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1. 发明申请

WO2023058291A1 イオン生成装置およびイオン注入装置审中-公开
公开(公告)号：WO2023058291A1
公开(公告)日：2023-04-13
申请号：PCT/JP2022/027548
申请日：2022-07-13
申请人：住友重機械イオンテクノロジー株式会社
发明人：河津　翔 , 佐藤　正輝
IPC分类号： H01J27/14 , H01J37/08 , H01J37/317
摘要：イオン生成装置１０は、アークチャンバ５０と、アークチャンバ５０の内部空間Ｓにおいて軸方向に印加される磁場Ｂを生成する磁場生成器５２と、アークチャンバ５０の内部に向けて軸方向に突出し、内部空間Ｓに向けて熱電子を放出する第１カソードキャップ７２と、第１カソードキャップ７２の径方向外側において軸方向に筒状に延在し、第１カソードキャップ７２と軸方向と直交する径方向に間隙をおいて隣り合う第１延在部と、アークチャンバの内部に向けて突出する第１先端部と、第１先端部において軸方向に開口する第１先端開口とを含む第１サーマルシールド７６と、を備える。第１先端開口における径方向の第１開口幅は、第１カソードキャップ７２の径方向の最大幅よりも小さい。

2. 发明申请

WO2022271347A1 CRUCIBLE DESIGN FOR LIQUID METAL IN AN ION SOURCE 审中-公开
公开(公告)号：WO2022271347A1
公开(公告)日：2022-12-29
申请号：PCT/US2022/029784
申请日：2022-05-18
申请人： APPLIED MATERIALS, INC.
发明人： WRIGHT, Graham , WILSON, Eric Donald , ALVARADO, Daniel , LINDBERG, Robert C. , MULLIN, Jacob
IPC分类号： H01J27/08 , H01J27/02 , H01J37/08 , H01J27/022 , H01J27/14
摘要： A crucible that exploits the observation that molten metal tends to flow toward the hottest regions is disclosed. The crucible includes an interior in which dopant material may be disposed. The crucible has a pathway leading from the interior toward an aperture, wherein the temperature is continuously increasing along the pathway. The aperture may be disposed in or near the interior of the arc chamber of an ion source. The liquid metal flows along the pathway toward the arc chamber, where it is vaporized and then ionized. By controlling the flow rate of the pathway, spillage may be reduced. In another embodiment, an inverted crucible is disclosed. The inverted crucible comprises a closed end in communication with the interior of the ion source, so that the closed end is the hottest region of the crucible. An opening is disposed on a different wall to allow vapor to exit the crucible.

3. 发明申请

WO2006093076A1 イオン源审中-公开
标题翻译：离子源
公开(公告)号：WO2006093076A1
公开(公告)日：2006-09-08
申请号：PCT/JP2006/303567
申请日：2006-02-27
申请人：国立大学法人京都工芸繊維大学 , 西野茂弘 , 小野了一
发明人：西野茂弘 , 小野了一
IPC分类号： H01J27/22 , H01J27/14 , H01J37/08
CPC分类号： H01J27/14 , H01J27/02 , H01J37/08 , H01J37/3171 , H01J2237/032 , H01J2237/038 , H01J2237/061 , H01J2237/081
摘要： A small ion source excellent in operability. The ion source comprises a tubular insulation tube (2) opened upward and opened at part of its lower surface, a plurality of hollow, tubular permanent magnets (3) provided on the outer peripheral surface of the insulation tube to be arranged in a row in the axial direction of the insulation tube, gas supplying means (34, 35, 20) for supplying gas into the insulation tube, a cathode electrode formed at the tip end thereof with a fitting unit (19) for fitting a solid material (18) thereto, an annular anode electrode (5) to be fitted to the opening in the lower surface of the insulation tube, an upper frame (6) for blocking the upper portion of the insulation tube and suspending the cathode electrode so as to allow the fitting unit to approach the anode electrode, and a lower frame (7) formed with an extracting port (37) for extracting ions emitted from the anode electrode and mounting thereon the insulation tube.
摘要翻译：操作性好的小离子源。离子源包括向上敞开并在其下表面的一部分开口的管状绝缘管（2），设置在绝缘管的外周表面上的多个中空的管状永磁体（3），以排成一行绝缘管的轴向，用于向绝缘管供应气体的气体供给装置（34,35,20），在其前端形成有用于安装固体材料（18）的装配单元（19）的阴极电极，安装在绝缘管的下表面的开口处的环形阳极电极（5），用于阻挡绝缘管的上部并悬挂阴极电极的上框架（6），以允许配合单元接近阳极电极，下框架（7）形成有用于提取从阳极发射的离子并在其上安装绝缘管的提取口（37）。

