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1. 发明申请

WO2012019477A1 嵌套双压电管推动的三摩擦力压电步进器与步进扫描器审中-公开
公开(公告)号：WO2012019477A1
公开(公告)日：2012-02-16
申请号：PCT/CN2011/074697
申请日：2011-05-26
申请人：中国科学技术大学 , 陆轻铀 , 王琦
发明人：陆轻铀 , 王琦
IPC分类号： H01L41/09 , G01N13/10 , G12B21/20
CPC分类号： H02N2/021

2. 发明申请

WO2009158598A2 EVANESCENT MICROWAVE MICROSCOPY PROBE AND METHODOLOGY 审中-公开
标题翻译：历史微波微观探测与方法论
公开(公告)号：WO2009158598A2
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：PCT/US2009/048824
申请日：2009-06-26
申请人： WRIGHT STATE UNIVERSITY , KLEISMIT, Richard, A. , HULL, Barbara, E. , KOZLOWSKI, Gregory , FOY, Brent
发明人： KLEISMIT, Richard, A. , HULL, Barbara, E. , KOZLOWSKI, Gregory , FOY, Brent
IPC分类号： G12B21/02 , G01N13/10 , G01R1/06
CPC分类号： G01Q60/22
摘要： The present disclosure generally relates to an evanescent microwave microscopy probe and methods for making and using the same. Some embodiments relate to a probe which is constructed of silver. Other embodiments relate to a method of measuring an unknown property a target material, comprising moving the probe away from the target material, taking a first measurement, moving the probe such that it touches the target material, taking a second measurement, and comparing the first and second measurements in order to measure the unknown property.
摘要翻译：本公开一般涉及消逝的微波显微镜探针及其制造和使用方法。一些实施例涉及由银构成的探针。其他实施例涉及一种测量目标材料的未知性质的方法，包括将探针远离目标材料移动，进行第一测量，移动探针使得其接触目标材料，进行第二测量，并且比较第一和第二次测量以便测量未知属性。

3. 发明申请

WO2009130832A1 非接触型走査プローブ顕微鏡审中-公开
标题翻译：非接触扫描探针显微镜
公开(公告)号：WO2009130832A1
公开(公告)日：2009-10-29
申请号：PCT/JP2009/000591
申请日：2009-02-16
申请人：独立行政法人産業技術総合研究所 , 小椋俊彦
发明人：小椋俊彦
IPC分类号： G01N13/16 , G01N13/10
CPC分类号： G01Q60/32 , G01Q10/06
摘要：　試料ステージ（１１）の上に試料（１３）が載置され、その表面に第１のプローブ（１４）が、裏面に第２のプローブ（１５）が配置されている。第１のプローブ（１４）にはＦＭ検出モジュール（１８）から、第２のプローブ（１５）であるカンチレバーの機械的な共振周波数と同じ周波数の交流信号が数Ｖの振幅で印加され、第２のプローブ（１５）の先端部により試料（１３）により変調された後の信号が感知（検出）されてカンチレバーは当該信号により共振する。このような相互作用に基づく共振振動は、カンチレバー（１５）により電気信号として検出され、検出信号の振幅変化と周波数変化は、コントロールＰＣ（２０）により処理されて、振幅変化情報および周波数変化情報に基づいて画像情報（マッピング像）が形成される。
摘要翻译：将样品（13）放置在样品台（11）上，在样品台的前表面上布置第一探针（14），并在样品台的后表面上设置第二探针（15）。与来自FM检测模块（18）的悬臂的机械共振频率即第二探头（15）的频率相同的交流信号以几伏的幅度施加到第一探头（14）已经由样品（13）调制的信号被第二探针（15）的前端部检测（检测），并且悬臂通过这种信号共振。基于这种相互作用的谐振振荡由悬臂（15）检测为电信号，由控制PC（20）处理检测信号的幅度变化和频率变化，形成图像信息（映射图像）基于振幅变化信息和频率变化信息。

