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1. 发明公开

KR1020170098518A 광센서 审中-实审
标题翻译：光传感器
公开(公告)号：KR1020170098518A
公开(公告)日：2017-08-30
申请号：KR1020160020536
申请日：2016-02-22
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 오광룡
IPC分类号： G01J1/04 , G01J1/08
CPC分类号： H01S5/141 , G01J3/18 , G01J3/45 , G01J2003/1842 , H01S5/0028 , H01S5/028 , H01S5/4062 , H01S5/4068
摘要： 본발명은센싱광 및기준광을각각출력하는외부공진레이저및 상기외부공진레이저에서출력된상기센싱광과상기기준광의간섭에의한비팅신호를검출하는광 검출기를포함하고, 상기외부공진레이저는센싱대상물이부착될수 있는센싱격자및 상기센싱격자와동일평면상에배치되는기준격자를구비한반사필터를포함하여상기센싱격자에서반사된센싱광 및상기기준격자에서반사된기준광을각각출력하는것을특징으로하는광센서를구현하여고분해능의분광기가필요없고분해능및 감도가향상된다.
摘要翻译：本发明包括用于通过外部谐振器的激光检测差拍信号的光学检测器，并且所述感测的光，并从所述外部谐振器的激光输出，用于分别输出的感测光和参考光，所述参考光的干涉，和外部谐振器的激光感测对象其特征在于，所述感测的光的每一个输出与参考光反射从参考光栅由所述传感栅格，包括带有参考网格被布置在被感测电网连接的反射滤光器和感测光栅与同一平面上的反射无需使用高分辨率分光镜即可提高分辨率和灵敏度。

2. 发明公开

KR1020160086990A 스펙트럼 분석을 위한 분광 기기 및 방법 有权
标题翻译：光谱仪和光谱分析方法
公开(公告)号：KR1020160086990A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：KR1020167018868
申请日：2011-12-28
申请人： 웨이브라이트 게엠베하
发明人： 고르슈보트클라우디아 , 제글로즈토비아스 , 마쏘우올레 , 비스베헤닝 , 보글러클라우스
IPC分类号： G01J3/28
CPC分类号： G01J3/45 , G01B9/02091 , G01J3/2803 , G01J3/28
摘要： 본발명의분광기기(38)는, 제1 광학요소(48)에입사되는다색광선을공간스펙트럼으로분할하는제1 광학요소(48)와, 분할광선(46a, 46b, 46c)의여러스펙트럼영역(B, B, B)을상이한공간영역(52a, 52b, 52c)으로보내도록구성된대물렌즈(50)와, 그리고대물렌즈(50)의하류에분할광선(46a, 46b, 46c)의광로내에위치하는, 복수의감광소자(54a, 54b, 54c)를갖는센서(54)를포함한다. 감광소자(54a, 54b, 54c)는, 각감광소자(54a, 54b, 54c)가광선(46)의스펙트럼부분(A, A, A)의강도를기록하도록분할광선(46a, 46b, 46c)의광로내에배치되며, 스펙트럼부분(A, A, A)들의중앙값(Mk, Mk, Mk)은 k 공간(k는파수를의미함) 내에서상호간에등거리에위치한다.

3. 发明授权

KR101330887B1 시료 평가 방법 및 시스템 有权
标题翻译：用于评估样品的方法和系统
公开(公告)号：KR101330887B1
公开(公告)日：2013-11-18
申请号：KR1020067025887
申请日：2005-05-17
申请人： 세모메테크 에이/에스
发明人： 아른비다르손,뵈르쿠르 , 라르센,한스
IPC分类号： G01J3/28 , G01J3/433
CPC分类号： G01J3/45 , G01J3/0202 , G01J3/453 , G01N21/35 , G01N21/3563 , G01N21/3577 , G01N21/359 , G01N2021/3595 , G01N2201/0691 , G01N2201/129
摘要： 본 발명은 간섭 정보를 시료의 화학적 또는/및 물리적 특성과 상관시키는 대안 전략을 제공한다. 이 전략은 간섭 분광법에 따른 최신 기술 보다 유리한 실질적인 기술적, 상업적 이점을 제공하는 방법 및 시스템으로 실현된다. 본 발명은 또한 간섭계를 표준화는 방법 및 표준화된 간섭계를 사용한 방법 및 시스템을 제공한다.
시료 판정, 간섭계, 표준화, 변조, 광.

