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1. 发明授权

KR102035998B1 인터페이스 장치, 제조 방법 및 시험 장치 有权
公开(公告)号：KR102035998B1
公开(公告)日：2019-10-24
申请号：KR1020130128068
申请日：2013-10-25
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 아타카,츠요시
IPC分类号： G01R1/04 , G01R31/28 , G01R1/073

2. 发明授权

KR101858258B1 전원장치, 그 제어방법 및 이들을 이용한 시험장치 有权
公开(公告)号：KR101858258B1
公开(公告)日：2018-06-28
申请号：KR1020110130047
申请日：2011-12-07
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 시미즈,타카히코 , 데가와,카츠히코
IPC分类号： G05F1/565 , G05F1/10
CPC分类号： H02M3/156 , G01R31/40 , H02M2003/1566
摘要： 반도체디바이스에안정적으로전원공급을할 수있는전원장치를제공한다. DUT(1)의전원단자에는부하용량(C)이접속된다. 전류검출부(30)는전원장치(100)에서출력되는출력전류(I)를검출한다. 비선형제어부(20)는 DUT(1)의전원단자에흘러드는부하전류(I)가변동하는제 1 타이밍에서부하전류(I)와출력전류(I)가일치한제 2 타이밍까지의제 1 기간에부하용량(CL)에충/방전되는전하량과, 제 2 타이밍에서제어를종료하는제 3 타이밍까지의제 2 기간에부하용량(C)에충/방전되는전하량이균일해지도록, 그출력량(S)을제어한다.

3. 发明授权

KR101748256B1 핸들러 장치, 핸들러 장치의 조정 방법 및 시험 장치 有权
公开(公告)号：KR101748256B1
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：KR1020140034379
申请日：2014-03-25
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 야마시타,츠요시 , 아이자와,미츠노리 , 호리노,히로미츠 , 야마다,유야 , 오노자와,마사타카
IPC分类号： G01R31/28 , G06T7/00 , G01R1/04
CPC分类号： G01R31/2891 , G01C11/00 , G01R1/0441 , G01R31/2893
摘要： (과제) 액추에이터의위치를조정하여, 피시험디바이스의위치정밀도를높이는핸들러장치. (해결수단) 피시험디바이스를시험용소켓에반송하는핸들러장치에있어서, 피시험디바이스를유지하는디바이스유지기를시험용소켓에감합하는데앞서디바이스유지기에감합되어디바이스유지기상에서의피시험디바이스의위치를조정하는액추에이터와, 액추에이터를액추에이터감합유닛에감합시켜액추에이터의구동량을조정하는액추에이터조정부를포함하는핸들러장치및 핸들러장치의조정방법을제공한다.

4. 发明授权

KR101690728B1 출력 장치 및 시험 장치 有权
标题翻译：输出装置和测试装置
公开(公告)号：KR101690728B1
公开(公告)日：2016-12-29
申请号：KR1020100124782
申请日：2010-12-08
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 쿠라모치,야수히데
IPC分类号： H03M1/66 , H03M1/10 , H03M1/74 , H03M1/12
CPC分类号： H03M1/1061 , H03M1/745
摘要： (과제) 신호를양호한정밀도로출력한다. (해결수단) 복수의전류원과, 복수의전류원의각각에대응하여설치되어, 입력데이터에따라대응하는전류원에흐르는전류를출력단에흘리는지여부를스위칭하는복수의스위칭부와, 복수의전류원의각각에대응하여설치되어, 대응하는전류원에흐르는전류를지정하는지정전압을유지하는복수의유지부와, 복수의유지부의각각이유지해야할 지정전압을순차적으로발생하는설정용 DAC와, 설정용 DAC에의해순차적으로발생되는지정전압을복수의유지부중 대응하는유지부에순차적으로스위칭하여공급하는공급부를포함하는출력장치를제공한다.
摘要翻译：提供了一种包括多个电流源的输出装置; 多个保持部分，分别对应于电流源，并且每个保持指定电流指定流过对应的电流源的电流; 设置DAC，其顺序地产生要由每个保持部保持的指定电压; 以及供应部，其在相应的保持部中顺序地切换由所述设定DAC产生的指定电压的供给。