4. 发明申请

WO00005742A1 ION SOURCE 审中-公开
标题翻译：离子源
公开(公告)号：WO00005742A1
公开(公告)日：2000-02-03
申请号：PCT/AU1999/000591
申请日：1999-07-21
IPC分类号： H01J27/02 , H01J27/14 , H01J37/08 , H01J37/20
CPC分类号： H01J27/146 , H01J27/022
摘要： An ion source (10) for producing a beam of ions from a plasma is disclosed. A plasma is created at the centre of an annular anode (12) by collisions between energetic electrons and molecules of an ionisable gas. The electrons are sourced from a cathode filament (11) and are accelerated to the anode (12) by an applied electric potential. A magnetic field having an axis aligned with the axis of the anode acts to concentrate the flow of electrons to the centre of the anode (12). The ionisable gas is introduced into the ion source (10) at the point of concentrated electron flow. Ions created in the resultant plasma are expelled from the ion source as an ion beam centred on the axis of the magnetic field. The surfaces of the anode are coated with an electrically conductive non-oxidising layer of Titanium Nitride to prevent a build up of an insulating layer on the anode.
摘要翻译：公开了一种用于从等离子体产生离子束的离子源（10）。通过能量电子和可离子化气体的分子之间的碰撞，在环形阳极（12）的中心产生等离子体。电子源自阴极灯丝（11），并通过施加的电势被加速到阳极（12）。具有与阳极轴对准的轴的磁场用于将电子流集中到阳极（12）的中心。在浓缩电子流的时刻，可离子化气体被引入离子源（10）。在所得到的等离子体中产生的离子作为以磁场轴为中心的离子束从离子源排出。阳极的表面涂覆有氮化钛的导电非氧化层，以防止在阳极上形成绝缘层。

5. 发明申请

WO2021052600A1 VAKUUMDICHTE ELEKTRISCHE DURCHFÜHRUNG 审中-公开
公开(公告)号：WO2021052600A1
公开(公告)日：2021-03-25
申请号：PCT/EP2019/075368
申请日：2019-09-20
申请人： INFICON AG
发明人： KAISER, Stefan , ANDREAUS, Bernhard
IPC分类号： G01L21/34 , H01J41/06 , H01J27/14
摘要： Vakuumdichte elektrische Durchführung (10) umfassend - ein elektrisch isolierendes Isolator-Element (2) mit einer Durchgangsöffnung (23), mit einer an die Durchgangsöffnung angrenzenden ersten Begrenzungsfläche (21) und mit einer ebenfalls an die Durchgangsöffnung angrenzenden, der ersten Begrenzungsfläche gegenüberliegenden zweiten Begrenzungsfläche (22), und - ein elektrisch leitendes Leiter-Element (1), welches sich durch die Durchgangsöffnung (23) hindurch erstreckt und welches entlang einer Umfangslinie des Leiter-Elements (1) vakuumdicht mit dem Isolator-Element (2) verbunden ist, wobei das Isolator-Element (2) für elektromagnetische Strahlung (25) in einem optischen Wellenlängenbereich durchlässig ist und wobei die erste (21) und/oder die zweite (22) Begrenzungsfläche als gekrümmte Fläche, insbesondere als konvexe oder konkave Fläche, ausgebildet ist. Weiter betrifft die Erfindung einen Vakuumdrucksensor mit der vakuumdichten elektrischen Durchführung und ein Verfahren zur Messung einer Strahlungsintensität elektromagnetischer Strahlung.

