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1. 发明申请

WO2007084880A2 ION SOURCE WITH REMOVABLE ANODE ASSEMBLY 审中-公开
标题翻译：带有可移除阳极组件的离子源
公开(公告)号：WO2007084880A2
公开(公告)日：2007-07-26
申请号：PCT/US2007/060546
申请日：2007-01-15
申请人： VEECO INSTRUMENTS INC. , BURTNER, David M. , TOWNSEND, Scott A. , SIEGFRIED, Daniel E.
发明人： BURTNER, David M. , TOWNSEND, Scott A. , SIEGFRIED, Daniel E.
CPC分类号： H01J27/14
摘要： An ion source (1500) has a removable anode assembly (1550) that is separable and from a base assembly (1552) to allow for ease of servicing the consumable components of the anode assembly (1500). Such consumables are easily removable and replaceable and may include a gas distributor (1510), a thermal control plate (1508), an anode (1512), and one or more thermal transfer sheets (1516, 1518, 1520) interposed between other components (1516, 1518, 1520). A pole piece (1514) and a cathode (1540) may also be part of the anode assembly (1550). The anode assembly (1550) may be attached to the base assembly (1552) via the pole piece (1514). The thermal control plate (1508) may have a port (1598) for passing working gas from one side of the thermal control plate (1508) to the other. An interface surface (1521) on the thermal control plate (1508) may have a pattern of recesses to allow the working gas to disperse underneath the gas distributor (1510). The gas distributor (1510) may be mounted to the thermal control plate (1508) in the anode assembly (1550) with several set screws (1542). The gas distributor (1510) may be disk shaped with counterbores (1548) in a surface to recess the nuts (1544) of the set screws (1542). Alternately, the gas distributor (1510) may be clamped or held in place by other structures or components of the ion source (1500). The thermal transfer sheets (1516, 1518, 1520) may be interposed between the consumable components within the anode assembly (1550). The thermal transfer sheets (1516, 1518, 1520) may be thermally conductive and either electrically insulating or conductive.
摘要翻译：离子源（1500）具有可拆卸的阳极组件（1550），该阳离子组件可从基座组件（1552）分离，以便于维修阳极组件（1500）的可消耗部件。这种消耗品易于拆卸和更换，并且可以包括插入在其他部件之间的气体分配器（1510），热控制板（1508），阳极（1512）以及一个或多个热转印片材（1516,1518,1520） 1516,1518,1520）。极片（1514）和阴极（1540）也可以是阳极组件（1550）的一部分。阳极组件（1550）可以经由极片（1514）附接到基部组件（1552）。热控制板（1508）可以具有用于将工作气体从热控制板（1508）的一侧传递到另一侧的端口（1598）。热控制板（1508）上的界面表面（1521）可具有凹槽图案以允许工作气体在气体分配器（1510）下方分散。气体分配器（1510）可以用几个固定螺钉（1542）安装到阳极组件（1550）中的热控制板（1508）。气体分配器（1510）可以是盘形的，在表面上具有埋头孔（1548）以使定位螺钉（1542）的螺母（1544）凹入。或者，气体分配器（1510）可以通过离子源（1500）的其他结构或部件夹紧或保持就位。热转印片材（1516,1518,1520）可以插入阳极组件（1550）内的可消耗部件之间。热转印片（1516,1518,1520）可以是导热的并且是电绝缘的或导电的。

2. 发明申请

WO2007084880A3 ION SOURCE WITH REMOVABLE ANODE ASSEMBLY 审中-公开
标题翻译：离子源带有可拆卸的阳极装置
公开(公告)号：WO2007084880A3
公开(公告)日：2007-11-22
申请号：PCT/US2007060546
申请日：2007-01-15
申请人： VEECO INSTR INC , BURTNER DAVID M , TOWNSEND SCOTT A , SIEGFRIED DANIEL E
发明人： BURTNER DAVID M , TOWNSEND SCOTT A , SIEGFRIED DANIEL E
IPC分类号： H01J27/26 , H01J61/52
CPC分类号： H01J27/14
摘要： An ion source (1500) has a removable anode assembly (1550) that is separable and from a base assembly (1552) to allow for ease of servicing the consumable components of the anode assembly (1500). Such consumables are easily removable and replaceable and may include a gas distributor (1510), a thermal control plate (1508), an anode (1512), and one or more thermal transfer sheets (1516, 1518, 1520) interposed between other components (1516, 1518, 1520). A pole piece (1514) and a cathode (1540) may also be part of the anode assembly (1550). The anode assembly (1550) may be attached to the base assembly (1552) via the pole piece (1514). The thermal control plate (1508) may have a port (1598) for passing working gas from one side of the thermal control plate (1508) to the other. An interface surface (1521) on the thermal control plate (1508) may have a pattern of recesses to allow the working gas to disperse underneath the gas distributor (1510). The gas distributor (1510) may be mounted to the thermal control plate (1508) in the anode assembly (1550) with several set screws (1542). The gas distributor (1510) may be disk shaped with counterbores (1548) in a surface to recess the nuts (1544) of the set screws (1542). Alternately, the gas distributor (1510) may be clamped or held in place by other structures or components of the ion source (1500). The thermal transfer sheets (1516, 1518, 1520) may be interposed between the consumable components within the anode assembly (1550). The thermal transfer sheets (1516, 1518, 1520) may be thermally conductive and either electrically insulating or conductive.
摘要翻译：离子源（1500）具有可分离的和与基座组件（1552）可拆卸的阳极组件（1550），以便于维护阳极组件（1500）的可消耗部件。这种消耗品易于拆卸和更换，并且可以包括气体分配器（1510），热控制板（1508），阳极（1512）和插入在其它部件之间的一个或多个热转印片（1516,1518,1520） 1516,1518,1520）。极片（1514）和阴极（1540）也可以是阳极组件（1550）的一部分。阳极组件（1550）可以经由极片（1514）附接到基座组件（1552）。热控制板（1508）可以具有用于将工作气体从热控板（1508）的一侧传递到另一侧的端口（1598）。热控制板（1508）上的界面（1521）可以具有凹槽的图案，以允许工作气体分散在气体分布器（1510）的下方。气体分配器（1510）可以用几个固定螺钉（1542）安装在阳极组件（1550）中的热控制板（1508）上。气体分配器（1510）可以是在表面中具有沉孔（1548）的盘形，以使固定螺钉（1542）的螺母（1544）凹陷。或者，气体分配器（1510）可以被离子源（1500）的其它结构或部件夹紧或保持就位。热转印片（1516,1518,1520）可以插入在阳极组件（1550）内的可消耗部件之间。热转印片（1516,1518,1520）可以是导热的并且是电绝缘的或导电的。

