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1. 发明授权

KR101593429B1 ＰＳＯＣＴ의 계측 데이터를 보정하는 프로그램 및 이 프로그램을 탑재한 ＰＳＯＣＴ 시스템 有权
标题翻译：通过PSOCT和PSOCT系统对程序进行校正的程序
公开(公告)号：KR101593429B1
公开(公告)日：2016-02-12
申请号：KR1020137029609
申请日：2012-04-25
申请人： 고쿠리쯔 다이가쿠 호징 츠쿠바 다이가쿠
发明人： 야수노요시아키 , 두안리안 , 이토마사히데
IPC分类号： G01N21/17 , A61B3/12
CPC分类号： G06F7/483 , A61B3/102 , A61B5/0066 , A61B5/7203 , G01B9/02011 , G01B9/02027 , G01B9/02044 , G01B9/0207 , G01B9/02088 , G01B9/02091 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01N21/274 , G01N21/4795
摘要： PS-OCT에있어서계측된데이터를비선형으로보정하고, PS-OCT의정량해석능력을높이고, 병변부위의병기를포함한정확한정량진단을가능하게하고, 컴퓨터진단을위한유용한수단으로서이용을가능하게한다. PS-OCT1에있어서의리타데이션이오차를포함하여노이즈가되고, 그분포가정규분포도아니고, 참인값의주위에대상에분포되어있지않은경우에도, 몬테카를로시뮬레이션으로노이즈의특성을해석함으로써얻어진분포변환함수를사용하여계측데이터를변환함으로써, 계통적인오차를제거하고, 노이즈에묻힌참인값을추측하여, PS-OCT1의화상을보다선명하게보정한다.

2. 发明授权

KR101552290B1 광간섭 단층촬영에 의한 물체의 내부 형상 측정 시스템 및 방법 有权
标题翻译：通过光学相干测量法测量物体内部尺寸的系统和方法
公开(公告)号：KR101552290B1
公开(公告)日：2015-09-10
申请号：KR1020137024629
申请日：2011-02-15
申请人： 웨이브라이트 게엠베하
发明人： 포글러클라우스 , 부엘레르너크리스티안 , 고르슈보트클라우디아 , 도니츠키크리스토프
IPC分类号： A61B3/10 , A61B3/12 , G01B9/02
CPC分类号： G01B11/2441 , A61B3/1005 , A61B3/18 , A61B5/0035 , A61B5/0066 , G01B9/02007 , G01B9/02027 , G01B9/02044 , G01B9/02091 , G01B2290/45 , G01N21/4795
摘要： 입사광의일부가후방으로반사되거나및/또는후방으로분산되고광 간섭단층활영에의해검출될수 있도록굴절률이변화하는내부계면(14, 14', 14")을포함하는, 예컨대, 눈과같은샘플물체의내부형상을광학적으로측정하기위한시스템으로, 물체(10)의제1의부분용적(17)에서의내부형상을측정하도록형성되는적어도하나의 OCT 기구(OCT1)를포함하는시스템(OCT12 - OCT12"')에있어서, 동일한물체(10)의제2 부분용적(19)에서내부형상을측정하도록형성되는적어도하나의제2 OCT 기구(OCT2)와결합하며, 상기제2 부분용적(19)은상기제1 부분용적(17)으로부터적어도부분적으로다른것을특징으로하는샘플물체의내부크기측정시스템(OCT12 - OCT12"')이제공된다. 제1 및제2 OCT 기구(OCT1, OCT2)들은각각다른초점길이(f1, f2)를가지며물체를향하는공통광학렌즈시스템(L12)을통과하며, 공통광원(LS12)을공유할수 있는적어도부분적으로공간상으로중첩된제1 및제2 샘플암(SA1, SA2)들을공유할수 있다. 물체(10)의제1의부분용적(17)의내부형상및 같은물체(10)의제2 부분용적(19)의내부형상은단일측정작동에서광 간섭단층촬영(OCT)에의해측정되나, 다른공간상의해상도를가진다.
摘要翻译：提供了一种用于光学测量样品物体的内部尺寸的系统，其包括折射率变化的内部界面，使得入射光的一部分被反射和/或反向散射并且可以通过光学相干断层摄影检测。该系统包括适于测量物体的第一部分体积中的内部尺寸的至少一个第一OCT装置和适于测量同一物体的第二部分体积中的内部尺寸的至少一个第二OCT装置，其中第二部分容积为至少部分地不同于第一部分体积。第一和第二OCT装置可以共享至少部分空间上叠加的第一和第二样本臂，其可以具有各自不同的焦距并且通过公共光学透镜系统朝向对象

