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1. 发明申请

WO2022048898A1 ELECTRON-OPTICAL ASSEMBLY COMPRISING ELECTROMAGNETIC SHIELDING 审中-公开
公开(公告)号：WO2022048898A1
公开(公告)日：2022-03-10
申请号：PCT/EP2021/072716
申请日：2021-08-16
申请人： ASML NETHERLANDS B.V.
发明人： WALVOORT, Derk, Ferdinand , MUDRETSOV, Dmitry , HU, Xuerang , XI, Qingpo , VAN SOEST, Jurgen , WIELAND, Marco, Jan-Jaco
IPC分类号： H01J37/09 , H01J37/16 , H01J37/28 , H01J37/317
摘要： Disclosed herein is an electron-optical assembly for an electron-optical column for projecting a charged particle beam along a beam path towards a target, the electron-optical assembly comprising: electromagnetic shielding surrounding the charged particle beam path and configured to shield the charged particle beam from an electromagnetic field external to the electromagnetic shielding; wherein the electromagnetic shielding comprises a plurality of sections extending along different positions along the beam path, each section surrounding the charged particle beam, wherein the sections are separable.

2. 发明申请

WO2021130843A1 イオンミリング装置审中-公开
公开(公告)号：WO2021130843A1
公开(公告)日：2021-07-01
申请号：PCT/JP2019/050527
申请日：2019-12-24
申请人：株式会社日立ハイテク
发明人：会田　翔太 , 高須　久幸 , 上野　敦史 , 鴨志田　斉
IPC分类号： H01J37/04 , H01J37/16 , H01J37/30
摘要：イオン分布の再現性を高めることができるイオンミリング装置を提供する。イオン源（１０１）と、イオン源（１０１）から非集束のイオンビームを照射することにより加工される試料が載置される試料ステージ（１０２）と、イオンビーム電流測定部材（１０５）を保持する測定部材保持部（１０６）とを有し、測定部材保持部（１０６）及び試料ステージ（１０２）の少なくともイオン源（１０１）に対向する面を覆うように被覆材（１２０）が設けられ、被覆材（１２０）の材料は、被覆材が設けられる構造物の材料の元素よりも原子番号の小さな元素を主成分とし、イオン源と試料ステージとの間に位置する軌道上を、イオン源（１０１）から第１の照射条件でイオンビームが出力された状態で、イオンビーム電流測定部材（１０５）をイオンビームの照射範囲において移動させ、イオンビームがイオンビーム電流測定部材（１０５）に照射されることにより流れるイオンビーム電流を測定する。

3. 发明申请

WO2019089191A1 VARIED COMPONENT DENSITY FOR THERMAL ISOLATION 审中-公开
公开(公告)号：WO2019089191A1
公开(公告)日：2019-05-09
申请号：PCT/US2018/054945
申请日：2018-10-09
申请人： VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.
发明人： MCLAUGHLIN, Adam M. , CHANEY, Craig R.
IPC分类号： H01J37/16 , H01J37/317
摘要： A system that utilizes a component that controls thermal gradients and the flow of thermal energy by variation in density is disclosed. Methods of fabricating the component are also disclosed. The component is manufactured using additive manufacturing. In this way, the density of different regions of the component can be customized as desired. For example, a lattice pattern may be created in the interior of a region of the component to reduce the amount of material used. This reduces weight and also decreases the thermal conduction of that region. By using low density regions and high density regions, the flow of thermal energy can be controlled to accommodate the design constraints.

