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1. 发明公开

KR1020170023797A 촬상 장치 및 방법 审中-实审
标题翻译：成像装置和方法
公开(公告)号：KR1020170023797A
公开(公告)日：2017-03-06
申请号：KR1020167032066
申请日：2015-06-17
申请人： 소니 주식회사
发明人： 오자와켄
IPC分类号： G01J3/02 , G01J3/28 , G01J3/453 , G01J4/04 , G01J4/00 , G01N21/35
CPC分类号： G01J1/42 , G01J1/0411 , G01J1/0429 , G01J1/0488 , G01J3/0205 , G01J3/0208 , G01J3/0224 , G01J3/027 , G01J3/2823 , G01J3/4531 , G01J4/04 , G01J2004/005 , G01N2021/3595
摘要： 본발명은촬상장치및 방법을제공한다. 물체로부터의광은복수의광 세트로서복수의소자를갖는위상차어레이에제공된다. 위상차어레이는복수의광세트의적어도일부내에포함된광에대하여광로차를제공하도록구성된다. 위상차어레이로부터의광은촬상소자어레이에수광된다. 촬상소자어레이는복수의촬상소자를포함한다. 촬상소자어레이의출력신호에근거한하이퍼스펙트랄이미징데이터로부터얻어진정보는표시될수 있다.
摘要翻译：提供了一种成像装置和方法。将来自物体的光作为多组光束提供给具有多个元件的相位差阵列。相位差阵列被配置为为包括在多组光束中的至少一些光束中的光提供不同的光路。来自相位差阵列的光在成像元件阵列处被接收。成像元件阵列包括多个成像元件。可以显示从基于成像元件阵列的输出信号的高光谱成像数据获得的信息。

2. 发明公开

KR1020150047613A 분광 측정 장치 有权
标题翻译：光谱特性测量装置
公开(公告)号：KR1020150047613A
公开(公告)日：2015-05-04
申请号：KR1020157008187
申请日：2013-10-02
申请人： 고쿠리츠다이가쿠호우징 카가와다이가쿠
发明人： 이시마루이치로
IPC分类号： G01J3/453 , G01J3/06 , G01N21/27 , G01N21/35
CPC分类号： G01J3/45 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G01J3/0256 , G01J3/0291 , G01J3/2803 , G01J3/4531 , G01J3/4532 , G01N2021/3595
摘要： 본발명의분광특성측정장치는피측정물의측정영역내에위치하는복수의측정점으로부터각각발사된측정광속을제1 측정광속및 제2 측정광속으로분할하는분할광학계와, 제1 측정광속및 제2 측정광속을간섭시키는결상광학계와, 제1 측정광속및 제2 측정광속의사이에연속적인광로길이차분포를주는광로길이차부여수단과, 간섭광의광강도분포를검출하는검출부와, 검출부에서검출되는간섭광의광강도분포에기초하여, 피측정물의측정점의인터페로그램을구하고, 이인터페로그램을푸리에변환함으로써스펙트럼을취득하는처리부와, 피측정물과분할광학계의사이에배치된, 그분할광학계와공통의공역면을가지는공역면결상광학계와, 공역면에배치되어복수의측정점으로부터발사된측정광속의사이에주기성을부여하는주기성부여수단을구비한다.
摘要翻译：根据本发明的光谱特性测量装置包括：分割光学系统，用于将位于待测物体的测量区域内的多个测量点中的每一个发射的测量光束分成第一测量光束和第二测量光束; 用于使第一测量光束和第二测量光束彼此干涉的成像光学系统; 光路长度差提供装置，用于提供第一测量光束和第二测量光束之间的光程长度差的连续分布; 用于检测干涉光的光强度分布的检测器; 基于由所述检测器检测出的干涉光的光强度分布获取被测量物体的测量点的干涉图并进行傅立叶变换以获得光谱的处理器; 位于被测量物体与分割光学系统之间的共轭平面成像光学系统，共轭平面成像光学系统具有与分割光学系统共享的共轭平面; 以及位于共轭平面上的周期性提供装置，用于在从多个测量点发射的测量光束之间提供周期性。