3. 发明授权

KR101332222B1 광간섭 단층촬영법을 이용해서 샘플 내에서 적어도 하나의 위치를 결정하는 방법, 시스템 및 그 방법을 구현하기 위한 소프트웨어가 저장되어 컴퓨터로 판독 가능한 매체 失效
标题翻译：过程，系统和软件安排，用于使用光学相干计算在一个样本中确定最少一个位置
公开(公告)号：KR101332222B1
公开(公告)日：2013-11-22
申请号：KR1020077005318
申请日：2005-08-08
申请人： 더 제너럴 하스피탈 코포레이션
发明人： 데보어,요한,피츠제랄드 , 박,보리스,헤일
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/24 , A61B3/12
CPC分类号： A61B3/1225 , A61B3/1005 , A61B3/102 , G01B9/02004 , G01B9/02011 , G01B9/02044 , G01B9/02067 , G01B9/02068 , G01B9/02069 , G01B9/02083 , G01B9/02091 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01N21/4795
摘要： 샘플의 적어도 일부분에 대한 적어도 하나의 위치를 결정하기 위한 시스템, 공정 및 소프트웨어 배열이 제공된다. 특히, 샘플의 일부분에 관련된 정보가 획득된다. 이러한 부분은 샘플로부터 수신된 제1 전자기 방사선과 기준으로부터 수신된 제2 전자기 방사선을 포함하는 간섭 신호에 관련될 수 있다. 또한, 샘플의 일부분에 대한 심도 정보 및/또는 측방향 정보가 획득될 수 있다. 결과 정보를 생성하기 위해서 심도 정보 및/또는 측방향 정보에 적어도 하나의 가중치 함수가 적용될 수 있다. 또한, 샘플의 일부분에 대한 표면 위치, 측방향 위치 및/또는 심도 위치가 결과적인 정보에 기초해서 확인될 수 있다.
광간섭 단층촬영법, 샘플, 심도 정보, 측방향 정보, 가중치 함수

4. 发明授权

KR101321413B1 주파수 영역 간섭법을 이용하여 광 영상화를 수행하는 방법및 장치 有权
标题翻译：使用频域干涉法进行光学成像的方法和装置
公开(公告)号：KR101321413B1
公开(公告)日：2013-10-22
申请号：KR1020067010382
申请日：2004-09-08
申请人： 더 제너럴 하스피탈 코포레이션
发明人： 윤석현 , 보우마,브레트,유진 , 티어니,길레모,주니어 , 보어,요한,피츠제럴드데
IPC分类号： G01J9/02 , G01J9/00 , G01B9/02 , A61B5/00
CPC分类号： H01S5/5045 , A61B5/0059 , A61B5/0066 , A61B5/7257 , G01B9/02002 , G01B9/02004 , G01B9/02043 , G01B9/02075 , G01B9/02081 , G01B9/02083 , G01B9/02084 , G01B9/0209 , G01B9/02091 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0218 , G01J3/0264 , G01J3/453 , G01J9/0215 , G01N21/4795 , G02B6/3604 , G02B26/12 , G02B27/48 , G02F1/093 , G02F1/11 , H01S3/0071 , H01S3/0078 , H01S3/08009 , H01S3/08063 , H01S3/105 , H01S3/1068 , H01S5/0071 , H01S5/0078 , H01S5/1025 , H01S5/14 , H01S5/141 , H01S5/146
摘要： 장치 및 방법이 개시된다. 특히 적어도 하나의 제1 전자기 방사가 하나의 샘플에 제공되며, 또한 적어도 하나의 제2 전자기 방사가 비 반사 기준물에 제공될 수 있다. 제1 및/또는 제2 방사의 주파수는 시간에 따라 변한다. 상기 샘플로부터 복귀된 적어도 하나의 제3 방사와 상기 기준물로부터 복귀된 적어도 하나의 제4 방사 사이의 간섭이 검출된다. 또한 제1 전자기 방사 및/또는 제2 전자기 방사는 시간에 따라 변화하는 스펙트럼을 갖는다. 스펙트럼은 특정 시간에 다수의 주파수들을 가질 수 있다. 또한, 제1 편광 상태에서 제3 방사와 제4 방사 사이의 간섭 신호를 검출할 수 있다. 또한, 제1 편광 상태와는 다른 제2 편광 상태에서 제3 방사와 제4 방사 사이의 간섭 신호를 검출하는 것이 바람직하다. 제1 및/또는 제2 전자기 방사는 밀리 초당 100 테라 헤르츠 이상의 조정 속도에서 시간에 따라 사실상 연속적으로 변화하는 중심 주파수 스펙트럼을 가질 수 있다.
주파수 스위프 소스, 기준 암, 샘플 암, 커플러, 간섭계

