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1. 发明申请

WO99008099A1 METHOD FOR APPLYING OR REMOVING MATERIAL 审中-公开
标题翻译：申请的程序或材料的拆卸
公开(公告)号：WO99008099A1
公开(公告)日：1999-02-18
申请号：PCT/EP1998/004403
申请日：1998-07-15
IPC分类号： G01B7/34 , B82B3/00 , G01N27/00 , G01Q30/12 , G01Q80/00 , G11B9/00 , G11B9/14 , H01L21/302 , H01L21/3065 , G03F7/20
CPC分类号： B82B3/00 , G01Q30/12 , G01Q70/06 , G01Q80/00 , G11B9/14 , G11B9/1409 , G11B9/1418 , G11B9/1463 , Y10S977/855 , Y10S977/86 , Y10S977/869 , Y10S977/888
摘要： Disclosed is a method for efficient material application onto substrates or removal therefrom, whereby a scanning probe microscope working under atmospheric pressure is used. According to the inventive method, the substrate is placed in a vessel, which is located on the x-y support of a scanning probe microscope (SXM) and filled with a liquid or gas medium up to a level where the top face of the substrate is covered with a thin layer consisting of at least one monolayer of said medium. In order to cause the medium to produce a structured deposit, or to attack the substrate surface in a structured manner, the microtip of the scanning probe microscope is then dipped into the layer while electric voltage or voltage pulses are applied. The inventive method can be used to apply material onto substrates or remove it therefrom. It can also be used to characterize the geometry of microtips, renew or produce microtips for SXM consoles and to record, read out and erase information.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种能够有效的涂层或移除的材料或从使用在大气压力下操作显微镜扫描探针基板的方法。根据本发明被插入时，在位于XY台上的基板槽的扫描探针显微镜（SXM），这填充有液体和/或以这样的水平的气态介质，所述基板的顶表面用薄的，至少一个单层覆盖所述介质层的现有的。此后，将SXM的微尖浸没在层和与电电压或与用于沉积从培养基或所述基板的表面的结构化蚀刻结构性存款电压脉冲馈送。该方法可应用于用于施加或去除材料，或从基材上。此外，该方法也用于表征的几何形状和更新或生产SXM悬臂的微尖的和用于存储信息的信息读取和擦除信息都可以使用。

2. 发明申请

WO2017012708A1 TOP-COVER FOR A CONTROLLED ENVIRONMENTAL SYSTEM, TOP-COVER-SET AND CONTROLLED ENVIRON-MENTAL SYSTEM COMPATIBLE WITH PROBE BASED TECHNIQUES AND PROCEDURE TO CONTROL THE EN-VIRONMENT FOR A SAMPLE 审中-公开
标题翻译：用于控制环境系统的顶盖，兼容基于探针的技术的顶盖和控制环境系统以及控制样品的环境的程序
公开(公告)号：WO2017012708A1
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：PCT/EP2016/001243
申请日：2016-07-15
申请人： UNIVERSITÄT BASEL , ETH ZÜRICH
发明人： MARTINEZ-MARTIN, David , MUELLER, Daniel J. , MARTIN, Sascha , ALSTEENS, David , FLÄSCHNER, Gotthold
IPC分类号： G01Q30/08 , G01Q30/10
CPC分类号： G01Q30/12
摘要： The invention relates to a top-cover for a controlled environmental system (CES) for use with a measurement technique that requires introducing a probe to a sample placed on a sample holder, a CES and a procedure to control the environment for a sample in a system in particular a CES during a measurement with a probe based technique.
摘要翻译：本发明涉及一种用于受控环境系统（CES）的顶盖，其用于需要将探针引入放置在样品架上的样品的测量技术，CES和控制环境样品的环境的步骤系统特别是在使用基于探针的技术的测量期间的CES。

