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1. 发明专利

TW202011035A 晶粒之光電特性及外觀檢測系統审中-公开
简体标题：晶粒之光电特性及外观检测系统
公开(公告)号：TW202011035A
公开(公告)日：2020-03-16
申请号：TW107131042
申请日：2018-09-04
申请人：駿曦股份有限公司 , 大陸商河北聖源光電股份有限公司
发明人：徐榮祥 , 楊勇峰 , 薛永亮
IPC分类号： G01R31/01 , G01R31/26 , H01S5/00
摘要：本發明提供一種晶粒之光電特性及外觀檢測系統，包含有第一外觀檢測裝置進行晶粒正面檢測，移動裝置提取晶粒進行移動，第二外觀檢測裝置進行晶粒背面檢測，第一電性檢測裝置設置在滑軌裝置，以進行晶粒的第一電性檢測，第二電性檢測裝置進行晶粒的第二電性檢測，第三外觀檢測裝置設在滑軌裝置，以使第二電性檢測裝置位在第一、第三外觀檢測裝置間，第三外觀檢測裝置進行晶粒的側面檢測，檢測後將晶粒移至分類。本發明結合光學檢測及電性檢測，藉此一併檢測晶粒的光電特性及外觀，以增加檢測的速度。
简体摘要：本发明提供一种晶粒之光电特性及外观检测系统，包含有第一外观检测设备进行晶粒正面检测，移动设备提取晶粒进行移动，第二外观检测设备进行晶粒背面检测，第一电性检测设备设置在滑轨设备，以进行晶粒的第一电性检测，第二电性检测设备进行晶粒的第二电性检测，第三外观检测设备设在滑轨设备，以使第二电性检测设备位在第一、第三外观检测设备间，第三外观检测设备进行晶粒的侧面检测，检测后将晶粒移至分类。本发明结合光学检测及电性检测，借此一并检测晶粒的光电特性及外观，以增加检测的速度。

2. 发明专利

TW201725344A 用於傳輸光之照明模組审中-公开
简体标题：用于传输光之照明模块
公开(公告)号：TW201725344A
公开(公告)日：2017-07-16
申请号：TW105127584
申请日：2016-08-26
申请人：海特根微光學公司 , HEPTAGON MICRO OPTICS PTE. LTD.
发明人：巴金迪米翠 , BAKIN, DMITRY , 朵隆莫奇 , DORON, MOSHE , 葛洛爾馬休斯 , GLOOR, MATTHIAS , 羅絲馬克斯 , ROSSI, MARKUS
IPC分类号： F21V13/00 , G02B26/00 , H01L27/00 , H01S5/00
CPC分类号： G01S7/4815 , G01S17/32 , G02B3/0056 , G02B19/0028 , G02B19/0061 , G02B19/0066 , H01L33/58 , H01L33/60 , H01L2224/48091 , H01S5/005 , H01S5/02292 , H01S5/02296 , H01S5/423 , H01L2924/00014
摘要：本發明係關於可操作以增加諸如一垂直腔面射型雷射或發光二極體之一照明源在其上方照明之區域的照明模組。此等照明模組包含：一基板，其具有電接觸件；一照明源，其經電連接至該基板；一準直總成，其可操作以準直自該照明源產生之光；一傳輸總成，其可操作以傳輸一區域上方之光；及一遮罩總成。在各種實施方案中，該照明源可具有非常小之面積，藉此減少該照明模組的成本。在一些情況中，該照明模組之一些實施方案可用於獲取三維資料，而在其他情況中，該照明模組之一些實施方案可用於需要投射光的其他應用。
简体摘要：本发明系关于可操作以增加诸如一垂直腔面射型激光或发光二极管之一照明源在其上方照明之区域的照明模块。此等照明模块包含：一基板，其具有电接触件；一照明源，其经电连接至该基板；一准直总成，其可操作以准直自该照明源产生之光；一传输总成，其可操作以传输一区域上方之光；及一遮罩总成。在各种实施方案中，该照明源可具有非常小之面积，借此减少该照明模块的成本。在一些情况中，该照明模块之一些实施方案可用于获取三维数据，而在其他情况中，该照明模块之一些实施方案可用于需要投射光的其他应用。

