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    • 3. 发明授权
    • 하전 입자선 장치
    • KR102371121B1
    • 2022-03-04
    • KR1020200075564
    • 2020-06-22
    • H01J37/302H01J37/244H01J37/28G01N21/01
    • 본발명은, 종래의방법으로는측정할수 없었던디바이스의전기특성을측정하는것을과제로한다. 이러한과제를해결하기위한수단으로서, 하전입자선장치(1)는, 하전입자선조건과광 조건과전자디바이스회로정보가입력되는입출력기(50)와, 전자선조건에의거하여시료에조사하는하전입자선을제어하는하전입자선제어계와, 광조건에의거하여시료에조사하는광을제어하는광 제어계와, 하전입자선및 광의조사에의해시료로부터방출되는이차전자를검출하고, 검출신호를출력하는검출기(25)와, 전자디바이스회로정보에의거하여연산용넷리스트를생성하고, 연산용넷리스트및 광조건에의거하여광 조사시 넷리스트를생성하고, 광조사시 넷리스트및 하전입자선조건에의거하여하전입자선및 광이시료에조사되었을때의제1 조사결과를추정하고, 제1 조사결과와전자선조건에의거하여실제로시료에하전입자선및 광이조사되었을때의제2 조사결과를비교하는연산기(31)를구비한다.
    • 4. 发明授权
    • 탈착이 가능한 필터 및 조명 모듈을 구비한 형광 이미징 장치
    • KR102327806B1
    • 2021-11-18
    • KR1020200083273
    • 2020-07-07
    • G01N21/64G01J3/02G01N21/01
    • 본발명에따른형광이미징장치는, 일정한파장대역의여기광을흡수하는서로다른종류의형광물질각각이처리된피검사체의형광영상을얻는형광이미징장치에있어서, 상기피검사체에상기여기광을공급하는조명부; 상기조명부에서조사된상기여기광을상기피검사체로향하도록안내하는필터부; 상기필터부에서안내된상기여기광을상기피검사체에전달하고, 상기피검사체로부터방출되는형광방출광을집광하는대물렌즈; 및상기형광방출광에대한상을형성하는결상광학계를포함하고, 상기필터부는내부에다이크로익미러가장착되고복수의개구가형성된복수의마운트가일 방향으로배열되는하우징을포함하고, 상기하우징은상기형광이미징장치와탈착되고, 상기조명부는서로다른파장대역의여기광을조사하는복수의조명모듈을포함하고, 상기복수의조명모듈각각은상기복수의마운트에형성된복수의개구중 어느일 개구에대해탈착된다.