3. 发明申请

WO2014008456A1 APPARATUS AND METHOD FOR ATOMIC FORCE MICROSCOPY 审中-公开
标题翻译：用于原子力显微镜的装置和方法
公开(公告)号：WO2014008456A1
公开(公告)日：2014-01-09
申请号：PCT/US2013/049421
申请日：2013-07-05
申请人： BRUKER NANO, INC. , IMEC
发明人： PAREDIS, Kristof , VANDERVORST, Wilfried
IPC分类号： G01Q60/24 , G01Q30/08
CPC分类号： G01Q30/16 , G01Q30/12
摘要： An apparatus (100) for performing atomic force microscopy is disclosed. The apparatus comprises an A I'M measurement unit (102) configured to operate in a first controlled atmosphere (300) and a pretreatment unit (101) configured to operate in a second controlled atmosphere (400), the second controlled atmosphere being different from the first controlled atmosphere. The pretreatment unit is connected to the ATM measurement unit. In one embodiment, the second controlled atmosphere is a vacuum atmosphere, whereas the first controlled atmosphere includes at least an inert gas.
摘要翻译：公开了一种用于进行原子力显微镜的装置（100）。该装置包括被配置为在第一受控气氛（300）中操作的A I'M测量单元（102）和被配置为在第二受控气氛（400）中操作的预处理单元（101），所述第二受控气氛不同于第一受控气氛。预处理单元连接到ATM测量单元。在一个实施方案中，第二受控气氛是真空气氛，而第一受控气氛至少包括惰性气体。

4. 发明申请

WO2004023490A2 FLUID DELIVERY FOR SCANNING PROBE MICROSCOPY 审中-公开
标题翻译：用于扫描探针显微镜的流体输送
公开(公告)号：WO2004023490A2
公开(公告)日：2004-03-18
申请号：PCT/US2003/028506
申请日：2003-09-09
申请人： GENERAL NANOTECHNOLOGY LLC
发明人： KLEY, Victor, B.
IPC分类号： G12B
CPC分类号： G01Q60/00 , B82Y35/00 , B82Y99/00 , G01Q30/12 , G01Q30/14 , G01Q80/00 , Y10S977/849 , Y10S977/856 , Y10S977/902 , Y10T29/53
摘要： The following invention pertains to the introduction of a gas (or fluid) around a SPM probe or nanotool(tm) to control chemical activity e.g. oxygen to promote oxidation, argon to inhibit oxidation or clean dry air (CDA) to inhibit moisture to control static charging due to the action of the probe or nanotools and to provide vacuum at and around the tip and substrate area. The invention can also produce electrical current for use with active electronic devices on, in or near the body of the device. In addition by use of a fluid like water, certain oils, and other liquids in conjunction with specific tip structure either electric discharge machining can be used at the tip area on the tip itself (in conjunction with a form structure on the work piece) or on a work piece beneath the tip to shape, polish and remove material at very small scales (10 microns to 1nm or less).
摘要翻译：以下发明涉及在SPM探针或纳摩尔（tm）周围引入气体（或流体）以控制化学活性，例如。氧气促进氧化，氩气抑制氧化或清洁干燥空气（CDA）以抑制水分，由于探针或纳米工具的作用而控制静电荷，并在尖端和底物区域及其周围提供真空。本发明还可以产生电流，用于与设备主体中或其附近的有源电子设备一起使用。此外，通过使用像水一样的流体，某些油和其他液体结合特定的尖端结构，可以在尖端本身的尖端区域（结合工件上的形式结构）或在尖端下方的工件上以非常小的尺度（10微米至1nm或更小）成形，抛光和去除材料。

