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    • 3. 发明申请
    • 原子間力顕微鏡およびその制御方法
    • 原子力显微镜及其控制方法
    • WO2017006435A1
    • 2017-01-12
    • PCT/JP2015/069552
    • 2015-07-07
    • オリンパス株式会社
    • 酒井 信明
    • G01Q10/04G01Q60/32
    • G01Q10/065G01Q60/24G01Q60/32
    • 原子間力顕微鏡(100)は、カンチレバー(102)の自由端に設けられた探針(101)と試料(103)の間に相互作用を生じさせながら、XY平面に沿ったカンチレバーと試料の間の相対的なラスター走査をおこなって試料情報を取得する。原子間力顕微鏡は、ラスター走査情報を生成するラスター走査情報生成部(114)と、ラスター走査情報に基づいて、ラスター走査を制御するラスター走査制御部(108)と、ラスター走査情報に基づいて、相互作用の大きさを制御する相互作用制御部(111)とを備えている。相互作用制御部は、ラスター走査のXY平面に沿ったカンチレバーと前記試料の相対速度が相対的に減少するとき、相互作用の大きさを相対的に減少させる。
    • 这种原子力显微镜(100)产生样品(103)和提供给悬臂(102)的自由端的探针(101)之间的相互作用,同时沿XY方向相对于彼此执行悬臂和样品之间的光栅扫描 并获取样品信息。 原子力显微镜设置有:光栅扫描信息生成单元(114),其生成光栅扫描信息; 光栅扫描控制单元,其基于光栅扫描信息控制光栅扫描; 以及基于光栅扫描信息来控制交互的大小的交互控制单元(111)。 当沿着光栅扫描的XY平面的悬臂和样本的相对速度相对于彼此减小时,相互作用控制单元以相对的方式减小相互作用的大小。
    • 7. 发明申请
    • FLEXIBEL VERSCHIEBBARE KOPPLUNGSEINRICHTUNG FÜR DIE AKUSTISCH ANGEREGTE RASTERKRAFTMIKROSKOPIE MIT AKUSTISCHER ANREGUNG DER PROBE
    • 的声学灵活滑动结合DEVICE建议的原子力显微镜使用拾音器样本
    • WO2010085948A1
    • 2010-08-05
    • PCT/DE2010/000110
    • 2010-02-02
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.STRIEGLER, AndréNAUMANN, Sascha
    • STRIEGLER, AndréNAUMANN, Sascha
    • G01Q60/24G01N29/06
    • G01Q60/38G01N29/022G01N29/0681G01Q30/14G01Q60/32
    • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Kopplungseinrichtung für ein Rasterkraftmikroskop mit akustischer Probenanregung umfassend einen Schallerzeuger (1), insbesondere einen Ultraschall-Prüfkopf, und ausgebildet zum Einkoppeln von mit dem Schallerzeuger erzeugten Schallwellen in einen Probenkörper (P) zur akustischen Anregung des Probenkörpers, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Kopplungseinrichtung ein in seinem Innenraum (I) mit einer Flüssigkeit (2) füllbares und/oder gefülltes Flüssigkeitsreservoir (3) aufweist, dass der Probenkörper mit seiner Unterseite (U) auf dem Flüssigkeitsreservoir lateral verschieblich lagerbar ist und/oder gelagert ist, dass das zur Einkopplung der Schallwellen in den Probenkörper ausgebildete Ende (4) des Schallerzeugers in dem Innenraum des Flüssigkeitsreservoirs angeordnet ist und/oder dass mit diesem Ende Schallwellen in den Innenraum einkoppelbar sind, und dass der zwischen diesem Ende und der Unterseite des Probenkörpers liegende Raumabschnitt des Innenraums des Flüssigkeitsreservoirs vollständig mit der Flüssigkeit füllbar ist und/oder gefüllt ist.
    • 本发明涉及一种连接装置用于原子力显微镜用声学样本激发包括声音发生器(1),特别是超声波探头,并适于在一个样品物体(P)由声音发生器的声波产生耦合为试样的声激励该 其特征在于,所述耦合装置进入其内部(I)与液体(2)可被填充和/或填充的储液器(3),在其下侧(U)的样品体横向移动的被存储在所述液体储存器和/或 被存储时,所形成的用于声波的耦合到本体的样品端部(4)生成器被设置在所述液体储存器的内部的声音的和/或声波可以与为此在内部,并且该端部和所述底部之间 标本 液体贮存器的内部空间躺在部分完全填充有液体可被填充和/或填充。
    • 9. 发明申请
    • 非接触型走査プローブ顕微鏡
    • 非接触扫描探针显微镜
    • WO2009130832A1
    • 2009-10-29
    • PCT/JP2009/000591
    • 2009-02-16
    • 独立行政法人産業技術総合研究所小椋俊彦
    • 小椋俊彦
    • G01N13/16G01N13/10
    • G01Q60/32G01Q10/06
    •  試料ステージ(11)の上に試料(13)が載置され、その表面に第1のプローブ(14)が、裏面に第2のプローブ(15)が配置されている。第1のプローブ(14)にはFM検出モジュール(18)から、第2のプローブ(15)であるカンチレバーの機械的な共振周波数と同じ周波数の交流信号が数Vの振幅で印加され、第2のプローブ(15)の先端部により試料(13)により変調された後の信号が感知(検出)されてカンチレバーは当該信号により共振する。このような相互作用に基づく共振振動は、カンチレバー(15)により電気信号として検出され、検出信号の振幅変化と周波数変化は、コントロールPC(20)により処理されて、振幅変化情報および周波数変化情報に基づいて画像情報(マッピング像)が形成される。
    • 将样品(13)放置在样品台(11)上,在样品台的前表面上布置第一探针(14),并在样品台的后表面上设置第二探针(15)。 与来自FM检测模块(18)的悬臂的机械共振频率即第二探头(15)的频率相同的交流信号以几伏的幅度施加到第一探头(14) 已经由样品(13)调制的信号被第二探针(15)的前端部检测(检测),并且悬臂通过这种信号共振。 基于这种相互作用的谐振振荡由悬臂(15)检测为电信号,由控制PC(20)处理检测信号的幅度变化和频率变化,形成图像信息(映射图像) 基于振幅变化信息和频率变化信息。