4. 发明公开

KR1020130095544A 광섬유 패브리-페롯 간섭계를 이용하는 가스 감지 장치 有权
标题翻译：通过使用纤维布板式干涉仪进行气体感应的装置
公开(公告)号：KR1020130095544A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：KR1020120017070
申请日：2012-02-20
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 송용원 , 임정아 , 배미경
IPC分类号： G01N21/31 , G01B9/02
CPC分类号： G01J3/45 , G01J3/0218 , G01J3/26 , G01N21/7703 , G01N2021/772 , G01N2021/7723 , G01N2021/7779 , G02B6/10
摘要： PURPOSE: Gas sensing apparatus is provided to sense gas using a phenomenon that periodicity of spectrums changes. CONSTITUTION: The gas sensing apparatus comprises a header unit (230) and a light spectrum analyzer (240). The header unit comprises a sensing material, and forms interference waves by fabry-perot interferometer on a light source (210). The light spectrum analyzer determines whether or not specific gas exists based on changes in the periodicity of spectrums of the interference waves.
摘要翻译：目的：提供气体感测装置，以便利用频谱周期变化的现象来感测气体。构成：气体感测装置包括一个头部单元（230）和一个光谱分析仪（240）。头部单元包括感测材料，并且在光源（210）上由fabry-perot干涉仪形成干涉波。光谱分析仪基于干扰波的频谱周期的变化来确定是否存在特定气体。

5. 发明公开

KR1020080042883A 광간섭 단층촬영법에서 편광 기반 직교 복조를 수행하기위한 장치, 방법 및 저장 매체 有权
标题翻译：用于在光学相干平台中进行基于偏振度的平移解调的装置，方法和存储介质
公开(公告)号：KR1020080042883A
公开(公告)日：2008-05-15
申请号：KR1020087005720
申请日：2006-08-09
申请人： 더 제너럴 하스피탈 코포레이션
发明人： 바콕,벤자민,제이 , 윤석현 , 티어니,길레모,제이 , 보우마,브레트,유진
IPC分类号： G01N21/47 , G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02044 , A61B5/0059 , A61B5/0066 , G01B9/02004 , G01B9/02072 , G01B9/02081 , G01B9/02091 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01J3/45 , G01J2009/0265 , G01N21/21 , G01N21/274 , G01N21/4795
摘要： Apparatus, method and storage medium which can provide at least one first electro-magnetic radiation to a sample and at least one second electro-magnetic radiation to a reference, such that the first and/or second electro-magnetic radiations have a spectrum which changes over time. In addition, a first polarization component of at least one third radiation associated with the first radiation can be combined with a second polarization component of at least one fourth radiation associated with the second radiation with one another. The first and second polarizations may be specifically controlled to be at least approximately orthogonal to one another.
摘要翻译：可以向样品提供至少一个第一电磁辐射和至少一个第二电磁辐射至参考的装置，方法和存储介质，使得第一和/或第二电磁辐射具有改变的光谱随着时间的推移。此外，与第一辐射相关联的至少一个第三辐射的第一偏振分量可以与与第二辐射相关联的至少一个第四辐射的第二偏振分量彼此组合。可以将第一和第二偏振特别地控制为至少大致彼此正交。

6. 发明公开

KR1020020055533A 시간-파장 변환에 의한 초고속 광신호의 아이 패턴 측정장치 失效
标题翻译：用于通过时间波长转换测量非常高速光信号的眼图的设备
公开(公告)号：KR1020020055533A
公开(公告)日：2002-07-09
申请号：KR1020000084565
申请日：2000-12-28
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 이학규 , 전민용 , 안준태 , 임동성 , 김경헌
IPC分类号： H04B10/07
CPC分类号： H04B10/07957 , G01J3/45
摘要： PURPOSE: An apparatus for measuring an eye pattern of a very high speed optical signal by a time-wavelength conversion is provided to convert a time waveform with an input optical pulse into a wavelength domain using a linear chirping super-succession optical source and a non-linear interferometer and measure the eye pattern. CONSTITUTION: A super-succession optical source unit(310) generates a linear chirping super-succession optical source. A non-linear interference unit(320) generates a non-linear interference about the super-succession optical source generated by the super-succession optical source unit(310) according to an inputted optical pulse(340). An optical wavelength analyzing unit(330) analyzes an optical wavelength using the result of the non-linear interference about the super-succession optical source and measures an eye pattern.
摘要翻译：目的：提供一种用于通过时间波长转换来测量非常高速光信号的眼图的装置，用于使用线性啁啾超连续光源将非输入光脉冲的时间波形转换成波长域，线性干涉仪并测量眼图。构成：超连续光源单元（310）产生线性啁啾超连续光源。非线性干扰单元（320）根据输入的光脉冲（340）产生由超连续光源单元（310）生成的超连续光源的非线性干扰。光波长分析单元（330）使用关于超连续光源的非线性干扰的结果分析光波长并测量眼图。

