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1. 发明申请

WO2008088971A3 TECHNIQUES FOR PROVIDING ION SOURCE FEED MATERIALS 审中-公开
标题翻译：提供离子源材料的技术
公开(公告)号：WO2008088971A3
公开(公告)日：2009-06-11
申请号：PCT/US2008050478
申请日：2008-01-08
申请人： VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT , HATEM CHRISTOPHER R , CHANEY CRAIG R , COBB ERIC R , OLSON JOSEPH C , CAMPBELL CHRIS
发明人： HATEM CHRISTOPHER R , CHANEY CRAIG R , COBB ERIC R , OLSON JOSEPH C , CAMPBELL CHRIS
IPC分类号： H01J27/02 , F17C9/02 , H01J37/08 , H01J37/317
CPC分类号： H01J27/02 , C23C14/246 , C23C14/48 , H01J37/08 , H01J37/3171 , H01J2237/006
摘要： Techniques for providing ion source feed materials are disclosed. In one particular exemplary embodiment, the techniques may be realized as a container for supplying an ion source feed material. The container may comprise an internal cavity to be pre-filled with an ion source feed material. The container may also comprise an outer body configured to be removably loaded into a corresponding housing that is coupled to an ion source chamber via a nozzle assembly. The container may further comprise an outlet to seal in the pre-filled ion source feed material, the outlet being further configured to engage with the nozzle assembly to establish a flow path between the internal cavity and the ion source chamber. The container may be configured to be a disposable component.
摘要翻译：公开了提供离子源进料的技术。在一个特定的示例性实施例中，这些技术可以被实现为用于提供离子源进料的容器。容器可以包括预先填充有离子源进料的内部空腔。容器还可以包括被配置为可移除地装载到经由喷嘴组件耦合到离子源室的相应壳体中的外主体。容器还可以包括密封在预填充的离子源进料中的出口，该出口进一步构造成与喷嘴组件接合以在内腔和离子源室之间建立流动路径。容器可以被配置为一次性部件。

2. 发明申请

WO2009016264A1 DISPOSITIF D'EJECTION D'IONS A EFFET HALL 审中-公开
标题翻译：霍尔效应离子喷射装置
公开(公告)号：WO2009016264A1
公开(公告)日：2009-02-05
申请号：PCT/EP2008/060241
申请日：2008-08-04
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) , GUYOT, Marcel , RENAUDIN, Patrice , CAGAN, Vladimir , BONIFACE, Claude
发明人： GUYOT, Marcel , RENAUDIN, Patrice , CAGAN, Vladimir , BONIFACE, Claude
IPC分类号： H01J27/02 , F03H1/00
CPC分类号： H01J27/02 , F03H1/0075
摘要： La présente invention concerne un dispositif d'éjection d'ions à effet Hall ayant un axe longitudinal (00') sensiblement parallèle à une direction d'éjection des ions et comportant au moins : - un canal annulaire (21 ) principal d'ionisation et d'accélération, le canal annulaire (21 ) étant ouvert à son extrémité, - une anode (26) s'étendant à l'intérieur du canal (21 ), - une cathode (30) s'étendant en dehors du canal (21 ), à la sortie de ce dernier, - un circuit magnétique (4) pour créer un champ magnétique dans une partie du canal annulaire (21 ), ledit circuit comprenant au moins une paroi interne annulaire (22), une paroi externe annulaire (23) et un fond (8) reliant les parois interne (22) et externe (23) et formant la partie aval du circuit magnétique (4), caractérisé en ce que le circuit magnétique (4) est agencé de manière à créer à la sortie du canal annulaire (21 ) un champ magnétique indépendant de l'azimut.
摘要翻译：本发明涉及一种霍尔效应离子喷射装置，其包括基本上平行于离子喷射方向的纵向轴线（00'），并且至少包括：主电离和加速环形通道（21），环形通道（21）最后开放; 在所述通道（21）内延伸的阳极（26）; 在所述通道（21）的出口处延伸到所述通道（21）外部的阴极（30）用于在所述环形通道（21）的一部分中产生磁场的磁路（4），所述电路至少包括环形内壁（22），环形外壁（23）和底部（8）内部（22）和外部（23）环形壁，并限定磁路（4）的下游部分; 其特征在于，磁路（4）布置成在环形通道（21）的出口处形成独立于方位角的磁场。

