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    • 2. 发明申请
    • MODULAR ATOMIC FORCE MICROSCOPE
    • 模块化原子力显微镜
    • WO2010044869A1
    • 2010-04-22
    • PCT/US2009/005631
    • 2009-10-14
    • PROKSCH, Roger
    • G01B5/28
    • G01Q30/18G01Q10/02G01Q10/04G01Q20/02
    • A modular AFM/SPM which provides faster measurements, in part through the use of smaller probes, of smaller forces and movements, free of noise artifacts, that the old generations of these devices have increasingly been unable to provide. The modular AFM/SPM includes a chassis, the foundation on which the modules of the instrument are supported; a view module providing the optics for viewing the sample and the probe; a head module providing the components for the optical lever arrangement and for steering and focusing those components; a scanner module providing the XYZ translation stage that actuates the sample in those dimensions and the engage mechanism; a isolation module that encloses the chassis and provides acoustic and/or thermal isolation for the instalment and an electronics module which, together with the separate controller, provide the electronics for acquiring and processing images and controlling the other functions of the instrument.
    • 模块化AFM / SPM,通过使用较小的探头,通过使用较小的力和运动,无需噪声伪影,这些设备的旧一代越来越无法提供更快的测量。 模块化AFM / SPM包括一个底盘,支持仪器模块的基础; 提供用于观察样品和探针的光学元件的视图模块; 提供用于光学杠杆装置的部件并用于转向和聚焦这些部件的头部模块; 提供XYZ平移台的扫描仪模块,其驱动那些尺寸的样品和接合机构; 隔离模块,其包围机箱并为该装置提供声学和/或热隔离以及电子模块,其与单独的控制器一起提供用于获取和处理图像并控制仪器的其它功能的电子装置。
    • 5. 发明申请
    • 密閉型AFMセル
    • 密封型AFM电池
    • WO2013073186A1
    • 2013-05-23
    • PCT/JP2012/007326
    • 2012-11-15
    • 国立大学法人金沢大学
    • 福間 剛士淺川 雅片桐 由智
    • G01Q30/14G01Q60/24
    • G01Q30/14B82Y35/00G01Q10/00G01Q20/02G01Q30/08G01Q30/12G01Q30/18G01Q60/24G01Q60/32G01Q70/02
    •  計測精度が低下せず、かつ、観察用液体が制限されない密閉型AFMセルを提供する。本発明に係る密閉型AFMセル(100)は、探針を有する片持ち梁(120)と、試料を固定するサンプルホルダー(132)と、サンプルホルダー(132)を移動させるスキャナー(134)と、探針が試料の計測面近傍に位置するように片持ち梁(120)を保持する蓋部(122)と、スキャナー(134)を保持する部材であり、試料を挟んで蓋部(122)と相対する部材である本体部(136)とを備え、蓋部(122)と本体部(136)とは、観察用液体とは異なる液体であり、当該観察用液体と接触していない液体である密閉用液体を介して接合されることにより、蓋部(122)と本体部(136)と密閉用液体とで形成される空間の内部に観察用液体を密閉する。
    • 提供了一种密封型AFM电池,其中测量精度不降低,并且观察液体不受限制。 该密封型AFM电池(100)具有:具有探针的悬臂(120) 用于固定样品的样品架(132) 用于移动样品架(132)的扫描仪(134); 用于保持悬臂(120)使得探针位于样品的测量表面附近的盖(122) 以及身体部分(136),其是用于保持扫描器(134)的构件,并且覆盖所述盖子(122)横跨所述样品。 盖(122)和主体部(136)与密封液接合,密封液是与观察液不同且不与观察液接触的液体。 观察液由此被密封在由盖(122),主体部(136)和密封液形成的空间中。
    • 6. 发明申请
    • DISPLACEMENT DETECTION MECHANISM FOR SCANNING PROBE MICROSCOPE AND SCANNING PROBE MICROSCOPE
    • 用于扫描探针显微镜和扫描探针显微镜的位移检测机理
    • WO2006090593A9
    • 2007-06-14
    • PCT/JP2006302315
    • 2006-02-10
    • SII NANOTECHNOLOGY INCIYOKI MASATOYAMAMOTO HIROYOSHI
    • IYOKI MASATOYAMAMOTO HIROYOSHI
    • G01Q10/00G01Q10/04G01Q20/00G01Q30/18G01Q70/02
    • G01Q20/00G01Q10/04G01Q30/18G01Q70/02
    • A displacement detection mechanism for a scanning probe microscope capable of performing measurement quickly with high precision even if an objective lens or an illumination system is arranged above or below a sample or a cantilever, and a scanning probe microscope comprising it. The displacement detection mechanism (112) for a scanning probe microscope comprising a supporting section (22) for supporting a cantilever (20), a light source (114) for irradiating a reflective surface (14) with light, and a light receiving section (121) for receiving light reflected off the reflective surface (14), and detecting displacement of the cantilever (20) based on the light receiving position of the light receiving section (121), wherein the rear end of the cantilever (20) is secured to the supporting section (22), and the above light is allowed to impinge on the reflective surface (14), while inclining toward the X axis and Y axis, from above regions B and C on the distal end side of the cantilever (20) out of regions A, B, C and D sectioned, when viewed from the above, by the Y axis extending in the longitudinal direction of the cantilever (20) and the X axis passing through the reflective surface (14) and extending in the direction intersecting the Y axis perpendicularly.