7. 发明公开

KR1019990088623A 표면상태측정방법및장치 无效
标题翻译：表面状态监测方法和装置
公开(公告)号：KR1019990088623A
公开(公告)日：1999-12-27
申请号：KR1019990019365
申请日：1999-05-28
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트 , 미야모또 노부오 , 니와노 미찌오
发明人： 요시다하루오 , 엔도미찌아끼 , 니와노미찌오 , 미야모또노부오 , 마에다야스히로
IPC分类号： G01N21/88
CPC分类号： G01N21/94 , G01J3/02 , G01J3/0216 , G01J3/108 , G01J3/45 , G01N21/552 , G01N21/9501 , G01N21/9503 , G01N21/9505 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 본발명은반도체기판등의표면상태를측정하는표면상태측정방법및 장치에관한것으로, 적외선분광법에따라반도체기판의표면상태를제조현장에서인사이츄측정(in-situ monitoring)할수 있는표면상태측정방법및 장치를제공한다. 적외광원(20)으로부터방사된적외선을, 피측정기판(12)의외주부분에집광하여피측정기판(12) 내로도입하는적외선집광수단(30)과, 적외선집광수단(30)에의해집광되는적외선의피측정기판(12)에의입사각도를소정치로고정하거나또는가변제어하는입사각도제어수단(80)과, 피측정기판(12) 내에서다중반사한후에피측정기판(12)으로부터출사하는적외선을집광하는적외선집광수단(40)과, 적외선집광수단(40)에의해집광된적외선을검출하는적외선검출수단(50)과, 적외선검출수단(50)에의해검출된적외선을분석하고, 피측정기판의표면에부착한오염물을측정하는적외선분석수단(60)을구비한다.

8. 发明公开

KR1020170092803A 일체형 편광간섭계 및 이를 적용한 스냅샷 분광편광계 审中-实审
公开(公告)号：KR1020170092803A
公开(公告)日：2017-08-14
申请号：KR1020160013928
申请日：2016-02-04
申请人： 전북대학교산학협력단
发明人： 김대석
IPC分类号： G01J3/45 , G02B27/28 , G01N21/21 , G01N21/27 , G01N21/01
CPC分类号： G01J3/45 , G01N21/01 , G01N21/21 , G01N21/27 , G02B27/28
摘要： 일체형편광간섭계및 이를적용한스냅샷분광편광계가제공된다. 본발명의실시예에따른일체형편광간섭계는, 입사되는복합파를분리하는편광빔 스플리터, 편광빔 스플리터의제1 면에부착되어편광빔 스플리터를투과한제1 편광을편광빔 스플리터로반사하는제1 미러및 편광빔 스플리터의제2 면에부착되어편광빔 스플리터에서반사된제2 편광을편광빔 스플리터로반사하는제2 미러를포함한다. 이에의해, 일체형편광간섭계를이용하여외부진동등에의한외란에강인한분광편광현상스냅샷측정이가능해져, 측정의반복도와정확도를향상시킬수 있게된다.

