지되도록 상기 틸팅축을 고정하는 틸팅고정부재를 구비하는 틸팅부; 상기 베이스부와 상기 마운팅부 사이에 개재되며 단면이 원형인 고리형상으로 마련되어 기울어지는 마운팅부에 접하는 이격부재, 상기 틸팅플레이트에 상기 베이스부에 가까워지는 방향으로의 탄성력을 인가하는 탄성부재를 구비하는 이격부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여 사파이어 잉곳의 c축이 기울어진 정도를 보정하여 가공할 수 있는 사파이어 잉곳 가공용 지그가 제공된다.

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