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    • 3. 发明申请
    • 走査プローブ顕微鏡およびそれを用いた計測方法
    • 扫描探针显微镜和使用它的测量方法
    • WO2014033844A1
    • 2014-03-06
    • PCT/JP2012/071734
    • 2012-08-28
    • 株式会社日立製作所南部 英山本 剛小泉 英明橋詰 富博平家 誠嗣
    • 南部 英山本 剛小泉 英明橋詰 富博平家 誠嗣
    • G01Q60/18G01Q30/02G01Q30/14G01Q80/00
    • G01Q10/04G01Q30/02G01Q30/14G01Q60/22
    •  培養液中の試料-培養液界面における水分子の配列構造や、大気中,雰囲気中,真空中等でも試料表面の凹凸、分子やたんぱく質などの組成分布や配列構造などの物理情報を高空間分解能で計測する。探針(1)と、試料(3)を載置する試料ホルダ(11)と、前記探針の位置を周期的に変位させる振動子(2)と、前記試料において前記探針により計測される領域に光を入射するパルス発振型レーザーの光源(27,28)と、前記試料から出力する出力光の強度をエネルギー分光して計測する検出器(25)と、制御装置(26)とを備える走査プローブ顕微鏡において、前記制御装置は、前記振動子による前記探針位置の周期的変位の振幅を減少させるとともに、前記探針と前記試料との相対距離を短縮し、前記探針と試料との距離の短縮とパルス発振レーザー光の照射とを同期させ、探針増強検出効率を最適化する。
    • 提供了一种扫描探针显微镜,其具有高空间分辨率的物理信息,例如培养液中样品 - 培养液界面处的水分子的排列结构,样品表面的不规则,组成分布,排列结构, 分子,蛋白质等的类似物,甚至在大气中,环境空气,真空等。 扫描探针显微镜包括:探针(1); 其中安装有试样(3)的试样保持器(11) 振荡器(2),周期性地移位探针的位置; 用于脉冲振荡型激光器的光源(27,28),其引起光入射在由所述探针在所述样本中测量的区域上; 检测器(25),其通过能量谱测量从样品输出的输出光的强度; 和控制装置(26)。 在该扫描探针显微镜中,控制装置通过振荡器降低探针位置的周期性位移的幅度,缩短探针与样本之间的相对距离,并同步缩短探头与样本之间的距离, 将脉冲振荡型激光投射到彼此之间,从而优化探头增强的检测效率。
    • 4. 发明申请
    • ELECTROSTATIC NANOLITHOGRAPHY PROBE ACTUATION DEVICE AND METHOD
    • 静电纳米图像探针驱动装置和方法
    • WO2008054476A2
    • 2008-05-08
    • PCT/US2007006374
    • 2007-03-14
    • UNIV ILLINOISLIU CHANGBULLEN DAVID ANDREW
    • LIU CHANGBULLEN DAVID ANDREW
    • G01Q70/16G01Q80/00
    • G01Q70/06G01Q70/16G01Q80/00G03F7/0002
    • Method and apparatus for selectively actuating a cantilevered probe for applying a compound to a substrate in nanolithography. A probe having a probe electrode and a substrate having a counter electrode are provided. Voltage applied to the probe electrode and/or counter electrode provides electrostatic attraction between them, moving a probe tip into sufficient proximity to the substrate to apply the patterning compound. Alternatively, a flexible cantilevered probe anchored to a holder includes a layer of conductive material forming a probe electrode. A counter electrode on the holder faces the probe electrode. The holder and probe are positioned so that a probe tip applies the compound to the substrate. The probe is disposed between the substrate and the counter electrode. An electrostatic attractive force generated between the probe electrode and the counter electrode flexes the probe and lifts the tip away from the substrate to suspend writing.
    • 用于选择性致动悬臂式探针的方法和设备,用于在纳米光刻术中将化合物施加到衬底。 提供具有探针电极和具有对电极的基板的探针。 施加到探针电极和/或对电极的电压提供它们之间的静电引力,将探针尖端移动到足够靠近基底以施加图案化合物。 或者,固定在支架上的柔性悬臂探针包括形成探针电极的导电材料层。 支架上的反电极面向探针电极。 固定器和探针的位置应使探针尖将化合物涂覆到基材上。 探针设置在基板和反电极之间。 在探针电极和反电极之间产生的静电吸引力使探针弯曲并将末端抬离基底以暂停书写。