9. 发明公开

KR1020170016006A 검사 장치, 검사 방법 및 디바이스 제조 방법 审中-实审
标题翻译：检验装置检查方法和装置制造方法
公开(公告)号：KR1020170016006A
公开(公告)日：2017-02-10
申请号：KR1020177001173
申请日：2015-06-19
申请人： 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
发明人： 싱아만데브 , 펠레만스헨리쿠스페트루스마리아 , 워나르페트릭
IPC分类号： G03F7/20 , G01J3/28 , G01J3/45 , G01N21/47
CPC分类号： G03F7/70491 , G01J3/2823 , G01J3/45 , G01N21/4788 , G01N2201/06113 , G03F7/70625 , G03F7/70633
摘要： 검사장치(100)는기판상에서타겟의파라미터를측정하기위해이용된다. 가간섭성방사선은타겟(T)을조명하기위한조명경로(실선표시된광선)를따른다. 집광경로(파선표시된광선)는타겟으로부터회절방사선을집광하여록-인이미지검출기(112)에전달한다. 기준빔은기준경로(점선표시된광선)를따른다. 음향-광학변조기(108)는록-인검출기에서의방사선의세기가기준방사선의주파수와회절방사선의주파수사이의차이에대응하는특성주파수를갖는시변성분을포함하도록기준빔의광 주파수를시프트한다. 록-인이미지검출기는시변성분의진폭및 위상모두를나타내는 2차원이미지정보를기록한다. 상이한시프트(110)를갖는제2 기준빔은제2 기준경로(쇄선표시된광선)를따른다. 2개의기준빔들사이의간섭이세기정규화를위해이용될수 있다.
摘要翻译：检查装置（100）用于测量基板上的目标的参数。相干辐射遵循用于照射目标（T）的照明路径（固体光线）。收集路径（虚线）从目标物体收集衍射辐射并将其传送到锁定图像检测器（112）。参考光束遵循参考路径（虚线）。声光调制器（108）移动参考光束的光频率，使得锁定检测器处的辐射强度包括具有与衍射辐射的频率之间的差异相对应的特征频率的时变分量，以及参考辐射。锁定图像检测器记录表示时变分量的幅度和相位的二维图像信息。具有不同偏移（110）的第二参考光束遵循第二参考路径（点划线）。两个参考光束之间的干涉可用于强度归一化。

10. 发明授权

KR101683408B1 분광 측정 장치 有权
标题翻译：光谱测量装置
公开(公告)号：KR101683408B1
公开(公告)日：2016-12-06
申请号：KR1020157008521
申请日：2013-10-02
申请人： 고쿠리츠다이가쿠호우징 카가와다이가쿠
发明人： 이시마루이치로
IPC分类号： A61B5/1455 , A61B5/00 , G01J3/06 , G01J3/453 , G01N21/27 , G01N21/35
CPC分类号： G01J3/45 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G01J3/0256 , G01J3/0291 , G01J3/2803 , G01J3/4531 , G01J3/4532 , G01N2021/3595
摘要： 본발명의분광측정장치는피측정물의측정영역내에위치하는복수의측정점으로부터각각발사된측정광속을제1 측정광속및 제2 측정광속으로분할하는분할광학계와, 제1 측정광속및 제2 측정광속을간섭시키는결상광학계와, 제1 측정광속및 제2 측정광속의사이에연속적인광로길이차분포를주는광로길이차부여수단과, 광로길이의연속적인분포에상응하는간섭광의강도분포를검출하는복수의픽셀을포함하는검출부와, 검출부에서검출되는간섭광의광강도분포에기초하여, 피측정물의측정점의인터페로그램을구하고, 이인터페로그램을푸리에변환함으로써스펙트럼을취득하는처리부와, 피측정물과분할광학계의사이에배치된, 그분할광학계와공통의공역면을가지는공역면결상광학계와, 공역면에배치되어복수의측정점으로부터발사된측정광속에공간적인주기변조를주는주기성부여수단을구비한다.
摘要翻译：根据本发明的光谱特性测量装置包括：分割光学系统，用于将位于待测物体的测量区域内的多个测量点中的每一个发射的测量光束分成第一测量光束和第二测量光束; 用于使第一测量光束和第二测量光束彼此干涉的成像光学系统; 光路长度差提供装置，用于提供第一测量光束和第二测量光束之间的光程长度差的连续分布; 用于检测干涉光的光强度分布的检测器; 基于由所述检测器检测出的干涉光的光强度分布获取被测量物体的测量点的干涉图并进行傅立叶变换以获得光谱的处理器; 位于被测量物体与分割光学系统之间的共轭平面成像光学系统，共轭平面成像光学系统具有与分割光学系统共享的共轭平面; 以及位于共轭平面上的周期性提供装置，用于在从多个测量点发射的测量光束之间提供周期性。

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