5. 发明公开

KR1020160127636A 노광 장치 및 노광 방법 无效
标题翻译：曝光装置和曝光方法
公开(公告)号：KR1020160127636A
公开(公告)日：2016-11-04
申请号：KR1020160024128
申请日：2016-02-29
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 야마다,아키오 , 세야마,마사히로 , 나스노,히데키
IPC分类号： G03F7/20 , G03F1/20 , G03F1/44 , G03F1/50
CPC分类号： H01J37/3045 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/3177 , H01J2237/043 , H01J2237/0435 , H01J2237/15 , H01J2237/2025 , H01J2237/20285 , H01J2237/30455 , H01J2237/31766 , H01J2237/31774
摘要： [과제] 하전입자빔을이용하여, 스테이지의이동오차를저감시켜복잡하고미세한패턴을형성한다. [해결수단] 하전입자빔을발생하는빔 발생부와, 시료를탑재하고, 해당시료를빔 발생부에대하여상대적으로이동시키는스테이지부와, 스테이지부의위치를검출하는검출부와, 스테이지부의검출위치에기초하여, 스테이지부의구동량을예측한예측구동량을생성하는예측부와, 예측구동량에기초하여, 하전입자빔을시료에조사하는조사제어를행하는조사제어부를구비하는노광장치및 노광방법을제공한다.
摘要翻译：目的：通过减少阶段的运动误差，使用带电粒子束形成复杂和精细的图案。实现目的的手段：曝光装置，包括产生带电粒子束的光束产生部分; 具有安装在其上的样品（10）的台阶部（110），并使样本相对于束生成部移动; 检测部，其检测所述台部的位置; 预测部（1000），其基于所述舞台部的检测位置生成预测所述舞台部的驱动量而得到的预测驱动量; 以及照射控制部（170），其根据预测的驱动量进行照射带电粒子束的样品的照射控制。还提供了一种曝光方法。

6. 发明公开

KR1020150111286A 핸들러 장치, 디바이스 유지기 및 시험 장치 有权
标题翻译：手持设备，设备保持器和测试设备
公开(公告)号：KR1020150111286A
公开(公告)日：2015-10-05
申请号：KR1020150035774
申请日：2015-03-16
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 아이자와,미츠노리 , 야마다,유야
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/2887 , G01R1/0433 , G01R31/043 , G01R31/2891 , G01R31/2893 , G01R31/2867
摘要： (과제) 피시험디바이스와시험용소켓을양호한정밀도로전기적으로접속한다. (해결수단) 피시험디바이스를유지하는디바이스유지기를시험용소켓에감합하는데앞서디바이스유지기에감합되어디바이스유지기상에서의피시험디바이스의위치를조정하는액추에이터와, 피시험디바이스의위치가조정된디바이스유지기를반송하여시험용소켓에감합시키는반송부를포함하고, 디바이스유지기는, 피시험디바이스를탑재하는이너유닛과, 이너유닛을이동가능하게유지하는아우터유닛과, 피시험디바이스를탑재하는측으로부터눌러진것에따라, 이너유닛의이동의로크를해제하는해제버튼을포함하고, 액추에이터는, 해제버튼을눌러이너유닛을이동가능하게하여, 이너유닛의위치를조정하는핸들러장치를제공한다.
摘要翻译：本发明的目的是以高精度连接被测器件和测试插座。执行器在保持被测设备与测试插座互锁之前，通过与设备固定器互锁来调节被测设备的位置。返回部件通过返回设备固定器将位置调整后的设备固定器与测试插座互锁。设备保持器包括：用于加载被测设备的内部单元; 用于保持内部单元以使内部单元可移动的外部单元; 以及释放按钮，其通过从被测试装置的一侧被推入的释放按钮释放内部单元的移动锁定。执行器调节内部单元的位置，该位置可以通过按下释放按钮移动。

7. 发明公开

KR1020150111051A 핸들러 장치, 핸들러 장치의 조정 방법 및 시험 장치 有权
标题翻译：操作装置，操纵装置和测试装置的调整方法
公开(公告)号：KR1020150111051A
公开(公告)日：2015-10-05
申请号：KR1020140034379
申请日：2014-03-25
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 야마시타,츠요시 , 아이자와,미츠노리 , 호리노,히로미츠 , 야마다,유야 , 오노자와,마사타카
IPC分类号： G01R31/28 , G06T7/00 , G01R1/04
CPC分类号： G01R31/2891 , G01C11/00 , G01R1/0441 , G01R31/2893 , G01R31/2601 , G01R1/0433 , G01R31/2863 , G01R31/2865 , G01R31/2867 , G01R31/2887
摘要： (과제) 액추에이터의위치를조정하여, 피시험디바이스의위치정밀도를높이는핸들러장치. (해결수단) 피시험디바이스를시험용소켓에반송하는핸들러장치에있어서, 피시험디바이스를유지하는디바이스유지기를시험용소켓에감합하는데앞서디바이스유지기에감합되어디바이스유지기상에서의피시험디바이스의위치를조정하는액추에이터와, 액추에이터를액추에이터감합유닛에감합시켜액추에이터의구동량을조정하는액추에이터조정부를포함하는핸들러장치및 핸들러장치의조정방법을제공한다.
摘要翻译：本发明涉及一种处理装置，其能够通过调节致动器的位置来提高被测装置的位置精度。处理器装置将被测试装置返回到用于测试的插座，包括：执行器，在将设备维护器互锁之前通过与设备维护器互锁来调节被测设备在设备维护器上的位置，以便使被测设备与插座保持连接测试; 以及致动器调节部，通过使致动器与致动器联锁单元联动来调节致动器的操作。