4. 发明申请

WO2018003494A1 荷電粒子線装置に取り付けられる振動抑制機構、及び荷電粒子線装置审中-公开
标题翻译：安装在带电粒子束装置和带电粒子束装置上的振动抑制机构
公开(公告)号：WO2018003494A1
公开(公告)日：2018-01-04
申请号：PCT/JP2017/021906
申请日：2017-06-14
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：高橋　弘樹 , 中川　周一 , 清水　利彦 , 小川　博紀 , 有坂　寿洋
IPC分类号： H01J37/16 , F16F15/02
摘要：本発明は、取り付け、取り外しを容易に行うことが可能な荷電粒子線装置に取り付けられる振動抑制機構の提供を目的とする。上記目的を達成するための一態様として、荷電粒子線装置の鏡筒の外壁に沿った形状の内壁面を有する第１の弧状部材（２１ａ）と、前記荷電粒子線装置の鏡体の外壁に沿った形状の内壁面を有し、前記第１の弧状部材との接続によって、前記荷電粒子線装置鏡体の外壁を包囲する環状部材となる第２の弧状部材（２１ｂ）と、両者を締結する締結部材（２１ｃ）と、弧状部材に取り付けられる振動センサ（２３）と、振動センサの出力に応じて動作するアクチュエータ（２２）を備え、接続部材による接続を解除することによって取り外しが可能な振動抑制機構を提案する。
摘要翻译：
本发明被安装，并且其目的是提供一种振动抑制机构附接到一个带电粒子射线装置，其能够容易地进行去除。为实现上述目的，具有沿着带电粒子射线装置（21A），所述带电粒子射线装置的显微镜主体的外壁的筒的外壁的形状的内壁表面的第一弓形构件的一个实施例它具有沿一个形状的内壁面，通过连接所述紧固之间第一弧形构件，第二弧形构件包括围绕所述带电粒子束装置镜体的外壁上的环形构件（21B），两者都对于紧固构件（21c）中，附接至所述弓形构件（23），响应操作的振动传感器的输出的致动器（22）的振动传感器，其可通过释放由所述连接构件的振动的连接被删除我们提出一个抑制机制。

5. 发明申请

WO2017057729A1 相関顕微鏡审中-公开
标题翻译：相关显微镜
公开(公告)号：WO2017057729A1
公开(公告)日：2017-04-06
申请号：PCT/JP2016/079121
申请日：2016-09-30
申请人：学校法人中村産業学園 , 株式会社アイエスティー , 株式会社TCK
发明人：礒部　信一郎 , 金丸　孝昭 , 高洲　信一 , 小坂　光二 , 大江　隆
IPC分类号： G02B21/26 , G01N23/225 , H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/22
CPC分类号： G01N23/225 , G02B21/26 , H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/22
摘要：２つの顕微鏡(１，２)にそれぞれ位置決めされたときの同一の試料台(６)の画像及び試料(７)の観察対象組織(３５)を含む第１領域抽出窓(３７)と第１試料台座標(３１)と第２試料台座標(３２)と第２領域抽出窓(３８)の座標とをそれぞれ取得し、第１試料台座標と第２試料台座標との差を基に第２試料台座標を補正して、第２領域抽出窓の補正後の座標を取得し、補正後の座標を基に、第２位置決め部を、第２非観察位置から、第１領域抽出窓の座標位置に対応する位置に第２領域抽出窓が位置している第２観察位置に移動させる。
摘要翻译：根据本发明，当分别位于两个显微镜（1,2）上时，包括样品（7）的一个样品平台（6）和观察目标组织（35）的图像的第一区域提取窗口（37）获取第一样本平台坐标（31），第二样本平台坐标（32）和第二区域提取窗口（38）的坐标，基于第一样本平台坐标之间的差异来校正第二样本平台坐标并且第二样本平台坐标，以获得校正后的第二区域提取窗口的坐标，并且第二定位单元从第二非观察位置移动到第二区域提取窗口位于的第二观察位置基于校正的坐标对应于第一区域提取窗口的坐标位置。

6. 发明申请

WO2017021655A1 PROCÉDÉ ET DISPOSITIF D'ANALYSE D'UN ÉCHANTILLON PAR FAISCEAU IONIQUE 审中-公开
标题翻译：用于离子束分析样品的方法和装置
公开(公告)号：WO2017021655A1
公开(公告)日：2017-02-09
申请号：PCT/FR2016/052021
申请日：2016-08-03
申请人： COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
发明人： BROCHARD, Eric , CHAHAL, Smail , ZACHARIE-AUBRUN, Isabelle
IPC分类号： H01J37/16
CPC分类号： H01J37/16 , H01J2237/026 , H01J2237/26
摘要： Procédé et dispositif d'analyse d'un échantillon par faisceau ionique L'invention concerne un procédé d'analyse d'un échantillon disposé dans une chambre d'analyse (11) et soumis à un faisceau ionique focalisé, dans lequel on fixe de façon amovible, dans la chambre d'analyse, un organe de protection (20) présentant une ouverture pour le passage du faisceau ionique et comportant une structure de collecte de particules pulvérisées qui s'étend autour de l'ouverture et à distance du point de focalisation du faisceau ionique
摘要翻译：样品离子束分析的方法和装置。本发明涉及一种用于分析布置在分析室（11）中并经受聚焦离子束的样品的方法，其中保护体（20）可拆卸地固定在分析室中，所述保护体（20）具有开口用于离子束的通过，并且包括用于收集在距离离子束的聚焦点一定距离处围绕开口延伸的喷雾颗粒的结构。