5. 发明公开

KR1020120094126A 간섭 거리 측정기에서의 스페클 경감 방법 및 대응하는 거리 측정기 有权
标题翻译：干涉仪距离计和相应距离计的方法
公开(公告)号：KR1020120094126A
公开(公告)日：2012-08-23
申请号：KR1020127018187
申请日：2010-12-13
申请人： 라이카 게오시스템스 아게
发明人： 로너마르셀 , 살바데이브스
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/02 , G01S17/32
CPC分类号： G01B9/02 , G01B9/02082 , G01B2290/45 , G01S17/32
摘要： 간섭 거리 측정기에서의 스페클 경감 방법은, 적어도 하나의 파장 λ을 갖는 광학적 복사(optical radiation; 12)를 관측 타겟(11)에 전송하는 단계; 광축(OA)에서 타겟(11)에 의해 후방 산란된 상기 광학적 복사(12)의 일부를 수신하는 단계로서, 상기 광학적 복사(12)은 스페클 필드(speckle field)를 형성하는, 광학적 복사(12)의 일부를 수신하는 단계; 상기 수신된 광학적 복사(12)를 적어도 하나의 수신된 신호로 변환하는 단계; 및 절대 또는 측정 간섭측정 거리 측정들에 의해 상기 수신된 신호로부터 상기 타겟(11)까지의 실제 거리(true distance)를 결정하는 단계;를 포함한다. 상기 방법에 있어서, 광축(OA)에 대한 상기 실제 포인팅 방향이 결정되고, 여기서 스페클 효과들로 인한 거리 에러가 보정된다.

6. 发明授权

KR101006423B1 객체 표면의 특성을 결정하기 위한 간섭계 有权
公开(公告)号：KR101006423B1
公开(公告)日：2011-01-06
申请号：KR1020097009642
申请日：2006-01-19
申请人： 지고 코포레이션
发明人： 드레가새비어콜론나 , 드그루트피터
IPC分类号： G01B11/30 , G01B9/02 , G01B11/25
CPC分类号： G01B9/023 , G01B9/02004 , G01B9/02027 , G01B9/02043 , G01B9/02044 , G01B9/02057 , G01B9/02072 , G01B9/02074 , G01B9/02084 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01B11/0675 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01N21/21 , G01N21/211
摘要： (ⅰ) 테스트 전자기 방사를 테스트 표면(124)으로 향하게 하고 참조 전자기 방사를 참조 표면(122)으로 향하게 하며 이어서 전자기 방사를 결합하여 간섭 패턴을 형성하도록 구성된 간섭계; (ⅱ) 다중 소자 검출기(multi-element detector)(134); 및 (ⅲ) 상기 간섭 패턴을 상기 다중 소자 검출기(134)에 투영하여 상기 다중 소자 검출기(134)의 서로 다른 소자들이 상기 테스트 전자기 방사에 의해 상기 테스트 표면(124)의 서로 다른 조명 각(illumination angles)에 대응하도록 구성된 하나 이상의 광학 기기를 포함하는 시스템(100)에 대해 개시되어 있다. 상기 검출기 소자에 의해 수행된 측정은 상기 테스트 표면(124)에 대한 엘립소메트리/반사측정 데이터를 제공한다. 개시된 시스템(100)은 또한 상기 다중 소자 검출기(134)의 서로 다른 영역이 상기 테스트 표면(124)의 서로 다른 위치에 대응하는 다른 모드(예를 들어, 프로파일링 모드)에서 동작할 수 있다.
전자기 방사, 테스트 표면, 참조 표면, 다중 소자 검출기