3. 发明公开

KR1020070001051A 진공 자외선 참조 반사율계 有权
标题翻译：真空超声波参考反射计
公开(公告)号：KR1020070001051A
公开(公告)日：2007-01-03
申请号：KR1020067005681
申请日：2004-09-21
申请人： 메트로솔 인코포레이티드
发明人： 헤리슨,데일,에이.
IPC分类号： G01N21/55
CPC分类号： G01J3/2803 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0232 , G01J3/027 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G01J3/08 , G01J3/10 , G01J3/28 , G01J3/2823 , G01J3/36 , G01J3/42 , G01J3/4531 , G01N21/211 , G01N21/274 , G01N21/33 , G01N21/47 , G01N21/55 , G01N21/9501 , G01N2021/335
摘要： A spectroscopy system (500) is provided which operates in the vacuum ultra-violet spectrum. More particularly, a system utilizing reflectometry techniques in the vacuum ultraviolet spectrum is provided for use in metrology applications. To ensure accurate and repeatable measurement, the environment of the optical paths (506, 508) is controlled to limit absorption effects of gases that may be present in the optical path. To account for absorption effects that may still occur, the length of the optical path is minimized. To further account for absorption effects, the reflectance data may be referenced to a relative standard. ® KIPO & WIPO 2007
摘要翻译：提供了在真空紫外光谱中操作的光谱系统（500）。更具体地，提供了在真空紫外光谱中利用反射测量技术的系统用于计量学应用。为了确保精确和可重复的测量，控制光路（506,508）的环境以限制可能存在于光路中的气体的吸收效应。为了考虑可能仍然发生的吸收效应，光路的长度被最小化。为了进一步考虑吸收效应，反射率数据可以参考相对标准。 ®KIPO＆WIPO 2007

4. 发明公开

KR1020160074412A 동적 객체로부터의 스펙트럼 정보의 획득 审中-实审
标题翻译：从移动对象获取光谱信息
公开(公告)号：KR1020160074412A
公开(公告)日：2016-06-28
申请号：KR1020150179013
申请日：2015-12-15
申请人： 팔로 알토 리서치 센터 인코포레이티드
发明人： 알렉스헤기 , 조에그마르티니 , 피터키이셀 , 데이비드케이.비에겔센
IPC分类号： G01J3/02 , G01J3/28 , G01N21/3586 , G01J3/12
CPC分类号： G01J3/447 , G01J3/0224 , G01J3/0229 , G01J3/0289 , G01J3/2823 , G01J3/45 , G01J3/4531 , G02B5/04 , G02B5/3083 , G02B27/283 , G02B27/286
摘要： 본광학장치는제1 및제2 편광자들간에개재되는파장판을포함하며또한광학장치에상대하여이동중인물체또는물체이미지로부터방사하는광을수용하도록배치된다. 검출기어레이는하나이상의검출기요소들을포함하며또한제2 편광자로부터광을수용하도록광학적으로결합된다. 검출기어레이의검출기요소각각은제2 편광자로부터수용되는광의강도에따라변화하는전기출력신호를제공한다. 광의강도는물체또는물체이미지와광학장치의상대이동의함수이며또한물체의물체지점에관한스펙트럼정보를포함한다.
摘要翻译：光学装置包括插入在第一和第二偏振器之间的波长板，并且被布置成接收由相对于光学装置移动的物体发射的光或物体的图像。检测器阵列包括一个或多个检测器元件，并被光耦合以接收来自第二偏振器的光。检测器阵列的每个检测器元件提供由第二偏振器接收的光的强度变化的电输出信号。光的强度是物体或物体的图像的相对运动的函数，并且还包括关于物体的位置的光谱信息。