4. 发明申请

WO2009107696A1 カーボンナノチューブ支持体及びその製造方法审中-公开
标题翻译：碳纳米管支持和生产碳纳米管支持的方法
公开(公告)号：WO2009107696A1
公开(公告)日：2009-09-03
申请号：PCT/JP2009/053496
申请日：2009-02-26
申请人：独立行政法人科学技術振興機構 , 中山喜萬 , 平原佳織 , 千賀亮典
发明人：中山喜萬 , 平原佳織 , 千賀亮典
IPC分类号： G01N13/10
CPC分类号： G01Q70/12
摘要：　雰囲気中の残留炭化水素が極めて少ない高真空状態下において、強固なＣＮＴ固定処理を可能にして、単層又は２層などの細径ＣＮＴを用いたＣＮＴナノデバイスや、その製作過程に必要なＣＮＴ担持体などのＣＮＴ支持体及びその製造方法を提供する。　支持体１８には支持部１８ａが形成されている。ＣＮＴ１５の基端部１５ａを支持部１８ａに転移させて、ＣＮＴ１５の基端部１５ａに向けて電子ビーム１７又はイオンビームを照射する。基端部１５ａ及び支持部１８ａを被覆する炭素物質層１９が、前記ビームにより、アモルファス炭素層及びグラファイト層に変化する。このグラファイト層により、ＣＮＴ１５を、支持体１８に固定して、ＣＮＴ支持体を製造する。このビーム照射はＴＥＭ内の高真空下で行われる。
摘要翻译：公开了一种使用具有单层，两层或其它结构的小直径CNT的CNT纳米器件，其通过在具有非常低的残余烃含量的气氛的高真空下由于强的CNT固定处理而产生。还公开了CNT载体，例如CNT纳米器件的制造过程所需的CNT载体，以及CNT载体的制造方法。支撑部分（18a）设置在支撑件（18）上。 CNT（15）中的后锚定部分（15a）被转移到支撑部分（18a），并且电子束（17）或离子束被施加到CNT（15）中的后锚定部分（15a）。覆盖后锚固部（15a）和支撑部（18a）的碳物质层（19）通过施加梁而转变为无定形碳层和石墨层。通过石墨层将CNT（15）固定在载体（18）上，以产生CNT载体。梁的应用在TEM内的高真空下进行。

5. 发明申请

WO2009104625A1 ティップ型プローブ製造方法、ティップ型プローブ及びティップ型プローブ製造装置审中-公开
标题翻译：提示类型探头制造方法，提示类型探头和提示类型探头制造装置
公开(公告)号：WO2009104625A1
公开(公告)日：2009-08-27
申请号：PCT/JP2009/052733
申请日：2009-02-18
申请人：セイコーインスツル株式会社 , 朴馬中 , 大海学
发明人：朴馬中 , 大海学
IPC分类号： G01N13/14 , G01N13/10 , G11B5/02 , G11B5/31
CPC分类号： G11B9/1409 , G01Q60/22 , G11B7/1387 , G11B2005/0021
摘要：　ティップ型プローブの、容易かつ高効率な製造方法を提供する。　頂面と側面からなる錐台の前記側面上に金属膜を有するティップ型プローブ製造方法であって、前記頂面と相似な形状のエッチングマスクを基板上に形成する工程と、前記エッチングマスクをマスク材として前記基板を等方性エッチングすることにより前記錐台を形成する工程と、前記エッチングマスクの面積より、前記頂面の面積が小さくなった後で、前記等方性エッチングを止める工程と、前記エッチングマスクと前記側面との間に成膜粒子が回り込むことで前記金属膜を成膜する工程とを含むティップ型プローブの製造方法。
摘要翻译：公开了一种用于尖端型探针的简单高效的制造方法。该方法用于制造在由所述侧表面和顶表面组成的锥形基底的侧表面上具有金属膜的尖端型探针。所述尖端型探针制造方法包括：在基板上形成具有与所述顶面相似形状的蚀刻掩模的步骤; 使用所述蚀刻掩模作为掩模材料通过各向同性蚀刻形成所述圆锥形基底的步骤; 在所述顶表面的面积变得小于所述蚀刻掩模的面积之后停止所述各向同性蚀刻的步骤; 以及通过在所述蚀刻掩模和所述侧表面之间的空间填充的成膜颗粒形成所述金属膜的步骤。