    • 即使将物镜或照明系统配置在样本或悬臂的上方或下方,也可以以高精度快速进行测量的扫描探针显微镜以及包括该扫描探针显微镜的扫描探针显微镜。 一种用于扫描探针显微镜的位移检测机构(112),包括用于支撑悬臂(20)的支撑部分(22),用于用光照射反射表面(14)的光源(114)和光接收部分 121),用于接收从所述反射表面(14)反射的光,以及基于所述光接收部分(121)的光接收位置检测所述悬臂(20)的位移,其中所述悬臂(20)的后端被固定 到所述支撑部分(22),并且当所述悬臂(20)的远端侧上方的区域B和C向X轴和Y轴倾斜时,允许上述光照射在所述反射表面(14)上 )在从上方观察的区域A,B,C和D中,通过沿悬臂(20)的纵向延伸的Y轴和穿过反射表面(14)的X轴延伸并在 方向垂直于Y轴 。
    • 8. 发明申请
    • 헤드 일체형 원자간력 현미경 및 이를 포함한 융합 현미경
    • 组合原子力显微镜和包括其的复合微结构
    • WO2016105109A1
    • 2016-06-30
    • PCT/KR2015/014143
    • 2015-12-23
    • 한국표준과학연구원
    • 김달현박병천신채호
    • G01Q60/24
    • G01Q60/32G01Q20/02G01Q30/02G01Q30/18G01Q60/38
    • 본 발명의 목적은 원자간력 현미경(AFM)의 헤드 구조를 최적화함으로써, 중량 및 부피 최소화와 구조적 안정성 향상을 실현하는 원자간력 현미경용 일체형 헤드를 제공함에 있다. 본 발명의 다른 목적은, 이러한 일체형 헤드를 장착함으로써 동적 특성이 향상되어 고속 헤드 스캔이 가능해서 대면적 샘플 이미징에 활용할 수 있는 헤드 일체형 원자간력 현미경을 제공함에 있다. 본 발명의 또다른 목적은, 이처럼 동적 특성이 향상된 헤드 일체형 원자간력 현미경과 전자 현미경 또는 광학 현미경을 융합함으로써, 고속 위치탐색 및 이미징이 가능함과 동시에 관심 영역에서는 원자상 수준까지의 3차원 형상의 정밀 관찰이 가능하도록 하는, 헤드 일체형 원자간력 현미경을 포함한 융합 현미경을 제공함에 있다.