3. 发明申请

WO2008067563A3 ADAPTIVE CONTROLLER FOR ION SOURCE 审中-公开
标题翻译：用于离子源的自适应控制器
公开(公告)号：WO2008067563A3
公开(公告)日：2008-07-17
申请号：PCT/US2007086179
申请日：2007-11-30
申请人： VEECO INSTR INC , DEAKINS JAMES D , HANSEN DENNIS J , MAHONEY LEONARD J , ERGUDER TOLGA , BURTNER DAVID M
发明人： DEAKINS JAMES D , HANSEN DENNIS J , MAHONEY LEONARD J , ERGUDER TOLGA , BURTNER DAVID M
IPC分类号： H01J37/08 , H01J27/02
CPC分类号： H01J27/02 , H01J37/08 , H01J37/304 , H01J2237/006 , H01J2237/31
摘要： An ion source (406), often used for materials processing applications in a vacuum processing chamber (410), is provided with an adaptive control system (426). The adaptive control system (426) has a microprocessor (425) and memory (427) that regulate the inputs of power (402) and gas flow (416) into the ion source (406). The adaptive control system (426) monitors and stores the dynamic input impedance properties and status of input devices (402, 407, 416) to the ion source (406). The adaptive control system (426) may additionally control magnetic fields (407) within the ion source (406). The adaptive control system (426) provides a multivariable control for driving any combination of input power (402), gas flow (416), magnetic field (407), or electrostatic ion beam extraction or acceleration field into the ion source (406).
摘要翻译：通常用于真空处理室（410）中的材料处理应用的离子源（406）设置有自适应控制系统（426）。自适应控制系统（426）具有调节进入离子源（406）的功率（402）和气体流（416）的输入的微处理器（425）和存储器（427）。自适应控制系统（426）监视和存储输入设备（402,407,416）的动态输入阻抗特性和状态到离子源（406）。自适应控制系统（426）可另外控制离子源（406）内的磁场（407）。自适应控制系统（426）提供用于将输入功率（402），气体流（416），磁场（407）或静电离子束提取或加速场的任何组合驱动到离子源（406）中的多变量控制。

4. 发明申请

WO2008067563A2 ADAPTIVE CONTROLLER FOR ION SOURCE 审中-公开
标题翻译：离子源自适应控制器
公开(公告)号：WO2008067563A2
公开(公告)日：2008-06-05
申请号：PCT/US2007/086179
申请日：2007-11-30
申请人： VEECO INSTRUMENTS, INC. , DEAKINS, James D. , HANSEN, Dennis J. , MAHONEY, Leonard J. , ERGUDER, Tolga , BURTNER, David M.
发明人： DEAKINS, James D. , HANSEN, Dennis J. , MAHONEY, Leonard J. , ERGUDER, Tolga , BURTNER, David M.
IPC分类号： H01J37/08 , H01J27/02
CPC分类号： H01J27/02 , H01J37/08 , H01J37/304 , H01J2237/006 , H01J2237/31
摘要： An ion source (406), often used for materials processing applications in a vacuum processing chamber (410), is provided with an adaptive control system (426). The adaptive control system (426) has a microprocessor (425) and memory (427) that regulate the inputs of power (402) and gas flow (416) into the ion source (406). The adaptive control system (426) monitors and stores the dynamic input impedance properties and status of input devices (402, 407, 416) to the ion source (406). The adaptive control system (426) may additionally control magnetic fields (407) within the ion source (406). The adaptive control system (426) provides a multivariable control for driving any combination of input power (402), gas flow (416), magnetic field (407), or electrostatic ion beam extraction or acceleration field into the ion source (406).
摘要翻译：通常用于真空处理室（410）中的材料处理应用的离子源（406）配备有自适应控制系统（426）。自适应控制系统（426）具有调节进入离子源（406）的功率（402）和气体流量（416）的输入的微处理器（425）和存储器（427）。自适应控制系统（426）监视和存储输入设备（402,407,416）到离子源（406）的动态输入阻抗属性和状态。自适应控制系统（426）可以另外控制离子源（406）内的磁场（407）。自适应控制系统（426）提供用于驱动输入功率（402），气流（416），磁场（407）或静电离子束提取或加速场到离子源（406）中的任何组合的多变量控制。

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