6. 发明申请

WO2009086915A1 A METHOD FOR MAKING A 3D NANOSTRUCTURE HAVING A NANOSUBSTRUCTURE, AND AN INSULATING PYRAMID HAVING A METALLIC TIP, A PYRAMID HAVING NANO-APERTURES AND HORIZONTAL AND/OR VERTICAL NANOWIRES OBTAINABLE BY THIS METHOD 审中-公开
标题翻译：一种制造具有纳米结构的3D纳米结构的方法，以及具有金属尖端的绝缘薄膜，具有纳米孔径的平面和通过该方法获得的水平和/或垂直纳米线
公开(公告)号：WO2009086915A1
公开(公告)日：2009-07-16
申请号：PCT/EP2008/011107
申请日：2008-12-22
申请人： UNIVERSITEIT TWENTE , BERENSCHOT, Johan Willem , TAS, Niels Roelof
发明人： BERENSCHOT, Johan Willem , TAS, Niels Roelof
IPC分类号： B81C1/00 , G01N13/10 , G12B21/02
CPC分类号： B81C1/00111 , B33Y10/00 , B33Y80/00 , B81C2201/034 , B82Y35/00 , G01Q70/10 , G01Q70/16 , Y10T428/2913 , Y10T428/2982
摘要： The invention relates to a method for making a 3D nanostructure having a nanosubstructure, comprising the steps of : i) providing a mold comprising at least one sharp concave corner; ii) conformational depositing at least one structural material in the sharp concave corner; iii) isotropically removing structural material; iv) depositing at least one other structural material; v) removing earlier deposited structural material; vi) forming a nanosubstructure; and vii) removing the mold thereby providing the 3D nanostructure having the nanosubstructure.
摘要翻译：本发明涉及一种制备具有纳米结构的3D纳米结构的方法，包括以下步骤：i）提供包括至少一个锋利的凹角的模具; ii）在锋利的凹角中构造沉积至少一种结构材料; iii）各向同性地除去结构材料; iv）沉积至少一种其他结构材料; v）清除较早沉积的结构材料; vi）形成纳米结构; 和vii）去除模具，从而提供具有纳米结构的3D纳米结构。

7. 发明申请

WO2009036365A3 METHOD AND APPARATUS OF AUTOMATIC SCANNING PROBE IMAGING 审中-公开
公开(公告)号：WO2009036365A3
公开(公告)日：2009-03-19
申请号：PCT/US2008/076284
申请日：2008-09-12
申请人： VEECO INSTRUMENTS, INC. , SU, Chanmin , BELIKOV, Sergey
发明人： SU, Chanmin , BELIKOV, Sergey
IPC分类号： G01N13/10 , H01J37/26
摘要： A method of operating a scanning probe microscope (SPM) (10) includes scanning (36) a sample (22) as a probe (14) of the SPM (10) interacts with a sample (22), and collecting sample surface data in response to the scanning step (36). The method identifies (38) a feature of the sample (22) from the sample surface data and automatically performs a zoom-in scan (42) of the feature based on the identifying step (38). The method operates to quickly identify and confirm the location of features of interest, such as nano-asperities, so as to facilitate performing a directed high resolution image of the feature.

8. 发明申请

WO2008115862A2 FAST SCANNING SPM SCANNER AND METHOD OF OPERATING SAME 审中-公开
标题翻译：快速扫描SPM扫描仪及其操作方法
公开(公告)号：WO2008115862A2
公开(公告)日：2008-09-25
申请号：PCT/US2008/057217
申请日：2008-03-17
申请人： VEECO INSTRUMENTS, INC. , PHAN, Nghi , CUSWORTH, Craig
发明人： PHAN, Nghi , CUSWORTH, Craig
IPC分类号： G12B21/22 , G12B21/20 , G01N13/10
CPC分类号： G01Q10/02 , G01Q20/02 , G01Q30/025
摘要： A high-bandwidth SPM tip scanner includes an objective (34) that is vertically movable within the scan head to increase the depth of focus for the sensing light beam. Movable optics permit targeting of the sensing light beam on the SPM's probe (12) and permit the sensing light beam to track the probe during scanning. The targeting and tracking permit the impingement of a small sensing light beam spot on the probe (12) under direct visual inspection of focused illumination beam of an optical microscope (32) integrated into the SPM (10) and, as a result, permits the use of a relatively small cantilever with a commensurately small resonant frequency. A high-bandwidth tip scanner constructed in this fashion has a fundamental resonant frequency greater than greater than 500 Hz and a sensing light beam spot minor diameter of less than 10 µm.
摘要翻译：高带宽SPM尖端扫描器包括可在扫描头内垂直移动的物镜（34），以增加感测光束的焦深。可移动光学元件可以在SPM探头（12）上定位感测光束，并允许感测光束在扫描期间跟踪探头。靶向和跟踪允许小感测光束光点的冲击上下的光学显微镜的聚焦的照明光束的直接视觉检查探头（12）（32）集成到SPM（10），并且作为结果，允许使用相当小的共振频率较小的悬臂。以这种方式构造的高带宽尖端扫描器具有大于500Hz的基本谐振频率和小于10微米的传感光束点直径。

