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1. 发明申请

WO2020112858A1 LOW DRIFT SYSTEM FOR A METROLOGY INSTRUMENT 审中-公开
公开(公告)号：WO2020112858A1
公开(公告)日：2020-06-04
申请号：PCT/US2019/063380
申请日：2019-11-26
申请人： BRUKER NANO, INC.
发明人： NEUSHUL, Andrew , RUITER, Anthonius
IPC分类号： G01Q30/10 , G01Q70/04
摘要： The present inventors have recognized that more accurate measurements can be taken with less drift due to thermal expansion by precisely controlling insulated heating and cooling modules abutting one another in substantial alignment to rapidly heat a sample to be scanned by a Scanning Probe Microscope (SPM) with minimal temperature variation. The heating and cooling modules can be "flat-packed," with parallel surfaces of each module in contact with one another, to more efficiently heat a sample that is positioned in axial alignment with the heating and cooling modules. This can allow heating the sample to at least 250 degrees Celsius in less than 5 seconds, continuously maintaining a temperature of the sample to within ±.001 degree Celsius, and maintaining a drift of less than 0.1 nanometers per minute in the z direction.

2. 发明申请

WO2017010880A1 SCANNING PROBE MICROSCOPY SYSTEM FOR MAPPING NANOSTRUCTURES ON A SURFACE OF A SAMPLE AND METROLOGY FRAME THEREFORE 审中-公开
标题翻译：扫描探针显微镜系统，用于在其样品和体系框架的表面上绘制纳米结构
公开(公告)号：WO2017010880A1
公开(公告)日：2017-01-19
申请号：PCT/NL2016/050517
申请日：2016-07-14
申请人： NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
发明人： KUIPER, Stefan , CROWCOMBE, William Edward
IPC分类号： G01Q30/20 , G01Q70/04
CPC分类号： G01Q30/20 , G01Q70/04
摘要： A scanning probe microscopy system for mapping nanostructures on a surface of a sample, comprises a metrology frame, a sensor head including a probe tip, and an actuator for scanning the probe tip relative to the sample surface. The system comprises a clamp for clamping of the sample, which clamp is fixed to the metrology frame and arranged underneath the sensor head. The clamp is arranged for locally clamping of the sample in a clamping area underneath the probe tip, the clamping area being smaller than a size of the sample such as to clamp only a portion of the sample. Moreover, a metrology frame for use in scanning probe microscopy system as described includes a clamp for clamping of a sample, wherein the clamp is fixed to the metrology frame such as to be arranged underneath the sensor head.
摘要翻译：用于在样品表面上绘制纳米结构的扫描探针显微镜系统包括测量框架，包括探针尖端的传感器头部和用于相对于样品表面扫描探针尖端的致动器。该系统包括用于夹紧样品的夹具，该夹具固定到计量框架并布置在传感器头部下方。夹具被布置成用于将样品局部夹紧在探针尖端下方的夹紧区域中，夹持区域小于样品的尺寸，以仅夹紧样品的一部分。此外，用于如上所述的扫描探针显微镜系统的计量框架包括用于夹紧样品的夹具，其中夹具固定到计量框架，以便布置在传感器头部下方。

