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    • 2. 发明专利
    • 氮化物半導體雷射元件及其製造方法 NITRIDE SEMICONDUCTOR LASER DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE NITRIDE SEMICONDUCTOR LASER DEVICE
    • 氮化物半导体激光组件及其制造方法 NITRIDE SEMICONDUCTOR LASER DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE NITRIDE SEMICONDUCTOR LASER DEVICE
    • TWI347054B
    • 2011-08-11
    • TW093118665
    • 2004-06-25
    • 日亞化學工業股份有限公司
    • 小崎德也坂本惠司松村拓明
    • H01S
    • B82Y20/00H01S5/0201H01S5/0202H01S5/2214H01S5/3202H01S5/32341H01S5/34333H01S2304/12
    • 本發明揭示一種氮化物半導體雷射裝置及其製造方法,該裝置具有一計數器電極結構,其接觸電阻係降低。該氮化物半導體雷射裝置包括:一氮化物半導體基板,其具有該第一主要表面及該第二主要表面,一氮化物半導體層,其堆疊在該氮化物半導體基板之第一主要表面上,一脊狀長條,其形成在該氮化物半導體層中,及一共振表面,其以垂直該脊形長條長度之方向形成一光學波導,其中該氮化物半導體基板包括一第一區,其具有一(0001)面板之長晶面,及一第二區,其具有一至少與該第一區不同之長晶面,及一凹洞形成在一第一主要表面及/或一第二主要表面之第二區中。一脊形長條覆於該氮化物半導體基板之第一主要表面之上而形成。
    • 本发明揭示一种氮化物半导体激光设备及其制造方法,该设备具有一计数器电极结构,其接触电阻系降低。该氮化物半导体激光设备包括:一氮化物半导体基板,其具有该第一主要表面及该第二主要表面,一氮化物半导体层,其堆栈在该氮化物半导体基板之第一主要表面上,一嵴状长条,其形成在该氮化物半导体层中,及一共振表面,其以垂直该嵴形长条长度之方向形成一光学波导,其中该氮化物半导体基板包括一第一区,其具有一(0001)皮肤之长晶面,及一第二区,其具有一至少与该第一区不同之长晶面,及一凹洞形成在一第一主要表面及/或一第二主要表面之第二区中。一嵴形长条覆于该氮化物半导体基板之第一主要表面之上而形成。