8. 发明公开

KR1020150008341A 디바이스 인터페이스 장치, 시험 장치 및 시험 방법 有权
标题翻译：设备接口装置，测试装置和测试方法
公开(公告)号：KR1020150008341A
公开(公告)日：2015-01-22
申请号：KR1020140087225
申请日：2014-07-11
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 하라,히데오 , 마스다,신
IPC分类号： G01R1/02 , G01R31/26
CPC分类号： H04B10/0731 , H04B10/801
摘要： [과제] 광 인터페이스를 구비한 피시험 디바이스의 시험을 용이하게 실행하는 시험 장치.
[해결 수단] 광 인터페이스를 가지는 피시험 디바이스를 탑재하는 디바이스 인터페이스 장치에 있어서, 피시험 디바이스를 탑재하는 디바이스 탑재부와, 피시험 디바이스가 가지는 광 인터페이스에 접속되는 광 커넥터와, 디바이스 탑재부에 탑재된 피시험 디바이스의 광 인터페이스와 광 커넥터를 접속하기 전에, 광 인터페이스 및 광 커넥터의 적어도 일방으로부터 출력되는 광 신호를 검출하는 광 신호 검출부를 구비하는 디바이스 인터페이스 장치, 시험 장치 및 시험 방법을 제공한다.
摘要翻译： [主题]能够容易地测试包括光接口的目标设备的测试设备。关于配备有包括光接口的目标设备的设备接口设备，提供了一种设备接口设备，包括配备有目标设备的设备配备部件，连接到包括在该接口中的光接口的光连接器目标装置和光信号检测部分，在连接到设备装备部件的目标装置的光连接器和光接口之前，检测从光连接器和光接口的至少一侧输出的光信号，测试设备和测试方法。

9. 发明授权

KR101450458B1 전원 장치 및 이를 사용한 시험 장치 有权
标题翻译：电源装置和测试装置
公开(公告)号：KR101450458B1
公开(公告)日：2014-10-14
申请号：KR1020130073856
申请日：2013-06-26
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 시미즈,타카히코 , 데가와,카츠히코
IPC分类号： G05F1/10 , G01R31/26
CPC分类号： H02M3/157 , G01R1/00 , G05F1/00 , H02M1/00 , H02M3/04 , H02M2001/0012 , H02M2001/0025
摘要： [과제]
부하를 포함하는 계(系)의 변동시에 고속으로 전원 신호를 안정화한다.
[해결수단]
전원 장치(100)는, 전원 라인(4)을 통해 디바이스의 전원 단자에 전원 신호(S
PS )를 공급한다. A/D 컨버터(20)는 디바이스의 전원 단자에 공급되는 전원 신호(S
PS )에 따른 아날로그 관측값(V
M )을 피드백 라인(6)을 통해 받고, 디지털 관측값(D
M )으로 변환한다. 디지털 연산부(30)는 A/D 컨버터(20)로부터의 디지털 관측값(D
M )이 소정의 기준값(Ref)과 일치하도록 조절되는 제어값(D
OUT )을 디지털 연산 처리에 의해 생성한다. D/A 컨버터(40)는 제어값(D
OUT )을 디지털/아날로그 변환하고, 아날로그의 전원 신호(S
PS )를 전원 라인(4)을 통해 디바이스의 전원 단자로 공급한다. 귀환율 산출부(50)는 제어값(D
OUT )과 디지털 관측값(D
M )의 비를 산출한다. 디지털 연산부(30)는 귀환율 산출부(50)가 계산한 비에 근거하여, 그 연산 처리의 내용이 변경가능하도록 구성된다.

10. 发明授权

KR101422212B1 시험 패턴 생성 장치, 시험 프로그램 생성 장치, 생성 방법, 프로그램 및 시험 장치 有权
标题翻译：测试图形发生装置，测试程序生成装置，生成方法，程序和测试装置
公开(公告)号：KR101422212B1
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：KR1020120121252
申请日：2012-10-30
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 토요다,타쿠야
IPC分类号： G06F11/263
CPC分类号： H04L43/50 , G01R29/26 , G01R31/318307 , G01R31/31908 , G01R31/31919
摘要： (과제) 시험 장치의 하드웨어 사양 및 시험 장치용의 프로그램 언어에 밝지 않은 유저라도, 시험 패턴을 용이하게 작성시키는 장치를 제공한다.
(해결 수단) 복수의 단자를 가지는 피시험 디바이스와의 사이에서 통신하는 시험 패턴을 생성하는 시험 패턴 생성 장치에 있어서, 기본 사이클 중에 복수의 단자의 각각과의 사이에서 통신하는 신호 패턴을 나타내는 사이클 프리미티브를 유저의 지시에 기초하여 생성하는 프리미티브 생성부와, 유저의 지시에 기초하여 복수의 사이클 프리미티브를 배열해, 복수의 기본 사이클 분의 신호 패턴을 나타내는 디바이스 사이클을 생성하는 디바이스 사이클 생성부와, 유저의 지시에 기초하여 복수의 디바이스 사이클을 배열해, 피시험 디바이스에 공급하는 시험 패턴의 시컨스를 생성하는 시컨스 생성부를 포함하는 시험 패턴 생성 장치를 제공한다.

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