3. 发明申请

WO2006093076A1 イオン源审中-公开
标题翻译：离子源
公开(公告)号：WO2006093076A1
公开(公告)日：2006-09-08
申请号：PCT/JP2006/303567
申请日：2006-02-27
申请人：国立大学法人京都工芸繊維大学 , 西野茂弘 , 小野了一
发明人：西野茂弘 , 小野了一
IPC分类号： H01J27/22 , H01J27/14 , H01J37/08
CPC分类号： H01J27/14 , H01J27/02 , H01J37/08 , H01J37/3171 , H01J2237/032 , H01J2237/038 , H01J2237/061 , H01J2237/081
摘要： A small ion source excellent in operability. The ion source comprises a tubular insulation tube (2) opened upward and opened at part of its lower surface, a plurality of hollow, tubular permanent magnets (3) provided on the outer peripheral surface of the insulation tube to be arranged in a row in the axial direction of the insulation tube, gas supplying means (34, 35, 20) for supplying gas into the insulation tube, a cathode electrode formed at the tip end thereof with a fitting unit (19) for fitting a solid material (18) thereto, an annular anode electrode (5) to be fitted to the opening in the lower surface of the insulation tube, an upper frame (6) for blocking the upper portion of the insulation tube and suspending the cathode electrode so as to allow the fitting unit to approach the anode electrode, and a lower frame (7) formed with an extracting port (37) for extracting ions emitted from the anode electrode and mounting thereon the insulation tube.
摘要翻译：操作性好的小离子源。离子源包括向上敞开并在其下表面的一部分开口的管状绝缘管（2），设置在绝缘管的外周表面上的多个中空的管状永磁体（3），以排成一行绝缘管的轴向，用于向绝缘管供应气体的气体供给装置（34,35,20），在其前端形成有用于安装固体材料（18）的装配单元（19）的阴极电极，安装在绝缘管的下表面的开口处的环形阳极电极（5），用于阻挡绝缘管的上部并悬挂阴极电极的上框架（6），以允许配合单元接近阳极电极，下框架（7）形成有用于提取从阳极发射的离子并在其上安装绝缘管的提取口（37）。

4. 发明申请

WO2006070744A1 荷電粒子発生装置及び加速器审中-公开
标题翻译：充电颗粒发生器和加速器
公开(公告)号：WO2006070744A1
公开(公告)日：2006-07-06
申请号：PCT/JP2005/023787
申请日：2005-12-26
申请人：国立大学法人京都工芸繊維大学 , 西野茂弘 , 小野了一
发明人：西野茂弘 , 小野了一
IPC分类号： H01J37/16 , G21K1/00 , H01J27/02 , H01J37/04 , H01J37/08 , H05H5/03
CPC分类号： H05H15/00 , H01J27/02 , H01J37/04 , H01J37/16 , H01J37/3171 , H01J2237/0262 , H01J2237/038 , H01J2237/04735 , H01J2237/08
摘要： A charged particle generator having a structure hardly causing electric discharge to the outside and an accelerator having such a charged particle generator and an acceleration tube. The charged particle generator (1) comprises a first box-shaped insulating member (4) having an opening at its top, a second box-shaped insulating member (5) placed in the first box-shaped insulating member (4) and having an opening at its top and a side wall (13) and a bottom portion (14) spaced predetermined distance from the outside adjacent side wall (10) and the bottom portion (9) of the first box-shaped insulating member (4), and an inverted box-shaped insulating member (7) having an opening at its bottom and a side wall (21) inserted in the space between the side walls (10, 13) of the first and second box-shaped insulating members (4, 5). Charged particles generated from a charged particle source (2) installed inside the second box-shaped insulating member (5) are made to emerge through emerging holes (11, 17) formed in the bottom portions (9, 14) of the first and second box-shaped insulating members (4, 5).
摘要翻译：具有几乎不向外部放电的结构的带电粒子发生器和具有这种带电粒子发生器的加速器和加速管。带电粒子发生器（1）包括在其顶部具有开口的第一盒形绝缘构件（4），放置在第一盒形绝缘构件（4）中的第二盒形绝缘构件（5）在其顶部开口，并且与第一盒状绝缘构件（4）的相邻侧壁（10）和底部（9）的外侧隔开预定距离的侧壁（13）和底部（14），以及在其底部具有开口的倒置的箱形绝缘构件（7）和插入第一和第二盒形绝缘构件（4,5）的侧壁（10,13）之间的空间中的侧壁（21））。通过安装在第二箱形绝缘构件（5）内部的带电粒子源（2）产生的带电粒子通过形成在第一和第二盒状绝缘构件（5）的底部（9,14）中的出射孔（11,17）盒形绝缘件（4,5）。