    • 本发明的目的是提供一种用于原子力显微镜(AFM)的集成头,通过AFM的头部结构的优化,其具有最小的重量和体积以及改进的结构完整性。 本发明的另一个目的是提供一种头部集成的AFM,其具有安装在其上的上述集成头,并且具有改善的动态特性,使得可以进行高速头扫描,并且AFM可用于广域样本成像。 本发明的另一个目的是提供一种复合显微镜,其包括头部集成的AFM,复合显微镜是具有改善的动态特性的上述头部集成AFM和电子显微镜或光学显微镜的组合,以便是 能够进行高速位置跟踪和成像,以及在原子级别上感兴趣区域中的3D形状的详细观察。
    • 9. 发明申请
    • SCANNING PROBE MICROSCOPE WITH A REDUCED Q-FACTOR
    • 扫描探针显微镜与减少的Q因子
    • WO2016056903A1
    • 2016-04-14
    • PCT/NL2015/050699
    • 2015-10-05
    • NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
    • TABAK, Femke ChantalSADEGHIAN MARNANI, HamedVAN ES, Maarten Hubertus
    • G01Q30/12G01Q70/04G01Q70/08G01Q60/32
    • G01Q70/04G01Q30/12G01Q30/18G01Q60/32
    • A scanning probe microscope is provided comprising a scanning probe (10), a holder (5) for holding a sample (SMP) in an environment free from liquid. A scanning arrangement (20) is provided therein for inducing a relative motion of the scanning probe (10) with respect to said sample (SMP) along a surface of the sample (SMP). A driver (30) generates a drive signal (Sd) to induce an oscillating motion of the scanning probe (10) relative to the surface of the sample to be scanned. A measuring unit (40) measure a deflection of the scanning probe (10), and provides a deflection signal (Sδ) indicative for said deflection. An amplitude detector (50) detects an amplitude of the oscillating motion as indicated by the deflection signal (Sδ) and provides an amplitude signal (Sa) indicative for the amplitude. The scanning probe (10) is at least partly arranged in a liquid (L) to dampen motion of said scanning probe, and therewith has a quality factor Q which is less than or equal than 5. The scanning probe (10) is accommodated in a casing (90) comprising said liquid (L), the scanning probe (10) comprising a flexible carrier (11), the flexible carrier having a movable part provided with a tip (12), which tip (12) extends through an opening (91) in said casing.
    • 提供了一种扫描探针显微镜,其包括扫描探针(10),用于将样品(SMP)保持在不含液体的环境中的保持器(5)。 在其中提供扫描装置(20),用于沿着样品(SMP)的表面引起扫描探针(10)相对于所述样品(SMP)的相对运动。 驱动器(30)产生驱动信号(Sd),以引起扫描探针(10)相对于待扫描样品的表面的振荡运动。 测量单元(40)测量扫描探针(10)的偏转,并提供指示所述偏转的偏转信号(Sδ)。 振幅检测器(50)如偏转信号(Sδ)所示,检测振荡运动的振幅,并提供表示振幅的振幅信号(Sa)。 扫描探针(10)至少部分地布置在液体(L)中以阻尼所述扫描探针的运动,并且因此具有小于或等于5的品质因数Q.扫描探针(10)被容纳在 包括所述液体(L)的壳体(90),所述扫描探针(10)包括柔性载体(11),所述柔性载体具有设置有尖端(12)的可移动部分,所述尖端(12)延伸穿过开口 (91)。
    • 10. 发明申请
    • 分析用除電部材
    • 放弃会员分析
    • WO2014034489A1
    • 2014-03-06
    • PCT/JP2013/072287
    • 2013-08-21
    • 日東電工株式会社
    • 前野 洋平
    • G01Q30/18C01B31/02G01Q60/24
    • G01Q30/08C01B32/05G01Q30/18
    •  原子間力顕微鏡を用いる分析などの精密分析において、分析対象試料周辺に十分に貼着でき、分析対象試料や周辺環境が汚染されることなく、分析対象試料周辺の帯電を抑制でき、分析対象試料周辺に金属が存在していてもスパークのおそれがなく、チャンバーで覆って分析することも可能であり、高温環境下や真空環境下での分析も問題なく行える、分析用除電部材を提供する。 本発明の分析用除電部材は、繊維状柱状物を複数備える繊維状柱状構造体を含む。
    • 本发明提供一种用于分析的放电部件,对于使用原子力显微镜的分析等精密分析,在被分析的样品上附着好; 最小化待分析样品周围的电荷,而不分析样品或周围环境被污染; 被房间覆盖,即使分析的样品周围存在金属,也能够进行分析,而不会产生火花。 并且允许在高温环境或真空环境中以无问题的方式进行分析。 该用于分析的放电元件包括​​具有多个纤维柱状物体的纤维状柱状结构。