6. 发明申请

WO2019182111A1 イオンガン审中-公开
公开(公告)号：WO2019182111A1
公开(公告)日：2019-09-26
申请号：PCT/JP2019/012082
申请日：2019-03-22
申请人：株式会社アルバック
发明人：湯瀬　琢巳 , 寺澤　寿浩
IPC分类号： H01J27/14 , H01J37/08
摘要：本発明のイオンガンは、アノードと、前記アノードに対向する内面と、前記内面の反対側にある外面と、前記アノードに対応する位置に設けられたスリットと、前記外面の一端から前記スリットの中央に向けて延在しかつ前記スリットの一部を形成する外傾斜面とを有する磁極と、少なくとも前記外面及び前記外傾斜面を被覆し、非磁性材料で構成されたカバーと、を備える。

7. 发明申请

WO2015047446A1 END-HALL ION SOURCE WITH ENHANCED RADIATION COOLING 审中-公开
标题翻译：具有增强辐射冷却功能的终端源
公开(公告)号：WO2015047446A1
公开(公告)日：2015-04-02
申请号：PCT/US2014/000171
申请日：2014-07-29
申请人： KAUFMAN & ROBINSON, INC.
发明人： KAUFMAN, Harold, R. , KAHN, James, R. , NETHERY, Richard, E.
IPC分类号： H01J27/02 , H01J27/14
CPC分类号： H01J27/146 , H01J27/14 , H01J2237/002
摘要： In accordance with one embodiment of the present invention, an end-Hall ion source has an electron emitting cathode, an anode, a reflector, an internal pole piece, an external pole piece, a magnetically permeable path, and a magnetic-field generating means located in the permeable path between the two pole pieces. The anode and reflector are enclosed without contact by a thermally conductive cup that has internal passages through which a cooling fluid can flow. The closed end of the cup is located between the reflector and the internal pole piece and the opposite end of the cup is in direct contact with the external pole piece, and wherein the cup is made of a material having a low microhardness, such as copper or aluminum.
摘要翻译：根据本发明的一个实施例，末端霍尔离子源具有电子发射阴极，阳极，反射器，内部极片，外部极片，导磁通路和磁场产生装置位于两个极片之间的可渗透路径中。阳极和反射器被没有接触的导热杯封闭，导热杯具有内部通道，冷却流体可以通过该内部通道流动。杯的封闭端位于反射器和内部极片之间，并且杯的相对端与外部极靴直接接触，并且其中杯由具有低显微硬度的材料制成，例如铜或铝。

8. 发明申请

WO2013055523A2 ION SOURCE APPARATUS AND METHODS OF USING THE SAME 审中-公开
标题翻译：离子源装置及其使用方法
公开(公告)号：WO2013055523A2
公开(公告)日：2013-04-18
申请号：PCT/US2012/057474
申请日：2012-09-27
申请人： GUARDIAN INDUSTRIES GROUP.
发明人： FRATI, Maximo
IPC分类号： H01J37/08 , H01J27/14
CPC分类号： H01J37/08 , H01J27/143
摘要： An ion beam source that emits an ion beam in a direction of a substrate is provided. A cathode with a discharge opening defined therein is included. An anode is also included and spaced apart from the cathode. Ions are set to be emitted in an area proximate to the discharge opening in a direction similar to the direction from the anode to the discharge opening. First and second ceramic walls at least partially define a discharge channel between the anode and the cathode. At least one magnet generates a magnetic field in an area proximate to the discharge opening.
摘要翻译：提供了在基板的方向上发射离子束的离子束源。包括其中限定有排出口的阴极。还包括阳极并与阴极间隔开。离子被设置为在与从阳极到排出口的方向相似的方向上在靠近排放口的区域中排出。第一和第二陶瓷壁至少部分地限定了阳极和阴极之间的放电通道。至少一个磁体在靠近排放口的区域中产生磁场。