5. 发明申请

WO2005119732A2 NON-AXISYMMETRIC CHARGED-PARTICLE BEAM SYSTEM 审中-公开
标题翻译：非轴对称粒子束系统
公开(公告)号：WO2005119732A2
公开(公告)日：2005-12-15
申请号：PCT/US2005019794
申请日：2005-06-06
申请人： MASSACHUSETTS INST TECHNOLOGY , BHATT RONAK J , CHEN CHIPING , ZHOU JING
发明人： BHATT RONAK J , CHEN CHIPING , ZHOU JING
IPC分类号： H01J3/02 , H01J3/20 , H01J27/02 , H01J29/64 , H01J37/00
CPC分类号： H01J27/02 , G21K1/093 , H01J3/02 , H01J3/12 , H01J3/20 , H01J29/64
摘要： The charged-particle beam system includes a non-axisymmetric diode forms a non-axisymmetric beam having an elliptic cross-section. A focusing element utilizes a magnetic field for focusing and transporting the non-axisymmetric beam, wherein the non-axisymmetric beam is approximately matched with the channel of the focusing element.
摘要翻译：带电粒子束系统包括非轴对称二极管形成具有椭圆截面的非轴对称束。聚焦元件利用磁场来聚焦和传送非轴对称光束，其中非轴对称光束与聚焦元件的通道近似匹配。

6. 发明申请

WO2005031788A2 A SOURCE OF LIQUID METAL IONS AND A METHOD FOR CONTROLLING THE SOURCE 审中-公开
标题翻译：液体金属离子的来源和控制源的方法
公开(公告)号：WO2005031788A2
公开(公告)日：2005-04-07
申请号：PCT/US2004/030589
申请日：2004-09-17
申请人： APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD. , APPLIED MATERIALS, INC. , PEARL, Asher
发明人： PEARL, Asher
IPC分类号： H01J37/08
CPC分类号： H01J37/08 , H01J27/02 , H01J27/26 , H01J2237/08 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749
摘要： The invention provides a system and a method for controlling a source of liquid metal ions, the source comprises a tip a first electrode and a second electrode, the method includes the steps of: (i) maintaining the first electrode at a first voltage level range and maintaining the second voltage at a second voltage at a second voltage range, such as to extract metal ions formed on a tip of the source, during an active mode of operation of the source; and (ii) maintaining the first electrode at a third voltage level range and maintaining the second voltage at a fourth voltage level range, such as to substantially reduce an extraction of metal ions from the tip, during an idle mode of operation of the source. The third voltage level range and, alternatively or additionally, the fourth voltage level ranges does not include zero voltage level. The first voltage level range differs than the third voltage level range.
摘要翻译：本发明提供了一种用于控制液态金属离子源的系统和方法，所述源包括尖端，第一电极和第二电极，所述方法包括以下步骤：（i）将所述第一电极保持在第一电压电平范围以及在所述源的主动操作模式期间将所述第二电压保持在第二电压范围的第二电压，例如提取形成在所述源的尖端上的金属离子; 以及（ii）将所述第一电极保持在第三电压电平范围，并且将所述第二电压保持在第四电压电平范围，例如在所述电源的空闲运行模式期间基本上减少从所述尖端提取金属离子。第三电压电平范围，或者或另外地，第四电压电平范围不包括零电压电平。第一电压电平范围不同于第三电压电平范围。

7. 发明申请

WO2003038086A1 SOFT IONIZATION DEVICE AND APPLICATIONS THEREOF 审中-公开
标题翻译：软离子化装置及其应用
公开(公告)号：WO2003038086A1
公开(公告)日：2003-05-08
申请号：PCT/US2002/020353
申请日：2002-06-25
申请人： IONFINITY LLC , HARTLEY, Frank, T.
发明人： HARTLEY, Frank, T.
IPC分类号： C12N13/00
CPC分类号： H01J49/168 , G01N2223/612 , H01J3/027 , H01J3/04 , H01J27/02 , H01J27/26 , H01J37/08 , H01J49/0018 , H01J49/0427 , H01J2237/061 , H01J2237/0815 , H01J2237/317
摘要： A soft ionization device is disclosed that comprises a series of electrodes (120, 122) having spacing less than the means free path of the molecules to be ionized. In some embodiments, the soft ionization device (99) is used in various applications that require ion or electron sources such as biological or chemical reactors, ion milling, and numerous replacements for conventional hot cathode systems. In another embodiment, a valence spectrometer is disclosed that is configured to variably ionize molecules (301) by their valiancy. In other embodiments, the ionization device is coupled to a spectrometer for the characterization of biological matter. Also disclosed is a preconditioner for preparing biological matter to be ionized.
摘要翻译：公开了一种软电离装置，其包括具有小于待离子化分子的装置自由路径的间隔的一系列电极（120,122）。在一些实施例中，软电离装置（99）用于需要离子或电子源（例如生物或化学反应器，离子铣削）和常规热阴极系统的大量替代品的各种应用中。在另一个实施方案中，公开了一种价态光谱仪，其被配置为可变地以分子（301）离子化分子（301）。在其它实施方案中，将离子化装置耦合到用于表征生物物质的光谱仪。还公开了用于制备待离子化的生物物质的预处理剂。