3. 发明专利

TW201534013A 脈衝光之產生方法、脈衝雷射裝置、以及具備該脈衝雷射裝置之曝光裝置及檢查裝置审中-公开
简体标题：脉冲光之产生方法、脉冲激光设备、以及具备该脉冲激光设备之曝光设备及检查设备
公开(公告)号：TW201534013A
公开(公告)日：2015-09-01
申请号：TW104105473
申请日：2015-02-17
申请人：尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人：稻葉直人 , INABA, NAOTO , 德久章 , TOKUHISA, AKIRA
IPC分类号： H01S3/10 , H01S5/00 , G03F7/20 , G01N21/84
CPC分类号： H01S3/0085 , G03F7/70025 , G03F7/70041
摘要：本發明提供一種能以簡單構成產生時間寬度小之光脈衝之脈衝光之產生方法及脈衝雷射裝置。本發明之第1態樣係將從雷射光源輸出之雷射光之一部分以強度調變型電氣光學調變器加以切出以脈衝光之脈衝光產生方法。此脈衝光之產生方法，係在以電氣光學調變器中雷射光穿透率最小之電壓為V0、從電壓V0至雷射光之穿透率最大為止之電壓為Vπ時，電壓以電壓V0為基準進行2Vπ變化之驅動訊號驅動電氣光學調變器以產生脈衝光。
简体摘要：本发明提供一种能以简单构成产生时间宽度小之光脉冲之脉冲光之产生方法及脉冲激光设备。本发明之第1态样系将从激光光源输出之激光光之一部分以强度调制型电气光学调制器加以切出以脉冲光之脉冲光产生方法。此脉冲光之产生方法，系在以电气光学调制器中激光光穿透率最小之电压为V0、从电压V0至激光光之穿透率最大为止之电压为Vπ时，电压以电压V0为基准进行2Vπ变化之驱动信号驱动电气光学调制器以产生脉冲光。

4. 实用新型

TWM503009U 半導體雷射－繞射光學元件模組失效
简体标题：半导体激光－绕射光学组件模块
公开(公告)号：TWM503009U
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：TW103220315
申请日：2014-11-14
申请人：華錦光電科技股份有限公司 , AHEAD OPTOELECTRONICS, INC.
发明人：廖宏榮 , LIAO, HONG ZONG , 張穎岳 , CHANG, YING YUEH , 顏智敏 , YEN, CHIH MING
IPC分类号： H01S5/00

5. 发明专利

TWI423542B 雷射二極體控制電路及應用此電路之雷射二極體控制裝置有权
简体标题：激光二极管控制电路及应用此电路之激光二极管控制设备
公开(公告)号：TWI423542B
公开(公告)日：2014-01-11
申请号：TW100119064
申请日：2011-05-31
申请人：晶致半導體股份有限公司 , AMTEK SEMICONDUCTOR CO., LTD.
发明人：李燈輝 , LEE, TENG HUI , 李仕成 , LEE, SHIH CHENG
IPC分类号： H01S3/00 , H01S5/00

6. 发明专利

TW201345832A 週期性奈米孔洞狀結構陣列之製造方法及其用途审中-公开
简体标题：周期性奈米孔洞状结构数组之制造方法及其用途
公开(公告)号：TW201345832A
公开(公告)日：2013-11-16
申请号：TW101117045
申请日：2012-05-14
申请人：國立台灣大學 , NATIONAL TAIWAN UNIVERSITY
发明人：傅柏翰 , FU, PO HAN , 林冠中 , LIN, GUAN JHONG , 賴昆佑 , LAI, KUN YU , 何志浩 , HE, JR HAU
IPC分类号： B82Y20/00 , B82B3/00 , H01L33/00 , H01S5/00
摘要：本發明提供一種週期性奈米孔洞狀結構陣列之製造方法，包括：於一基材上形成一氧化物薄膜；將該氧化物薄膜進行一親水性處理；於該氧化物薄膜上形成一奈米球陣列；在第一蝕刻條件中，對該奈米球陣列進行第一蝕刻；以及在第二蝕刻條件中，以該奈米球陣列作為光罩，對該氧化物薄膜進行第二蝕刻，其中第一蝕刻條件與第二蝕刻條件之蝕刻參數已最佳化，俾使製程簡化且成本低廉。本發明亦提供一種抗反射層，藉由以前述之方法所製造之週期性奈米孔洞狀結構陣列，來更有效抑制各種波長範圍中的表面反射，應用於光電元件上可增加其效能。
简体摘要：本发明提供一种周期性奈米孔洞状结构数组之制造方法，包括：于一基材上形成一氧化物薄膜；将该氧化物薄膜进行一亲水性处理；于该氧化物薄膜上形成一奈米球数组；在第一蚀刻条件中，对该奈米球数组进行第一蚀刻；以及在第二蚀刻条件中，以该奈米球数组作为光罩，对该氧化物薄膜进行第二蚀刻，其中第一蚀刻条件与第二蚀刻条件之蚀刻参数已最优化，俾使制程简化且成本低廉。本发明亦提供一种抗反射层，借由以前述之方法所制造之周期性奈米孔洞状结构数组，来更有效抑制各种波长范围中的表面反射，应用于光电组件上可增加其性能。