5. 发明申请

WO2013073186A1 密閉型ＡＦＭセル审中-公开
标题翻译：密封型AFM电池
公开(公告)号：WO2013073186A1
公开(公告)日：2013-05-23
申请号：PCT/JP2012/007326
申请日：2012-11-15
申请人：国立大学法人金沢大学
发明人：福間　剛士 , 淺川　雅 , 片桐　由智
IPC分类号： G01Q30/14 , G01Q60/24
CPC分类号： G01Q30/14 , B82Y35/00 , G01Q10/00 , G01Q20/02 , G01Q30/08 , G01Q30/12 , G01Q30/18 , G01Q60/24 , G01Q60/32 , G01Q70/02
摘要：　計測精度が低下せず、かつ、観察用液体が制限されない密閉型ＡＦＭセルを提供する。本発明に係る密閉型ＡＦＭセル（１００）は、探針を有する片持ち梁（１２０）と、試料を固定するサンプルホルダー（１３２）と、サンプルホルダー（１３２）を移動させるスキャナー（１３４）と、探針が試料の計測面近傍に位置するように片持ち梁（１２０）を保持する蓋部（１２２）と、スキャナー（１３４）を保持する部材であり、試料を挟んで蓋部（１２２）と相対する部材である本体部（１３６）とを備え、蓋部（１２２）と本体部（１３６）とは、観察用液体とは異なる液体であり、当該観察用液体と接触していない液体である密閉用液体を介して接合されることにより、蓋部（１２２）と本体部（１３６）と密閉用液体とで形成される空間の内部に観察用液体を密閉する。
摘要翻译：提供了一种密封型AFM电池，其中测量精度不降低，并且观察液体不受限制。该密封型AFM电池（100）具有：具有探针的悬臂（120）用于固定样品的样品架（132）用于移动样品架（132）的扫描仪（134）; 用于保持悬臂（120）使得探针位于样品的测量表面附近的盖（122）以及身体部分（136），其是用于保持扫描器（134）的构件，并且覆盖所述盖子（122）横跨所述样品。盖（122）和主体部（136）与密封液接合，密封液是与观察液不同且不与观察液接触的液体。观察液由此被密封在由盖（122），主体部（136）和密封液形成的空间中。

6. 发明申请

WO2011026464A1 VERFAHREN ZUR MESSUNG DER KRAFTWECHSELWIRKUNG, WELCHE DURCH EINE PROBE HERVORGERUFEN WIRD 审中-公开
标题翻译：测量电力相互作用的方法，它通过审判造成
公开(公告)号：WO2011026464A1
公开(公告)日：2011-03-10
申请号：PCT/DE2010/001004
申请日：2010-08-27
申请人： FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH , TEMIROV, Ruslan , WEISS, Christian , TAUTZ, Frank, Stefan
发明人： TEMIROV, Ruslan , WEISS, Christian , TAUTZ, Frank, Stefan
IPC分类号： G01Q60/16 , G01Q30/12
CPC分类号： G01Q60/16 , G01Q30/12
摘要： Verfahren zur Messung der Kraftwechselwirkung, welche durch eine Probe hervorgerufen wird, wobei eine Spitze mit einer Biasspannung gegen die Probe beaufschlagt und in einem so geringen Abstand zu der Probe geführt wird, dass ein messbarer Strom zwischen der Spitze und der Probe fließt und ein Sensor und Signalwandler S gebildet und im Bereich der Kraftwechselwirkung eingesetzt wird, der den durch den Spitze-Probe-Kontakt fließenden Strom in Abhängigkeit von der Stärke der Kraftwechselwirkung verändert. Ein Rastertunnelmikroskop hierzu ist offenbart.
摘要翻译：用于测量力的相互作用，这是由一个样品，其中一个尖端被施加的偏置电压，以在样品和从样品在如此短的距离进行引起的方法，所述针尖与样品流动，并且一个传感器之间的可测量的电流形成换能器S和在力的相互作用而改变流过尖端 - 样本接触电流的电流作为相互作用力的强度的功能的领域中使用。扫描隧道显微镜此被公开。