7. 发明申请

WO2016117099A1 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置用光学素子、及び、荷電粒子線装置用部材の製造方法审中-公开
标题翻译：充电颗粒光束装置，充电颗粒光束装置光学元件和充电颗粒光束装置成员制造方法
公开(公告)号：WO2016117099A1
公开(公告)日：2016-07-28
申请号：PCT/JP2015/051750
申请日：2015-01-23
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：市村　崇 , 伊藤　博之 , 加藤　慎一 , 村越　久弥 , 藤枝　正 , 三宅　竜也
IPC分类号： H01J37/16 , H01J9/18 , H01J37/065 , H01J37/147
CPC分类号： H01J37/16 , C23D5/02 , H01J9/18 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/3178
摘要：部材を高精度に形成することにより荷電粒子線装置の高性能化を実現する、荷電粒子線装置、荷電粒子線装置用光学素子、及び、荷電粒子線装置用部材の製造方法の提供を目的とする。この目的を達成するために、荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームを変化させる光学素子、及び、当該光学素子を包含する真空容器を備えた荷電粒子線装置であって、前記光学素子は電極或いは第１のバナジウムを含むガラスからなる被電圧印加部材（１０２、１０４）を含むものであって、当該被電圧印加部材（１０２、１０４）を支持する支持部材（１８０）、及び、前記真空容器の少なくとも１つは、第２のバナジウムを含むガラスによって構成される荷電粒子線装置を提案する。
摘要翻译：本发明的目的是提供一种带电粒子束装置，带电粒子束装置光学元件和带电粒子束装置构件制造方法，由此通过将构件与高精准度。为了实现该目的，提出了一种带电粒子束装置，其包括用于改变从带电粒子源发射的带电粒子束的光学元件和包含光学元件的真空容器，其中光学元件包含电极或电压包括含有钒的第一玻璃的第二玻璃，含有构成至少一个真空容器中的钒的第二玻璃和支撑施加电压的构件（102,104）的支撑构件（180）。

8. 发明申请

WO2015041267A1 アンチコンタミネーショントラップおよび真空応用装置审中-公开
标题翻译：防污染和真空应用设备
公开(公告)号：WO2015041267A1
公开(公告)日：2015-03-26
申请号：PCT/JP2014/074615
申请日：2014-09-18
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：水尾　考志 , 丹波　裕介 , 波多野　治彦 , 二村　和孝
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/16
CPC分类号： H01J37/18 , F25B19/005 , F25B45/00 , H01J2237/002 , H01J2237/022 , H01J2237/028 , H01J2237/182 , H01J2237/2001 , H01J2237/2002
摘要：従来構造では２重の冷却タンクの間を真空断熱し、内側容器に接続した高熱伝導率材を通して冷却部を冷却していた。このような構造では、高熱伝導率材や冷却部への浸入熱に因る影響もあるが、例えば、冷媒に液体窒素を使用した場合で－１２０℃に到達するまで約３０分かかっていた。時間をかけた場合でも－１５０℃前後までの到達温度であり、液体窒素温度の－１９６℃に遠く及ばなかった。そこで、本発明に係るアンチコンタミネーショントラップおよび真空応用装置にあっては、真空応用装置で装置内冷却部（５）を冷却する構造であって、冷却部（５）を冷却する冷媒（２）を入れる冷却タンク（１）と前記冷却タンク（１）から冷却部（５）近傍まで冷却パイプ（７）を有し、冷却部（５）先端まで冷媒（２）が供給されることを特徴とする。さらに、冷却パイプ内気泡（１０）を逃すためのチューブ（８）を冷却部（５）まで挿入することを特徴とする。
摘要翻译：在常规结构中，双重冷却罐之间的空间是真空绝缘的，并且通过连接到内部容器的高导热性材料冷却冷却部件。这种结构受到热量渗入高导热材料和冷却部分的影响。例如，在使用液氮作为冷却剂的情况下，温度达到-120℃需要约30分钟。即使在花费了大量时间的情况下，温度只能达到约-150˚C，因此显着低于液态氮的温度，即-196˚C。因此，根据本发明的防污染捕集器和真空施加装置设置有将真空施加装置中的装置内部冷却部件（5）冷却的结构，其特征在于，具有：填充有用于冷却冷却部件（5）的冷却剂（2）的冷却箱（1）; 以及从冷却槽（1）延伸到冷却部（5）附近的冷却管（7）。防污染捕集器和真空施加装置的特征还在于：将冷却剂（2）供应到冷却部分（5）的一端; 并且用于释放冷却管内部的气泡（10）的管（8）被插入以延伸到冷却部（5）。