3. 发明申请

WO2016056903A1 SCANNING PROBE MICROSCOPE WITH A REDUCED Q-FACTOR 审中-公开
标题翻译：扫描探针显微镜与减少的Q因子
公开(公告)号：WO2016056903A1
公开(公告)日：2016-04-14
申请号：PCT/NL2015/050699
申请日：2015-10-05
申请人： NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
发明人： TABAK, Femke Chantal , SADEGHIAN MARNANI, Hamed , VAN ES, Maarten Hubertus
IPC分类号： G01Q30/12 , G01Q70/04 , G01Q70/08 , G01Q60/32
CPC分类号： G01Q70/04 , G01Q30/12 , G01Q30/18 , G01Q60/32
摘要： A scanning probe microscope is provided comprising a scanning probe (10), a holder (5) for holding a sample (SMP) in an environment free from liquid. A scanning arrangement (20) is provided therein for inducing a relative motion of the scanning probe (10) with respect to said sample (SMP) along a surface of the sample (SMP). A driver (30) generates a drive signal (Sd) to induce an oscillating motion of the scanning probe (10) relative to the surface of the sample to be scanned. A measuring unit (40) measure a deflection of the scanning probe (10), and provides a deflection signal (Sδ) indicative for said deflection. An amplitude detector (50) detects an amplitude of the oscillating motion as indicated by the deflection signal (Sδ) and provides an amplitude signal (Sa) indicative for the amplitude. The scanning probe (10) is at least partly arranged in a liquid (L) to dampen motion of said scanning probe, and therewith has a quality factor Q which is less than or equal than 5. The scanning probe (10) is accommodated in a casing (90) comprising said liquid (L), the scanning probe (10) comprising a flexible carrier (11), the flexible carrier having a movable part provided with a tip (12), which tip (12) extends through an opening (91) in said casing.
摘要翻译：提供了一种扫描探针显微镜，其包括扫描探针（10），用于将样品（SMP）保持在不含液体的环境中的保持器（5）。在其中提供扫描装置（20），用于沿着样品（SMP）的表面引起扫描探针（10）相对于所述样品（SMP）的相对运动。驱动器（30）产生驱动信号（Sd），以引起扫描探针（10）相对于待扫描样品的表面的振荡运动。测量单元（40）测量扫描探针（10）的偏转，并提供指示所述偏转的偏转信号（Sδ）。振幅检测器（50）如偏转信号（Sδ）所示，检测振荡运动的振幅，并提供表示振幅的振幅信号（Sa）。扫描探针（10）至少部分地布置在液体（L）中以阻尼所述扫描探针的运动，并且因此具有小于或等于5的品质因数Q.扫描探针（10）被容纳在包括所述液体（L）的壳体（90），所述扫描探针（10）包括柔性载体（11），所述柔性载体具有设置有尖端（12）的可移动部分，所述尖端（12）延伸穿过开口（91）。

4. 发明申请

WO01022468A1 HIGH BANDWIDTH RECOILESS MICROACTUATOR 审中-公开
标题翻译：高带宽回收微处理器
公开(公告)号：WO01022468A1
公开(公告)日：2001-03-29
申请号：PCT/US2000/025600
申请日：2000-09-19
IPC分类号： B81B3/00 , G01B9/04 , G01B11/03 , G01Q10/04 , G01Q20/04 , G01Q60/00 , G01Q70/04 , H01J37/26 , H01J49/00 , H01L41/08 , H01L41/09 , H02N2/00
CPC分类号： G01Q10/04 , G01Q70/04 , Y10S977/851 , Y10S977/872
摘要： An atomic force microscope (2) is comprised of a microactuator (14) for preventing the transfer of any net forces from the microactuator (14) to a support structure (22). The net force transfer prevention can be achieved using either a multi-actuator assembly (230) including a primary microactuator (234) and a counteracting actuator (236) operating substantially out-of-phase with respect to the primary microactuator (234), or a single microactuator (332) mounted on the microactuator's support structure (314) to prevent momentum transfer to the support structure (22) during microactuator (14) operation.
摘要翻译：原子力显微镜（2）由用于防止任何净力从微致动器（14）传递到支撑结构（22）的微致动器（14）组成。可以使用包括相对于初级微型致动器（234）基本上异相操作的初级微型致动器（234）和反作用致动器（236）的多致动器组件（230）来实现防止传递阻力的传感器，或安装在所述微致动器的支撑结构（314）上的单个微型致动器（332），以在微致动器（14）操作期间阻止动力传递到所述支撑结构（22）。

5. 发明申请

WO2021125953A1 NOVEL ATOMIC FORCE MICROSCOPY PROBES WITH PHONONIC CRYSTALS 审中-公开
公开(公告)号：WO2021125953A1
公开(公告)日：2021-06-24
申请号：PCT/NL2020/050797
申请日：2020-12-16
申请人： TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT , UNIVERSITEIT LEIDEN
发明人： GROEBLACHER, Simon , ALLAN, Milan P , NORTE, Richard Alexander , LEEUWENHOEK, Maarten
IPC分类号： G01Q70/14 , G01Q10/04 , G01Q70/04 , H03H9/24 , G10K11/162 , G01Q10/045 , G01Q20/02 , G01Q20/04 , G10K11/165 , G10K11/172
摘要： The present invention is in the field of an atomic force microscopy probe, which probes generally consist of four cooperating elements, namely a sharp tip to sense the surface, an optical resonator usually being a cavity, a drive usually being a piezoelectric, and a read out usually being a laser beam and a photodiode to measure deflection, a sensor comprising said probe, and a method of fabricating said probe.