7. 发明申请

WO2009054417A1 カンチレバー評価システム、カンチレバー評価方法、およびカンチレバー評価プログラム审中-公开
标题翻译： CANTILEVER评估系统，CANTILEVER评估方法和CANTILEVER评估程序
公开(公告)号：WO2009054417A1
公开(公告)日：2009-04-30
申请号：PCT/JP2008/069155
申请日：2008-10-22
申请人：みずほ情報総研株式会社 , 学校法人早稲田大学 , 渡辺尚貴 , 塚田捷
发明人：渡辺尚貴 , 塚田捷
IPC分类号： G01N13/16 , G01N13/10
CPC分类号： G01Q30/12 , G01Q30/04
摘要：カンチレバー評価システム（２０）の制御部（２１）は、カンチレバー（Ｃ）の変位ｈ（ｚ；ｔ）と速度∂ｈ／∂ｔ（ｚ；ｔ）に応じた境界条件と、２次元面内の流れ関数値ψｚ（ｘ，ｙ；ｔ）と渦度ωｚ（ｘ，ｙ；ｔ）を用いて、次のタイムステップｔ＋１における流れ関数値ψｚ（ｘ，ｙ；ｔ＋１）と渦度ωｚ（ｘ，ｙ；ｔ＋１）を算出する（Ｓ２－３）。制御部（２１）は、算出した流れ関数値ψｚ（ｘ，ｙ）と渦度ωｚ（ｘ，ｙ）を用いて、カンチレバー（Ｃ）の流体抗力（Ｆｌｉｑ）を算出する（Ｓ２－６）。制御部（２１）は、算出した流体抗力（Ｆｌｉｑ）を変位算出式（６）に代入することによって、次のタイムステップｔ＋１における一次元梁の変位ｈ（ｚ；ｔ＋１）を算出する（Ｓ３－２）。制御部（２１）はこのような計算を格子点毎に繰返し、更にタイムステップ毎に繰返す。
摘要翻译：悬臂评估系统（20）的控制部分（21）在时间步长t + 1处计算流函数值Δz（x，y; t + 1）和涡度Δz（x，y; t + 1）根据悬臂（C）的位移h（z; t）和速度dh / dt（z; t），使用边界条件，流函数值Δz（x，y; t）和涡度Δz（x，y; t）在二维平面（S2-3）中。控制部分（21）使用计算的流函数值Δz（x，y）和涡度Δz（x，y）（S2-6）计算悬臂（C）的流体（Fliq）的反应。控制部分（21）将计算出的流体反应（Fliq）代入位移计算公式（6），从而计算下一个时间步长t + 1的一维光束的位移h（z; t + 1） S3-2）。控制部分（21）每个网格点重复这样的计算，并且每个步骤进一步重复它们。

8. 发明申请

WO2016056903A1 SCANNING PROBE MICROSCOPE WITH A REDUCED Q-FACTOR 审中-公开
标题翻译：扫描探针显微镜与减少的Q因子
公开(公告)号：WO2016056903A1
公开(公告)日：2016-04-14
申请号：PCT/NL2015/050699
申请日：2015-10-05
申请人： NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
发明人： TABAK, Femke Chantal , SADEGHIAN MARNANI, Hamed , VAN ES, Maarten Hubertus
IPC分类号： G01Q30/12 , G01Q70/04 , G01Q70/08 , G01Q60/32
CPC分类号： G01Q70/04 , G01Q30/12 , G01Q30/18 , G01Q60/32
摘要： A scanning probe microscope is provided comprising a scanning probe (10), a holder (5) for holding a sample (SMP) in an environment free from liquid. A scanning arrangement (20) is provided therein for inducing a relative motion of the scanning probe (10) with respect to said sample (SMP) along a surface of the sample (SMP). A driver (30) generates a drive signal (Sd) to induce an oscillating motion of the scanning probe (10) relative to the surface of the sample to be scanned. A measuring unit (40) measure a deflection of the scanning probe (10), and provides a deflection signal (Sδ) indicative for said deflection. An amplitude detector (50) detects an amplitude of the oscillating motion as indicated by the deflection signal (Sδ) and provides an amplitude signal (Sa) indicative for the amplitude. The scanning probe (10) is at least partly arranged in a liquid (L) to dampen motion of said scanning probe, and therewith has a quality factor Q which is less than or equal than 5. The scanning probe (10) is accommodated in a casing (90) comprising said liquid (L), the scanning probe (10) comprising a flexible carrier (11), the flexible carrier having a movable part provided with a tip (12), which tip (12) extends through an opening (91) in said casing.
摘要翻译：提供了一种扫描探针显微镜，其包括扫描探针（10），用于将样品（SMP）保持在不含液体的环境中的保持器（5）。在其中提供扫描装置（20），用于沿着样品（SMP）的表面引起扫描探针（10）相对于所述样品（SMP）的相对运动。驱动器（30）产生驱动信号（Sd），以引起扫描探针（10）相对于待扫描样品的表面的振荡运动。测量单元（40）测量扫描探针（10）的偏转，并提供指示所述偏转的偏转信号（Sδ）。振幅检测器（50）如偏转信号（Sδ）所示，检测振荡运动的振幅，并提供表示振幅的振幅信号（Sa）。扫描探针（10）至少部分地布置在液体（L）中以阻尼所述扫描探针的运动，并且因此具有小于或等于5的品质因数Q.扫描探针（10）被容纳在包括所述液体（L）的壳体（90），所述扫描探针（10）包括柔性载体（11），所述柔性载体具有设置有尖端（12）的可移动部分，所述尖端（12）延伸穿过开口（91）。