7. 发明授权

KR100808886B1 위치 검출장치 및 방법 有权
标题翻译：位置检测装置和方法
公开(公告)号：KR100808886B1
公开(公告)日：2008-03-03
申请号：KR1020050096983
申请日：2005-10-14
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 이시주카코
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/02
CPC分类号： G01B9/02018 , G01B9/02061 , G01B9/02079 , G01B2290/15 , G01B2290/45 , G01B2290/70
摘要： 본 발명의 위치 검출장치는, 광원의 광속으로부터 평행 광속을 형성하고, 빔 스플리터에 의해 분리된 분리 광속이 기준면 및 측정 대상면 각각에 비스듬한 각도로 입사하도록, 평행 광속을 빔 스플리터에 공급하는 입사 유닛과, 기준면과 측정 대상면에서 반사되어, 빔 스플리터에 의해 광로가 통일된 분리 광속을, 광로를 따라 빔 스플리터에 평행 광속으로서 공급하기 위해 반사하는 반사 유닛을 가지고, 반사 유닛으로부터 공급되고, 빔 스플리터에서 분리되며, 기준면과 측정 대상면에서 반사되고, 빔 스플리터에서 다시 광로가 통일된 광속을 간섭시켜, 분리 광속의 위상차에 대응한 신호를 생성한다.
광로, 스플리터, 위상차, 가간섭성.

8. 发明公开

KR1020070090033A 두 측면 측정용 오버래핑 공통 광로 간섭계 无效
标题翻译：用于双面测量的通用通道干涉仪
公开(公告)号：KR1020070090033A
公开(公告)日：2007-09-04
申请号：KR1020077016726
申请日：2005-12-14
申请人： 코닝 인코포레이티드
发明人： 쿠라위엑,앤드류더블유 , 트로노로네,마크제이 , 마론,조셉씨 , 던,토마스제이
IPC分类号： G01B11/02 , G01B9/02
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/02021 , G01B9/02027 , G01B9/02028 , G01B11/06 , G01B11/306 , G01B2290/45
摘要： Two common-path interferometers share a measuring cavity for measuring opposite sides of opaque test parts. Interference patterns are formed between one side of the test parts and the reference surface of a first of the two interferometers, between the other side of the test parts and the reference surface of a second of the two interferometers, and between the first and second reference surfaces. The latter measurement between the reference surfaces of the two interferometers enables the measurements of the opposite sides of the test parts to be related to each other.
摘要翻译：两个共通干涉仪共用测量腔，用于测量不透明测试部件的相对侧面。在测试部件的一侧和两个干涉仪中的第一个干涉仪的参考表面之间，在测试部件的另一侧和两个干涉仪中的第二个干涉仪的参考表面之间以及在第一和第二参考点之间形成干涉图案表面。在两个干涉仪的参考表面之间的后一测量使得测试部件的相对侧的测量彼此相关。

9. 发明授权

KR100608892B1 변위와 각도 변화를 동시에 측정하기 위한 방법과 장치 失效
标题翻译：位移，偏航和俯仰测量方法及其测量装置
公开(公告)号：KR100608892B1
公开(公告)日：2006-08-03
申请号：KR1020040000734
申请日：2004-01-06
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 김재완 , 엄태봉
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： G01B9/02019 , G01B9/02056 , G01B2290/45 , G01B2290/70
摘要： 본 발명은 서로 다른 물리량인 거리(변위)와 각도 변화를 동시에 측정하기 위해 하나의 광원에서 나온 빛을 하나의 광축 상에 둠으로써 정밀 측정기기나 가공기기의 스테이지(이송대)에 의해 위치 이동되는 측정기나 가공기의 변위와 각도 변화를 아베 오차(abbe error) 없이 동시에 측정할 수 있도록 한 것이다.
레이저 간섭계. 오토콜리메이터. 거리. 각도. 편광.

10. 发明公开

KR1020040074069A 광위상 간섭측정법 및 그 시스템 有权
标题翻译：光学相位干涉测量及其系统
公开(公告)号：KR1020040074069A
公开(公告)日：2004-08-21
申请号：KR1020047008930
申请日：2002-12-04
申请人： 지고 코포레이션
发明人： 덱,레스리,엘
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B11/06 , G01B9/02004 , G01B9/0201 , G01B9/02021 , G01B9/02028 , G01B9/02057 , G01B9/02081 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70
摘要： 광위상간섭측정법은 다중 표면(109)에서 반사된 광학 파두(140)의 다른 부분을 합하여 광학 간섭상을 형성하는 단계; 간섭신호에 다르게 기여하는 다른 광거리 분리를 가지는 다중 표면 쌍을 야기하는 광학 파두의 성질을 변화하는 것에 대하여 광학 간섭상의 다른 위치에서 간섭신호를 기록하는 단계(170); 다중표면쌍 각각에 대응하는 스펙트럼 좌표에서 피크를 가지는 스펙트럼을 만들기 위한 최소한 하나의 위치에 대한 간섭신호를 변환하는 단계(180); 및 선택된 다중표면쌍에 대응하는 피크의 스펙트럼 좌표를 확인하는 단계(190)로 이루어진다.

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