5. 发明公开

KR1020150045523A 분광 측정 장치 有权
标题翻译：光谱测量装置
公开(公告)号：KR1020150045523A
公开(公告)日：2015-04-28
申请号：KR1020157008521
申请日：2013-10-02
申请人： 고쿠리츠다이가쿠호우징 카가와다이가쿠
发明人： 이시마루이치로
IPC分类号： A61B5/1455 , A61B5/00 , G01J3/06 , G01J3/453 , G01N21/27 , G01N21/35
CPC分类号： G01J3/45 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G01J3/0256 , G01J3/0291 , G01J3/2803 , G01J3/4531 , G01J3/4532 , G01N2021/3595 , A61B5/1455 , A61B5/0075 , G01J3/06 , G01J3/453 , G01N21/27 , G01N21/35
摘要： 본발명의분광측정장치는피측정물의측정영역내에위치하는복수의측정점으로부터각각발사된측정광속을제1 측정광속및 제2 측정광속으로분할하는분할광학계와, 제1 측정광속및 제2 측정광속을간섭시키는결상광학계와, 제1 측정광속및 제2 측정광속의사이에연속적인광로길이차분포를주는광로길이차부여수단과, 광로길이의연속적인분포에상응하는간섭광의강도분포를검출하는복수의픽셀을포함하는검출부와, 검출부에서검출되는간섭광의광강도분포에기초하여, 피측정물의측정점의인터페로그램을구하고, 이인터페로그램을푸리에변환함으로써스펙트럼을취득하는처리부와, 피측정물과분할광학계의사이에배치된, 그분할광학계와공통의공역면을가지는공역면결상광학계와, 공역면에배치되어복수의측정점으로부터발사된측정광속에공간적인주기변조를주는주기성부여수단을구비한다.
摘要翻译：根据本发明的光谱特性测量装置包括：分割光学系统，用于将位于待测物体的测量区域内的多个测量点中的每一个发射的测量光束分成第一测量光束和第二测量光束; 用于使第一测量光束和第二测量光束彼此干涉的成像光学系统; 光路长度差提供装置，用于提供第一测量光束和第二测量光束之间的光程长度差的连续分布; 用于检测干涉光的光强度分布的检测器; 基于由所述检测器检测出的干涉光的光强度分布获取被测量物体的测量点的干涉图并进行傅立叶变换以获得光谱的处理器; 位于被测量物体与分割光学系统之间的共轭平面成像光学系统，共轭平面成像光学系统具有与分割光学系统共享的共轭平面; 以及位于共轭平面上的周期性提供装置，用于在从多个测量点发射的测量光束之间提供周期性。

6. 发明授权

KR101324029B1 저비용 및 강인한 분광을 위한 상관 간섭 측정 방법, 장치 및 시스템 有权
标题翻译：低成本和镭射光谱的相关干涉方法，装置和系统
公开(公告)号：KR101324029B1
公开(公告)日：2013-11-01
申请号：KR1020117019502
申请日：2010-01-21
申请人： 레어 라이트, 인크.
发明人： 메쎄슈미트로버트지.
IPC分类号： G01J3/45 , G01J3/457
CPC分类号： G01J3/4531 , G01J3/457 , G01N21/45 , G01N21/552 , G01N21/65
摘要： 본 발명은 상관 간섭 분광 장치가 샘플의 스펙트럼 특성을 검출하는 것을 기재하였으며, 장치는 광자로 샘플을 여기시키는 전자기 방사원과, 검출기에 광자의 도달 시간을 검출하도록 구성되고, 또한 다른 광자들의 도달 시간들 사이의 지연을 검출하도록 구성된 검출기로 구성된다. 상기 장치는 또한, 검출기에의 광자들의 도달 사이를 분석하도록 구성된 자기 상관기로 구성될 수 있다. 장치는 또한 다른 스펙트럼 검출 및 예를 들어 라만 분광 및 감쇠 전반사 분광과 같은 특성 시스템과 함께 사용될 수 있다. 본원에는 또한 상관 간섭 분광 장치를 통합한 방법, 시스템 및 키트가 제공된다.