9. 发明申请

WO2009062631A2 VERFAHREN ZUR UNTERSUCHUNG EINER PROBE 审中-公开
标题翻译：程序对样品
公开(公告)号：WO2009062631A2
公开(公告)日：2009-05-22
申请号：PCT/EP2008/009391
申请日：2008-11-07
申请人： FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH , TEMIROV, Ruslan , SUBACH, Sergey , TAUTZ, Frank, Stefan
发明人： TEMIROV, Ruslan , SUBACH, Sergey , TAUTZ, Frank, Stefan
IPC分类号： G01N13/12 , G12B21/04
CPC分类号： G01Q60/10 , G01Q30/10 , G01Q30/12
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Untersuchung einer Probe mit einem Rastertunnelmikroskop dadurch gekennzeichnet, dass an mindestens einem Ort auf der Spitze des Rastertunnelmikroskops und / oder der Probe, welcher bei der Bildaufnahme Teil des Tunnelkontakts ist, vor oder während der Bildaufnahme ein Kontrastmittel vorgelegt wird, während an diesem Ort eine Temperatur unterhalb oder gleich der Kondensationstemperatur des Kontrastmittels eingestellt ist. Ein Rastertunnelmikroskop hierzu ist offenbart.
摘要翻译：本发明涉及用于分析在扫描隧道显微镜的样品，其特征在于，至少一个位置上的扫描隧道显微镜和/或它是图像接收隧道结的一部分在所述样品的末端的方法，将造影剂之前或图像记录过程中引入而温度低于或等于所述造影剂的冷凝温度被设定在该位置。扫描隧道显微镜此被公开。

10. 发明申请

WO2008148951A1 SONDE POUR MICROSCOPIE A FORCE ATOMIQUE 审中-公开
标题翻译：原子力显微镜探头
公开(公告)号：WO2008148951A1
公开(公告)日：2008-12-11
申请号：PCT/FR2008/000580
申请日：2008-04-23
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , FAUCHER, Marc , BUCHAILLOT, Lionel , AIME, Jean-Pierre , LEGRAND, Bernard Louis Amand , COUTURIER, Gérard
发明人： FAUCHER, Marc , BUCHAILLOT, Lionel , AIME, Jean-Pierre , LEGRAND, Bernard Louis Amand , COUTURIER, Gérard
IPC分类号： G01N13/16 , G12B21/08
CPC分类号： G01Q20/04 , G01Q30/12 , G01Q60/32 , G01Q60/38
摘要： Sonde pour microscopie à force atomique (SM) comportant un résonateur micromécanique (RMM) et une pointe pour microscopie à force atomique (P1) faisant saillie dudit résonateur, caractérisée en ce que : elle comporte également un moyen (EL1) pour exciter sélectivement un mode d'oscillation de volume dudit résonateur (RMM); et en ce que ladite pointe pour microscopie à force atomique (P1, P1') fait saillie dudit résonateur sensiblement en correspondance d'un point ventral (PV1) dudit mode d'oscillation de volume. Microscope à force atomique comportant une telle sonde (SM'). Procédé de microscopie à force atomique comportant l'utilisation d'une telle sonde.
摘要翻译：本发明涉及一种包括微机械谐振器（RMM）和从所述谐振器突出的原子力显微镜（P1）的尖端的原子力显微镜探针（SM），其特征在于它还包括用于选择性激发振荡的装置（EL1）所述谐振器（RMM）的体积模式，并且所述用于原子力显微镜（P1，P1'）的所述尖端基本上与所述体积振荡模式的腹点（PV1）相对应地从所述谐振器突出。本发明还涉及包括这种探针（SM'）的原子力显微镜以及涉及使用这种探针的原子力显微镜方法。

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