6. 发明申请

WO2020253916A1 ANORDNUNG MIT EINER MESSVORRICHTUNG FÜR EIN RASTERSONDENMIKROSKOP, RASTERSONDENMIKROSKOP UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN 审中-公开
公开(公告)号：WO2020253916A1
公开(公告)日：2020-12-24
申请号：PCT/DE2020/100516
申请日：2020-06-18
申请人： BRUKER NANO GMBH
发明人： JÄHNKE, Torsten , BÜCHAU-VENDER, Frederik , SCHÜCKER, Marian
IPC分类号： G01Q70/04
摘要： Die Erfindung betrifft eine Anordnung mit einer Messvorrichtung (20) für ein Rastersondenmikroskop, aufweisend: eine Probenaufnahme (26), die eingerichtet ist, eine Messprobe (27) für eine rastersondenmikroskopische Untersuchung aufzunehmen; eine Messsonde (23), die an einer Sondenhalterung (21) aufgenommen ist; eine Verlagerungseinrichtung, die einen Antrieb (24; 25) aufweist und eingerichtet ist, mittels des Antriebs (24; 25) die Probenaufnahme (26) und die Sondenhalterung (21) mit der Messsonde (23) für die rastersondenmikroskopische Untersuchung relativ zueinander zu verlagern; und eine aktive Gegengewichteinrichtung (30) mit einer Gegenmasse (32) und einer der Gegenmasse (32) zugeordnete Antriebseinrichtung (31), wobei die aktive Gegengewichteinrichtung (30) eingerichtet ist, im Messbetrieb die Gegenmasse (32) mittels der Antriebseinrichtung (31) gegenläufig zur Bewegung der Sondenhalterung (21) mit der Messsonde (23) zu bewegen. Weiterhin ist ein Verfahren zum Betreiben der Anordnung geschaffen.

7. 发明申请

WO2011016256A1 カンチレバー励振装置及び走査型プローブ顕微鏡审中-公开
标题翻译： CANTILEVER激励装置和扫描探针显微镜
公开(公告)号：WO2011016256A1
公开(公告)日：2011-02-10
申请号：PCT/JP2010/004973
申请日：2010-08-06
申请人：国立大学法人金沢大学 , 淺川雅 , 福間剛士
发明人：淺川　雅 , 福間　剛士
IPC分类号： G01Q70/04 , G01Q10/00 , G01Q30/14 , G01Q60/24 , G01Q70/02
CPC分类号： G01Q30/14 , G01Q60/32 , G01Q70/04 , Y10T29/42
摘要：　簡単な構成でもって、共振特性の複雑化を防ぐことができるカンチレバー励振装置を提供する。カンチレバー励振装置（１）は、カンチレバー（７）と、カンチレバー（７）を保持するカンチレバーホルダー（３）と、カンチレバーホルダー（３）に取り付けられる圧電振動子（５）とを備える。カンチレバーホルダー（３）が、圧電振動子（５）と異なる音響インピーダンスを有し、圧電振動子の振動を弾性変形によって伝達するホルダー主部（１１）（第１部分）と、第１部分と異なる音響インピーダンスを有し、音響波の伝播を遮断する材料境界を第１部分との間に形成する取付ピース（１３）（第２部分）とを有する。圧電振動子（５）とカンチレバー（７）の間に第１部分及び第２部分が介在している。
摘要翻译：公开了一种可以通过简单的结构防止谐振特性的复杂化的悬臂激励装置。具体公开了一种具有悬臂（7）的悬臂激励装置（1），用于保持悬臂（7）的悬臂支架（3）和安装在悬臂支架（3）上的压电振子）。悬臂支架（3）包括具有与压电振动器（5）的阻抗不同的声阻抗的保持器主体部（11）（第一部分），并且通过弹性变形传递压电振动器的振动， 13）（第二部分）具有不同于第一部分的声阻抗，并且在第一部分和第二部分之间形成阻挡声波传播的材料边界。第一部分和第二部分设置在压电振动器（5）和悬臂（7）之间。