7. 发明专利

TW201329645A 微影投射曝光裝置之投射物鏡审中-公开
简体标题：微影投射曝光设备之投射物镜
公开(公告)号：TW201329645A
公开(公告)日：2013-07-16
申请号：TW101135498
申请日：2012-09-27
申请人：卡爾蔡司SMT有限公司 , CARL ZEISS SMT GMBH
发明人：柴爾納喬漢尼斯 , ZELLNER, JOHANNES , 畢特納鮑瑞斯 , BITTNER, BORIS , 瓦伯拉諾伯特 , WABRA, NORBERT , 哈登伯格馬丁凡 , HODENBERG, MARTIN VON , 舒納德桑賈 , SCHNEIDER, SONJA , 舒納德瑞卡達 , SCHNEIDER, RICARDA , 史考勃安尼 , SCHOB, ARNE , 羅道夫剛特 , 葛雷茲客亞歷山大 , GRATZKE, ALEXANDER , 墨法特布萊斯安東 , MOFFAT, BRYCE ANTON
IPC分类号： G03F7/20 , H01S5/00
CPC分类号： G03F7/70308 , G03F7/70891 , H01S5/005 , H01S5/0064 , H01S5/4025
摘要：一種屬於微影投射曝光裝置之投射物鏡包含：一波前校正器件(42)，其包含一折射光學元件(44；44a、44b)，該折射光學元件具有投射光從中通過的兩個對置光學表面(46、48)；及一周圍邊緣表面(50)，其在兩個光學表面(46、48)之間延伸。第一及第二光學系統(OS1、OS2)經組態將第一及第二加熱光(HL1、HL2)引向邊緣表面(50)的不同部分，致使第一及第二加熱光的至少一部分進入折射光學元件(44；44a、44b)。因局部吸收加熱光(HL1、HL2)引起的溫度分布導致折射光學元件(44；44a、44b)內部校正波前誤差的折射率分布。至少第一光學系統(OS1)包含一聚焦光學元件(55)，其將第一加熱光聚焦於焦點區(56)，致使自焦點區(56)發出的第一加熱光撞擊在邊緣表面(50)上。
简体摘要：一种属于微影投射曝光设备之投射物镜包含：一波前校正器件(42)，其包含一折射光学组件(44；44a、44b)，该折射光学组件具有投射光从中通过的两个对置光学表面(46、48)；及一周围边缘表面(50)，其在两个光学表面(46、48)之间延伸。第一及第二光学系统(OS1、OS2)经组态将第一及第二加热光(HL1、HL2)引向边缘表面(50)的不同部分，致使第一及第二加热光的至少一部分进入折射光学组件(44；44a、44b)。因局部吸收加热光(HL1、HL2)引起的温度分布导致折射光学组件(44；44a、44b)内部校正波前误差的折射率分布。至少第一光学系统(OS1)包含一聚焦光学组件(55)，其将第一加热光聚焦于焦点区(56)，致使自焦点区(56)发出的第一加热光撞击在边缘表面(50)上。

8. 发明专利

TWI381072B III-Ｖ族化合物半導體之製造方法、肖特基能障二極體、發光二極體、雷射二極體及該等之製造方法失效
简体标题： III-Ｖ族化合物半导体之制造方法、肖特基能障二极管、发光二极管、激光二极管及该等之制造方法
公开(公告)号：TWI381072B
公开(公告)日：2013-01-01
申请号：TW097106136
申请日：2008-02-21
申请人：住友電氣工業股份有限公司 , SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.
发明人：上野昌紀 , UENO, MASAKI , 齋藤雄 , SAITOH, YU
IPC分类号： C30B29/40 , H01L51/50 , H01S5/00
CPC分类号： H01L21/02576 , B82Y20/00 , C23C16/303 , H01L21/02389 , H01L21/02458 , H01L21/02505 , H01L21/0254 , H01L21/0257 , H01L21/0262 , H01L29/2003 , H01L29/66212 , H01L29/66462 , H01L29/7786 , H01L29/872 , H01L33/0075 , H01L33/325 , H01S5/2009 , H01S5/305 , H01S5/3054 , H01S5/3211 , H01S5/34333 , H01S2304/04

9. 实用新型

TWM599900U 雷射瞄準器有权
简体标题：激光瞄准器
公开(公告)号：TWM599900U
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：TW108216407
申请日：2019-12-10
申请人：台績麗科技股份有限公司 , QUARTON INC.
发明人：黃肇基 , HUANG, CHAOCHI , 陳亮江 , CHEN, CHIANG CHIAG
IPC分类号： F41G1/34 , H01S5/00 , F41B7/08

10. 发明专利

TWI699845B 半導體裝置之製造方法有权
简体标题：半导体设备之制造方法
公开(公告)号：TWI699845B
公开(公告)日：2020-07-21
申请号：TW107147649
申请日：2018-12-28
申请人：日商三菱電機股份有限公司 , MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
发明人：河原弘幸 , KAWAHARA, HIROYUKI
IPC分类号： H01L21/67 , H01S5/00

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