9. 发明申请

WO2013136909A1 荷電粒子線装置用防音カバー及び荷電粒子線装置审中-公开
标题翻译：用于充电粒子束装置的防溅罩和充电颗粒束装置
公开(公告)号：WO2013136909A1
公开(公告)日：2013-09-19
申请号：PCT/JP2013/053788
申请日：2013-02-18
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：武藤　大輔 , 菊池　秀樹 , 上田　浩大 , 長沖　功 , 高野　靖
IPC分类号： H01J37/09 , H01J37/16
CPC分类号： H01J37/16 , G10K11/16 , G10K11/172 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/0216
摘要：　本発明は、特定周波数によってもたらされる画像障害の抑制と、小型化の両立を実現することを防音カバー、及び荷電粒子線装置の提供を目的とする。上記目的を達成するために本発明では、以下に荷電粒子線装置を包囲する防音カバーにおいて、当該防音カバーの内壁に沿った壁面を持つ筒状体を形成する空洞部形成部材を備え、当該空洞部形成部材によって形成される筒状体の一端は開放され、当該筒状部の他端は閉じられている防音カバー、及び当該防音カバーに包囲される荷電粒子線装置を提案する。
摘要翻译：本发明的目的是提供一种隔音盖和带电粒子束装置，其中可以减小尺寸并且抑制由特定频率引起的对图像的损害。为了实现上述目的，本发明提供了一种用于包围带电粒子束装置的隔音盖，隔音盖设有中空空间形成构件，用于形成具有沿着隔音壁的内壁的壁面的圆柱体盖，其中通过中空空间形成构件形成的圆柱体的一端是敞开的，并且圆柱体的另一端是封闭的。本发明还提供了由所述隔音盖包围的带电粒子束装置。

10. 发明申请

WO2013068321A1 DISPOSITIF BLINDE DE MICROSCOPE ELECTRONIQUE A BALAYAGE 审中-公开
标题翻译：电子扫描显微镜装甲装置
公开(公告)号：WO2013068321A1
公开(公告)日：2013-05-16
申请号：PCT/EP2012/071870
申请日：2012-11-06
申请人： COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
发明人： LEORIER, Caroline , CARON, Serge , COURROYE, Daniel , BRENNEIS, Christophe , WIDEHEM, Michel , PLATON, Raphaël , RIGOTARD-BARBADORO, Jean-Paul , DUBUC, Fabrice , CHALAL, Smail
IPC分类号： H01J37/16 , H01J37/18
CPC分类号： H01J37/185 , H01J37/16 , H01J37/165
摘要： Un microscope à balayage électronique (16) pour des échantillons dangereux, par exemple irradiés, n'est pas plongé dans une enceinte en dépression, mais accouplé à elle (6) au moyen d'une jonction à soufflet qui a l'avantage de procurer un découplage à l'égard des vibrations produites par l'entretien de la dépression : ces vibrations, n'étant pas transmises au microscope (16), ne nuisent pas aux mesures et notamment à la qualité de l'image. L'électronique du microscope n'est pas soumise à une atmosphère polluée. L'enceinte et le dispositif lui-même sont de plus petit volume. Le montage peut être amélioré en plaçant le microscope (16) et l'enceinte (6) sur des supports séparés. Une porte divisible en deux portions associées respectivement au microscope et à l'enceinte peut être placée à la jonction et ainsi permettre la séparation du microscope de l'enceinte de façon à faciliter sa maintenance.
摘要翻译：本发明涉及一种用于危险的电子扫描显微镜（16）。照射的样品，该显微镜不是设置在负压外壳中，而是使用波纹管接头连接到同一个（6），其具有提供关于在保持负压时产生的振动的断开的优点，由此振动不传输到显微镜（16），并且不改变测量值和图像质量。显微镜电子学没有受到污染的气氛。外壳和设备依次具有较小的体积。可以通过将显微镜（16）和壳体（6）放置在单独的轴承上来改进组件。分开与显微镜相关联的两个部分的门和壳体可以放置在接合处，并且使得可以将显微镜与壳体分开以便于维护。

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