会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 10. 发明专利
    • 半導體光元件之製造方法 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR OPTICAL DEVICE
    • 半导体光组件之制造方法 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR OPTICAL DEVICE
    • TWI373182B
    • 2012-09-21
    • TW096136740
    • 2007-10-01
    • 三菱電機股份有限公司
    • 阿部真司川崎和重
    • H01S
    • H01S5/22B82Y20/00H01S5/0425H01S5/2009H01S5/2214H01S5/34333
    • 〔課題〕穩定地在導波管肋狀物之上表面防止半導體層與電極層之接觸面積的減少,防止位於此半導體層蝕刻損傷。
      〔解決手段〕在半導體層之上疊積金屬覆蓋層75而形成導波管肋狀物40,並以SiO2膜78覆蓋之且塗布光阻後,導波管肋狀物40頂部之SiO2膜78之表面外露,且形成利用光阻膜而埋設通道38之SiO2膜78的光阻圖案82,其中此光阻膜具有較導波管肋狀物40之金屬覆蓋層75表面高且較導波管肋狀物40之SiO2膜78表面低的表面。之後,以光阻圖案82為硬罩幕並藉由蝕刻而將SiO2膜78除去,而且,藉由濕蝕刻而將金屬覆蓋層75除去,並使導波管肋狀物40之p-GaN層74表面外露而形成電極層46。
    • 〔课题〕稳定地在导波管肋状物之上表面防止半导体层与电极层之接触面积的减少,防止位于此半导体层蚀刻损伤。 〔解决手段〕在半导体层之上叠积金属覆盖层75而形成导波管肋状物40,并以SiO2膜78覆盖之且涂布光阻后,导波管肋状物40顶部之SiO2膜78之表面外露,且形成利用光阻膜而埋设信道38之SiO2膜78的光阻图案82,其中此光阻膜具有较导波管肋状物40之金属覆盖层75表面高且较导波管肋状物40之SiO2膜78表面低的表面。之后,以光阻图案82为硬罩幕并借由蚀刻而将SiO2膜78除去,而且,借由湿蚀刻而将金属覆盖层75除去,并使导波管肋状物40之p-GaN层74表面外露而形成电极层46。