8. 发明申请

WO2007121208A3 NANOMETER-PRECISION TIP-TO-SUBSTRATE CONTROL AND PATTERN REGISTRATION FOR SCANNING-PROBE LITHOGRAPHY 审中-公开
标题翻译：用于扫描探测算子的NANOMETER-PRECISION TIP-TO-SUBSTRATE CONTROL AND PATTERN REGISTRATION FOR SCANNING-PROBE LITHOGRAPHY
公开(公告)号：WO2007121208A3
公开(公告)日：2007-12-06
申请号：PCT/US2007066376
申请日：2007-04-11
申请人： MASSACHUSETTS INST TECHNOLOGY , MOON EUCLID E
发明人： MOON EUCLID E
IPC分类号： G03F9/00 , G01Q20/02 , G01Q30/02 , G01Q70/04 , G01Q80/00
CPC分类号： G01Q20/02 , G01Q30/02 , G01Q70/04 , G01Q80/00 , G03F7/0002 , G03F9/7003 , G03F9/7015 , G03F9/7038 , G03F9/7042 , G03F9/7049 , G03F9/7061 , G03F9/7076
摘要： An interferometric-spatial-phase imaging (ISPI) system includes an alignment mechanism for obtaining continuous six-axis control of a scanning probe tip with respect to a coordinate system attached to a substrate. A gap detection mechanism measures tip height above a substrate and controls tip approach toward the substrate of one or more tips, as well as measures tip deflection during surface contact of the one or more tips. A plurality of complementary marks is provided for attachment to the one or more tips. A plurality of grating marks is provided to backdiffract a reflected beam from a flexible cantilever to detect high-frequency tip deflection in a compact configuration of a light source and a light detector.
摘要翻译：干涉空间相位成像（ISPI）系统包括对准机构，用于相对于连接到基板的坐标系获得扫描探针尖端的连续六轴控制。间隙检测机构测量衬底上方的尖端高度并且控制针对一个或多个尖端的衬底的尖端接近，以及测量一个或多个尖端的表面接触期间的尖端偏转。提供多个互补标记用于附接到一个或多个尖端。提供多个光栅标记以从柔性悬臂反向衍射反射光束以检测光源和光检测器的紧凑配置中的高频尖端偏转。

9. 发明申请

WO03021127A8 APPARATUS FOR REDUCING SENSITIVITY OF AN ARTICLE TO MECHANICAL SHOCK 审中-公开
标题翻译：降低机械性震动灵敏度的装置
公开(公告)号：WO03021127A8
公开(公告)日：2003-06-05
申请号：PCT/IB0202865
申请日：2002-07-19
申请人： IBM , BINNIG GERD K , HAEBERLE WALTER , LANTZ MARK A , ROTHUIZEN HUGO E
发明人： BINNIG GERD K , HAEBERLE WALTER , LANTZ MARK A , ROTHUIZEN HUGO E
IPC分类号： F16F7/00 , F16F7/10 , G01B7/34 , G01N27/00 , G01Q70/04 , G11B9/00 , G11B33/08 , G12B1/00 , H02K33/02 , G12B21/22
CPC分类号： G01Q70/06 , F16F7/10 , G01Q70/04 , G11B9/14 , G11B9/1418 , G11B33/08
摘要： Apparatus for reducing sensitivity of an article to mechanical shock comprises a frame; first and second planar masses mounted in the frame for bi-directional movement relative to the frame along a first axis of displacement; a first lever pivotable about a first fulcrum secured to the frame; the lever having one end connected to the first mass and the other end connected to the second mass, and the fulcrum being disposed between the ends of the lever; whereby the torque exerted about the fulcrum by the first mass is countered by the torque exerted about the fulcrum by the second mass in response to a mechanical shock applied to the frame along the axis of displacement such that an article carried by the first mass in use has reduced sensitivity to the shock.
摘要翻译：用于降低制品对机械冲击的敏感性的装置包括框架; 安装在框架中的第一和第二平面质量块，用于沿着第一移动轴线相对于框架进行双向运动; 围绕固定到框架的第一支点可枢转的第一杠杆; 所述杆的一端连接到所述第一质量块，所述另一端连接到所述第二质量块，并且所述支点设置在所述杆的端部之间; 由此由第一质量块围绕支点施加的扭矩通过响应于沿着位移轴线施加到框架的机械冲击而由第二质量块围绕支点施加的扭矩抵消，使得由第一质量块在使用中承载的物品已经降低了对休克的敏感性。

10. 发明申请

WO2019147788A1 ACTIVE NOISE ISOLATION FOR TUNNELING APPLICATIONS (ANITA) 审中-公开
公开(公告)号：WO2019147788A1
公开(公告)日：2019-08-01
申请号：PCT/US2019/014926
申请日：2019-01-24
申请人： THE PENN STATE RESEARCH FOUNDATION
发明人： HUDSON, Eric , PABBI, Lavish
IPC分类号： G01Q60/10 , G01Q20/00 , G01Q30/06 , G01Q70/04 , G02B27/64 , G06F17/15 , G06T5/00
摘要： An active noise isolation apparatus and method for cancelling vibration noise from the probe signal of a scanning tunneling microscope by generating a correction signal by convolution based on the probe signal and the sensor signal, which is based on the ambient vibration that adds noise to the probe signal.

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