9. 发明申请

WO2009110506A1 イオン源审中-公开
标题翻译：离子源
公开(公告)号：WO2009110506A1
公开(公告)日：2009-09-11
申请号：PCT/JP2009/054072
申请日：2009-03-04
申请人：三井造船株式会社 , 辻康之
发明人：辻康之
IPC分类号： H01J27/08 , H01J27/14
CPC分类号： H01J27/14 , H01J37/08 , H01J2237/022 , H01J2237/082 , H01J2237/16
摘要：　本発明のイオン源（１）は、プラズマ容器（１０）と、プラズマ容器（１０）の内部空間に熱電子を放出する一対の熱電子放出素子（１２、１４）と、熱電子放出素子（１２、１４）のそれぞれに電流を流す電源とを備え、プラズマ容器（１０）内のプラズマに曝される内壁面と、熱電子放出素子（１２、１４）のプラズマに曝され熱電子を放出する部分とは、同じ金属を主成分とする材料から構成されている。そのため、イオン源（１）運転中に熱電子放出素子（１２、１４）の表面に付着する堆積層の成分は、熱電子放出素子（１２、１４）の材料と同一成分である。これにより、安定した熱電子の放出が可能になると共に、熱電子放出素子（１２、１４）を交換するまでのイオン源（１）の運転時間が長くなった。
摘要翻译：离子源（1）包括等离子体容器（10），用于将等离子体容器（10）的内部空间中发射热量的一对热离子发射装置（12,14），以及用于将电流提供给其中暴露于等离子体的等离子体容器（10）的内壁表面和暴露于等离子体和发射热离子的部分热离子发射装置（12,14）的每个热离子发射装置（12,14）由包含与主要成分相同的金属的材料。因此，在离子源（1）的操作期间附着在热离子发射装置（12,14）的表面上的沉积层包含与热离子发射装置（12,14）的材料的组分相同的成分。因此，可以稳定地发射热量，并且可以延长在更换热离子发射装置（12,14）之前离子源（1）的操作时间。

10. 发明申请

WO2007132922A1 イオン源およびその運転方法审中-公开
标题翻译：离子源和操作方法
公开(公告)号：WO2007132922A1
公开(公告)日：2007-11-22
申请号：PCT/JP2007/060164
申请日：2007-05-17
申请人：日新イオン機器株式会社 , 山下貴敏
发明人：山下貴敏
IPC分类号： H01J27/14 , H01J27/04 , H01J27/08 , H01J37/08
CPC分类号： H01J27/14 , H01J37/08 , H01J2237/0815 , H01J2237/24542 , H01J2237/30472 , H01J2237/31701
摘要： Provided is an ion source which can generate an ion beam having a large width, a large beam current and excellent uniformity in beam current distribution in the width direction, and furthermore, can lengthen the life of a cathode. An ion source (2a) is provided with a plasma generating container (6) having an ion extracting port (8) extending in an X direction; a magnet (14) for generating a magnetic field (16) along the X direction in the container (6); indirectly heating cathodes (20), which are arranged on the both sides of the plasma generating container (6) in the X direction and are used for generating plasma (10) in the container (6) and for increasing/reducing density of the plasma (10) as a whole; and a plurality of filament cathodes (32), which are arranged in parallel along the X direction in the plasma generating container (6), and are used for generating the plasma (10) in the container (6) and for controlling density distribution of the plasma (10).
摘要翻译：提供一种离子源，能够产生宽度大，束流大，射束电流分布宽度均匀性优异的离子束，能够延长阴极的使用寿命。离子源（2a）设置有具有在X方向上延伸的离子提取口（8）的等离子体产生容器（6）用于在容器（6）中沿X方向产生磁场（16）的磁体（14）; 间接加热等离子体发生容器（6）在X方向两侧的阴极（20），用于在容器（6）中产生等离子体（10）并增加/减少等离子体的密度（10）作为一个整体; 以及在所述等离子体发生容器（6）中沿着X方向并列配置的多个长丝阴极（32），用于在所述容器（6）中产生等离子体（10），并且用于控制所述等离子体等离子体（10）。

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