8. 发明申请

WO2012091709A1 IONIZATION DEVICE 审中-公开
标题翻译：离子装置
公开(公告)号：WO2012091709A1
公开(公告)日：2012-07-05
申请号：PCT/US2010/062450
申请日：2010-12-30
申请人： UTC FIRE & SECURITY CORPORATION , DARDONA, Sameh , PIECH, Marcin , MANTESE, Joseph, V. , ALLSWORTH, Max, D.
发明人： DARDONA, Sameh , PIECH, Marcin , MANTESE, Joseph, V. , ALLSWORTH, Max, D.
IPC分类号： H01J35/02
CPC分类号： H01J27/02 , G01T1/185 , H01J35/065 , H01J35/16 , H01J35/18 , H01J2235/06 , H01J2235/087 , H01J2235/186
摘要： An exemplary ionization device includes a pyroelectric electron accelerator that causes electrons to move away from the accelerator. A silicon target is positioned in a path of the electrons. X-ray radiation results from the electrons colliding with the target.
摘要翻译：示例性电离装置包括使电子远离加速器的热电子加速器。硅靶位于电子的路径中。 X射线辐射是由与电子碰撞的电子产生的。

9. 发明申请

WO2010007368A2 ION SOURCE WITH DEVICE FOR OXIDISING A SAMPLE 审中-公开
标题翻译：离子源与设备用于氧化样品
公开(公告)号：WO2010007368A2
公开(公告)日：2010-01-21
申请号：PCT/GB2009/001753
申请日：2009-07-16
申请人： MICROMASS UK LIMITED , BATEMAN, Robert, Harold
发明人： BATEMAN, Robert, Harold
IPC分类号： H01J37/00
CPC分类号： H01J49/147 , H01J27/02 , H01J49/0077
摘要： An ion source is disclosed wherein a sample is introduced into the sample chamber (1) of the ion source in the gas phase via a sample introduction capillary tube (2). The sample is directed onto a heated surface (6) coated with an oxidising reagent such as copper oxide. Carbon in the sample is oxidised to form carbon dioxide. The resulting carbon dioxide molecules are then ionised by electron impact ionisation with an electron beam (3) and the resulting ions are passed to a mass analyser for mass analysis.
摘要翻译：公开了一种离子源，其中将样品通过样品导入毛细管（2）引入到气相中的离子源的样品室（1）中。样品被引导到涂覆有氧化剂如氧化铜的加热表面（6）上。样品中的碳被氧化形成二氧化碳。然后用电子束（3）通过电子轰击电离将所得二氧化碳分子电离，并将所得离子通过质量分析器进行质量分析。

10. 发明申请

WO2008067563A3 ADAPTIVE CONTROLLER FOR ION SOURCE 审中-公开
标题翻译：用于离子源的自适应控制器
公开(公告)号：WO2008067563A3
公开(公告)日：2008-07-17
申请号：PCT/US2007086179
申请日：2007-11-30
申请人： VEECO INSTR INC , DEAKINS JAMES D , HANSEN DENNIS J , MAHONEY LEONARD J , ERGUDER TOLGA , BURTNER DAVID M
发明人： DEAKINS JAMES D , HANSEN DENNIS J , MAHONEY LEONARD J , ERGUDER TOLGA , BURTNER DAVID M
IPC分类号： H01J37/08 , H01J27/02
CPC分类号： H01J27/02 , H01J37/08 , H01J37/304 , H01J2237/006 , H01J2237/31
摘要： An ion source (406), often used for materials processing applications in a vacuum processing chamber (410), is provided with an adaptive control system (426). The adaptive control system (426) has a microprocessor (425) and memory (427) that regulate the inputs of power (402) and gas flow (416) into the ion source (406). The adaptive control system (426) monitors and stores the dynamic input impedance properties and status of input devices (402, 407, 416) to the ion source (406). The adaptive control system (426) may additionally control magnetic fields (407) within the ion source (406). The adaptive control system (426) provides a multivariable control for driving any combination of input power (402), gas flow (416), magnetic field (407), or electrostatic ion beam extraction or acceleration field into the ion source (406).
摘要翻译：通常用于真空处理室（410）中的材料处理应用的离子源（406）设置有自适应控制系统（426）。自适应控制系统（426）具有调节进入离子源（406）的功率（402）和气体流（416）的输入的微处理器（425）和存储器（427）。自适应控制系统（426）监视和存储输入设备（402,407,416）的动态输入阻抗特性和状态到离子源（406）。自适应控制系统（426）可另外控制离子源（406）内的磁场（407）。自适应控制系统（426）提供用于将输入功率（402），气体流（416），磁场（407）或静电离子束提取或加速场的任何组合驱动到离子源（406）中的多变量控制。

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