7. 发明授权

KR100940129B1 진공 자외선 참조 반사율계 有权
标题翻译：真空紫外线参考反射计
公开(公告)号：KR100940129B1
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：KR1020067005681
申请日：2004-09-21
申请人： 메트로솔 인코포레이티드
发明人： 헤리슨,데일,에이.
IPC分类号： G01N21/55
CPC分类号： G01J3/2803 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0232 , G01J3/027 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G01J3/08 , G01J3/10 , G01J3/28 , G01J3/2823 , G01J3/36 , G01J3/42 , G01J3/4531 , G01N21/211 , G01N21/274 , G01N21/33 , G01N21/47 , G01N21/55 , G01N21/9501 , G01N2021/335
摘要： 제공된 분광학 시스템(500) 진공자외선 스펙트럼에서 동작한다. 보다 상세하게, 진공자외선 스펙트럼에서 반사율 측정법 기술들을 이용하는 시스템은 계측 응용물들을 위하여 준비된다. 정확하고 반복 가능한 측정을 보장하도록, 광학 경로(506,508)들의 환경은 광학 경로에서 존재할 수도 있는 가스들의 흡수 영향들을 제한하도록 제어된다. 여전히 발생할 수도 있는 흡수 영향을 설명하도록, 광 경로의 길이는 최소화된다. 흡수 영향을 추가적으로 설명하도록, 반사율 데이터가 상대 표준으로 참조된다.
반도체, 진공자외선, 심자외선, 반사율계,

8. 发明公开

KR20180006617A 간섭계 및 분광기 칩 审中-公开
标题翻译：干涉仪和光谱仪芯片
公开(公告)号：KR20180006617A
公开(公告)日：2018-01-18
申请号：KR20177032265
申请日：2016-04-28
申请人： IMEC VZW , SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
发明人： CLAES TOM
IPC分类号： G01J3/453 , G01J3/02 , G02B6/293
CPC分类号： G01J3/4531 , G01J3/0218 , G01J3/0259 , G02B6/29346 , G02B6/29349
摘要： 일양상에따른간섭계는다중모드도파로(120), 다중모드도파로(120)에광 신호를공급하기위해다중모드도파로(120)의제1 측면에광학적으로결합된입력도파로(110), 다중모드도파로(120)의제2 측면에광학적으로결합되고제1 도파로거울(150)에의해종결되는제1 도파로(130), 다중모드도파로(120)의제2 측면에광학적으로결합되고제2 도파로거울(160)에의해종결되는다른단부에서의제2 도파로(140), 또는다중모드도파로(120)의제2 측면에직접광학적으로결합된제2 도파로거울(160) 및다중모드도파로(120)내에부분적으로또는전체적으로통합되고, 제1 도파로거울(150) 및제2 도파로거울(160)로부터반사된광을두 개의반사파들사이의위상차이에의존하는전력으로수신하도록배치되는적어도하나이상의신호판독구조(170)를포함할수 있다.
摘要翻译：根据一个方面的干涉仪包括输入波导110，其光学耦合到多模波导120的第一侧以向多模波导120提供光信号; 光耦合到搅拌器2侧并且由第一波导镜150终止的第一波导130，光耦合到多模波导120的第二侧并且由第二波导镜160耦合的第二波导镜直接光学耦合到多模波导120的第二侧的第二波导镜160和部分或全部集成在多路复用模式波导120中的第二波导镜160，并且至少一个信号读取结构170被布置为以取决于两个反射波之间的相位差的功率接收从第一波导镜150和第二波导镜160反射的光。

