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    • 4. 发明申请
    • DISPOSITIF MICROELECTROMECANIQUE AVEC STRUCTURE D'ACTIONNEMENT PIEZOELECTRIQUE
    • 具有压电致动结构的微电子器件
    • WO2012107888A1
    • 2012-08-16
    • PCT/IB2012/050567
    • 2012-02-08
    • CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUEFAUCHER, Marc
    • FAUCHER, Marc
    • H01L41/047H01L41/09B81B3/00
    • H01L41/0973H01L27/20H01L41/047H01L41/0933H01L41/094
    • Dispositif microélectromécanique comportant : un substrat (SS); une première couche (C 1 ) d'un premier matériau semi-conducteur, déposée sur une surface dudit substrat; une deuxième couche (C 2 ) d'un deuxième matériau semi- conducteur piézoélectrique différent dudit premier matériau semi-conducteur, déposée sur ladite première couche, lesdites première et deuxième couches formant une hétérostructure susceptible de confiner un gaz bidimensionnel de porteurs (2DEG); au moins un élément suspendu (ES), formé par des prolongements desdites couches s'étendant au-delà d'un bord (B) dudit substrat; et une première (E 1 ) et une deuxième (E 2 ) électrodes d'actionnement pour établir une différence de potentiel entre ledit gaz bidimensionnel de porteurs et ladite première couche de manière à former une structure d'actionnement piézoélectrique dudit élément suspendu; caractérisé en ce qu'une couche diélectrique (CD) est prévue entre ladite deuxième électrode d'actionnement et ladite deuxième couche pour empêcher le passage d'un courant électrique entre elles.
    • 微机电装置,包括:基板(SS); 第一半导体材料的第一层(C1),沉积在所述衬底的表面上; 沉积在所述第一层上的与所述第一半导体材料不同的第二压电半导体材料的第二层(C2),所述第一和第二层形成能够限制载流子(2DEG)的二维气体的异质结构; 至少一个悬挂元件(ES),其由所述层的延伸延伸超过所述基底的边缘(B)形成; 以及第一(E1)和第二(E2)致动电极,用于以所述悬浮元件形成压电致动结构的方式建立载体和所述第一层的所述二维气体之间的电位差; 其特征在于,在所述第二致动电极和所述第二层之间提供电介质层(CD),以防止它们之间的电流通过。