9. 发明申请

WO2007145012A1 探針設計支援システム、探針設計支援方法及び探針設計支援プログラム审中-公开
标题翻译：探索设计支持系统，探索设计支持方法和探索设计支持计划
公开(公告)号：WO2007145012A1
公开(公告)日：2007-12-21
申请号：PCT/JP2007/057324
申请日：2007-03-26
申请人：みずほ情報総研株式会社 , 学校法人早稲田大学 , 渡辺尚貴 , 塚田捷
发明人：渡辺尚貴 , 塚田捷
IPC分类号： G01N13/10
CPC分类号： G01Q30/04 , G01Q70/16
摘要：制御手段（２０）は、仮想３Ｄ空間に設定された結晶構造体の内部に仮想原子を配置して、各原子の座標を原子配置リスト記憶部（２２０）に記憶する。制御手段（２０）は、ミラー指数設定部（２１１）から取得したミラー指数と、切断位置設定部（２１２）から取得した切断面の切断位置によって決まる境界条件に基づいて、原子配置リスト記憶部（２２０）から削除すべき境界外仮想原子を特定する。制御手段（２０）は、切断後の探針の表面に位置する各仮想原子の結合数を計数し、この結合数に基づいて不安定な仮想原子を特定し、不安定な仮想原子の表示を変更する。
摘要翻译：控制装置（20）将虚拟原子布置在设置在虚拟3-D空间中的晶体结构中，并将每个原子的坐标存储在原子配置列表存储部分（220）中。控制装置（20）基于从镜像索引设置部分（211）获取的镜像索引和取决于切割的边界条件，从原子配置列表存储部分（220）中指定要消除的异界虚拟原子从切割位置设定部（212）取得的切断面的位置。控制装置（20）计算切割后位于探针表面上的每个虚拟原子的键数，基于键数确定不稳定的虚拟原子并改变不稳定虚拟原子的显示。

10. 发明申请

WO2006004064A1 走査型プローブ顕微鏡システム审中-公开
标题翻译：扫描探针显微镜系统
公开(公告)号：WO2006004064A1
公开(公告)日：2006-01-12
申请号：PCT/JP2005/012249
申请日：2005-07-01
申请人：本田技研工業株式会社 , 服部達哉 , 銭朴
发明人：服部達哉 , 銭朴
IPC分类号： G01N13/10 , G01N13/16
CPC分类号： G01Q30/20 , G01Q70/10 , Y10S977/849 , Y10S977/851 , Y10S977/86 , Y10S977/872 , Y10S977/873
摘要：　複数の試料を自動的に処理し得る走査型プローブ顕微鏡システムを提供する。　中空探針３と、中空探針３の後端32に接続されたチューブ４と、中空探針３の下に設けられた支持台１と、支持台１に固定された基板２及び中空探針３の洗浄器５とを具備する走査型プローブ顕微鏡システムであって、試料Sがチューブ４及び中空探針３を通過し、基板２及び洗浄器５は支持台１によって動かされて、それぞれ中空探針３と対向する走査型プローブ顕微鏡システム。
摘要翻译：能够自动处理多个样品的扫描探针显微镜系统。扫描探针显微镜系统具有中空探针（3），连接到中空探针（32）的后端（32）的管（4），设置在中空探针（3）下方的支撑台（1），以及用于中空探针（3）的衬底（2）和垫圈（5），其固定到支撑台（1）上。样品（S）通过管（4）和中空探针（3），并且基板（2）和垫圈（5）通过支撑台（1）移动，以便分别面对中空探针（3）。

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