9. 发明授权

KR101683408B1 분광 측정 장치 有权
标题翻译：光谱测量装置
公开(公告)号：KR101683408B1
公开(公告)日：2016-12-06
申请号：KR1020157008521
申请日：2013-10-02
申请人： 고쿠리츠다이가쿠호우징 카가와다이가쿠
发明人： 이시마루이치로
IPC分类号： A61B5/1455 , A61B5/00 , G01J3/06 , G01J3/453 , G01N21/27 , G01N21/35
CPC分类号： G01J3/45 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G01J3/0256 , G01J3/0291 , G01J3/2803 , G01J3/4531 , G01J3/4532 , G01N2021/3595
摘要： 본발명의분광측정장치는피측정물의측정영역내에위치하는복수의측정점으로부터각각발사된측정광속을제1 측정광속및 제2 측정광속으로분할하는분할광학계와, 제1 측정광속및 제2 측정광속을간섭시키는결상광학계와, 제1 측정광속및 제2 측정광속의사이에연속적인광로길이차분포를주는광로길이차부여수단과, 광로길이의연속적인분포에상응하는간섭광의강도분포를검출하는복수의픽셀을포함하는검출부와, 검출부에서검출되는간섭광의광강도분포에기초하여, 피측정물의측정점의인터페로그램을구하고, 이인터페로그램을푸리에변환함으로써스펙트럼을취득하는처리부와, 피측정물과분할광학계의사이에배치된, 그분할광학계와공통의공역면을가지는공역면결상광학계와, 공역면에배치되어복수의측정점으로부터발사된측정광속에공간적인주기변조를주는주기성부여수단을구비한다.
摘要翻译：根据本发明的光谱特性测量装置包括：分割光学系统，用于将位于待测物体的测量区域内的多个测量点中的每一个发射的测量光束分成第一测量光束和第二测量光束; 用于使第一测量光束和第二测量光束彼此干涉的成像光学系统; 光路长度差提供装置，用于提供第一测量光束和第二测量光束之间的光程长度差的连续分布; 用于检测干涉光的光强度分布的检测器; 基于由所述检测器检测出的干涉光的光强度分布获取被测量物体的测量点的干涉图并进行傅立叶变换以获得光谱的处理器; 位于被测量物体与分割光学系统之间的共轭平面成像光学系统，共轭平面成像光学系统具有与分割光学系统共享的共轭平面; 以及位于共轭平面上的周期性提供装置，用于在从多个测量点发射的测量光束之间提供周期性。

10. 发明授权

KR101683407B1 분광 측정 장치 有权
公开(公告)号：KR101683407B1
公开(公告)日：2016-12-06
申请号：KR1020157008187
申请日：2013-10-02
申请人： 고쿠리츠다이가쿠호우징 카가와다이가쿠
发明人： 이시마루이치로
IPC分类号： G01J3/453 , G01J3/06 , G01N21/27 , G01N21/35
CPC分类号： G01J3/45 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G01J3/0256 , G01J3/0291 , G01J3/2803 , G01J3/4531 , G01J3/4532 , G01N2021/3595
摘要： 본발명의분광측정장치는피측정물의측정영역내에위치하는복수의측정점으로부터각각발사된측정광속을제1 측정광속및 제2 측정광속으로분할하는분할광학계와, 제1 측정광속및 제2 측정광속을간섭시키는결상광학계와, 제1 측정광속및 제2 측정광속의사이에연속적인광로길이차분포를주는광로길이차부여수단과, 광로길이의연속적인분포에상응하는간섭광의강도분포를검출하는복수의픽셀을포함하는검출부와, 검출부에서검출되는간섭광의광강도분포에기초하여, 피측정물의측정점의인터페로그램을구하고, 이인터페로그램을푸리에변환함으로써스펙트럼을취득하는처리부와, 피측정물과분할광학계의사이에배치된, 그분할광학계와공통의공역면을가지는공역면결상광학계와, 공역면에배치되어복수의측정점으로부터발사된측정광속에공간적인주기변조를주는주기성부여수단을구비한다.

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