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1. 发明授权

KR101878702B1 실리콘 웨이퍼의 양부 판정 방법, 당해 방법을 이용한 실리콘 웨이퍼의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101878702B1
公开(公告)日：2018-07-16
申请号：KR1020160079130
申请日：2016-06-24
申请人： 가부시키가이샤 사무코
发明人： 후지세준 , 오노토시아키
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/02 , H01L21/324 , H01L21/322
CPC分类号： G01N21/9501 , C30B29/06 , C30B33/00 , C30B33/02 , G01N21/3563 , G01N2021/3568 , G01N2021/3595 , G01N2201/12 , H01L21/3225 , H01L22/12
摘要： 디바이스제작공정의열처리가행해진후에슬립전위가발생하는지여부를고정밀도로판정할수 있는실리콘웨이퍼의양부판정방법, 당해방법을이용한실리콘웨이퍼의제조방법및 실리콘웨이퍼를제안하는것으로서, 실리콘웨이퍼에있어서의, 디바이스제작공정에있어서행해지는열처리후의석출산소농도및 잔존산소농도를구한후(스텝 S2), 구한석출산소농도및 잔존산소농도에기초하여, 디바이스제작공정에있어서실리콘웨이퍼에슬립전위가발생하는임계전단응력(τ)을구하고(스텝 S3), 구한임계전단응력(τ)과디바이스제작공정의열처리에있어서실리콘웨이퍼에주어지는열응력(τ)을비교하여, 열응력(τ)이임계전단응력(τ) 이상인경우에는디바이스제작공정에있어서실리콘웨이퍼에슬립전위가발생한다고판정하고, 열응력(τ)이임계전단응력(τ)을하회하는경우에는, 디바이스제작공정에있어서실리콘웨이퍼에슬립전위가발생하지않는다고판정하는(스텝 S4) 것을특징으로한다.

2. 发明授权

KR101860347B1 마이켈슨 간섭계의 하우징 시스템 有权
公开(公告)号：KR101860347B1
公开(公告)日：2018-05-23
申请号：KR1020160160626
申请日：2016-11-29
申请人： 국방과학연구소
发明人： 이종민 , 이준오 , 이재환 , 배효욱
IPC分类号： G01J3/45 , G02B6/293
CPC分类号： G01B9/02051 , G01J3/0286 , G01J3/06 , G01J3/4535 , G01N21/35 , G01N2021/3595 , G01J3/45 , G02B6/29349
摘要： 본발명은마이켈슨간섭계에 2분할구조의하우징을적용함으로써복수의광학부품들에대한광학정렬이용이하게이루어질수 있는마이켈슨간섭계의하우징에관한것으로서, 고정반사경이장착되는제1 면, 상기제1 면과직각을이루도록형성된제2 면및 상기제2 면과 45도각도를이루며, 외부로부터빛이입사되는광선분할조립체가장착되는제1 대각면을포함하는제1 하우징및 이동반사경이장착되는제 3면, 상기제 3면과직각을이루도록형성된제4 면및 상기제1 대각면에대응되는제2 대각면을포함하는제2 하우징을포함하고, 상기제1 및제2 하우징은, 상기외부로부터들어오는빛이상기광선분할조립체를통하여상기고정반사경및 상기이동반사경에각각분할되어입사되도록, 상기제1 및제2 대각면이서로마주보게결합되는것을특징으로하는마이켈슨간섭계하우징시스템을제공할수 있다.

3. 发明授权

KR101706640B1 시간 감쇠 신호들을 분석하기 위한, 광 신호 처리 방법 및 장치 有权
标题翻译：光信号处理方法和分析时间衰减信号的装置
公开(公告)号：KR101706640B1
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：KR1020137002250
申请日：2011-08-19
申请人： 뉴사우스 이노베이션즈 피티와이 리미티드
发明人： 하브찰스샤벨 , 스펜스토마스게리 , 보이선토비크리스티안
IPC分类号： G01J3/42
CPC分类号： G01N21/59 , G01J3/42 , G01J3/4338 , G01J3/45 , G01N21/31 , G01N21/39 , G01N2021/3595 , G06F17/00
摘要： 시간영역신호를분석하기위한시스템들및 방법들이설명된다. 상기방법은믹서(150); 시간감쇠신호(115)를국부발진기(120)에의해발생되는, 국부발진기신호(122)와믹싱하며, 푸리에변환시간감쇠신호가발생되는믹싱된신호를야기하며, 푸리에변환된시간감쇠신호는굽부발진기신호(122)에서기본변환된시간감쇠신호및 복수개의주파수들에서복수개의변환된시간감쇠신호들을포함하며, 기본주파수및 기본주파수가아닌주파수에서변환된시간감쇠신호들각각의크기를결정한다.
摘要翻译：描述用于分析时域信号的系统和方法。该方法包括：在混频器（150）中，将时间衰减信号（115）与由本地振荡器（120）产生的本地振荡器信号（122）混合，得到混合信号，从该混频信号中经傅里叶变换的时间衰减产生包括在本地振荡器信号（122）的基频处的基本变换的时间衰减信号和多个频率处的多个变换的时间衰减信号的信号; 并且确定基频和基频以外的变换的时间 - 衰减信号的幅度。

4. 发明公开

KR1020160079251A 전기강판의 산화정보 측정장치 및 측정방법 有权
标题翻译：电钢氧化物信息测量装置及方法
公开(公告)号：KR1020160079251A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：KR1020140190356
申请日：2014-12-26
申请人： 주식회사 포스코
发明人： 박현철
IPC分类号： G01N21/35 , G06F17/11
CPC分类号： G01N21/35 , G01N2021/3595 , G06F17/11
摘要： 본발명은적외선을전기강판에조사하는광원, 상기전기강판에서방출된흡수스펙트럼을검출하는분광기, 및타겟원소의산화물과대비원소의산화물간의성분비를이용하여전기강판의산화정보를산출하는분석부를포함하는전기강판의산화정보측정장치및 측정방법을개시한다.
摘要翻译：公开了一种测量电工钢板的氧化物信息的装置和方法。测量电工钢板氧化物信息的装置包括：用红外线照射电工钢板的光源; 检测从电磁钢板发出的吸收光谱的分光镜; 以及分析部，其使用目标元素的氧化物和对比元素之间的组成比计算电工钢板的氧化物信息。

5. 发明公开

KR1020160009651A 포일 또는 박막 제조 방법 审中-实审
标题翻译：生产薄膜或薄膜的方法
公开(公告)号：KR1020160009651A
公开(公告)日：2016-01-26
申请号：KR1020157035541
申请日：2014-05-14
申请人： 베른도르프 반트 게엠베하
发明人： 모르겐베써칼 , 플라쉬하네스 , 프로쉐크미카엘
IPC分类号： B29C41/28 , B29C41/46 , B29C41/52 , B29C35/02 , G01N21/86 , B29K105/00
CPC分类号： B29C41/28 , B29C35/0277 , B29C35/0288 , B29C41/44 , B29C41/46 , B29C41/52 , B29K2105/0073 , B29L2007/00 , G01N21/8422 , G01N21/86 , G01N2021/3595 , G01N2021/8416
摘要： 본발명은포일또는필름(1)을제조하기방법으로, a) 포일또는필름(1)을생산하기위한적어도하나의재료(2)를이동벨트(3)에도포하는단계, b) 주입된재료(2)를적어도부분적으로경화및/또는부분적으로건조하는단계를포함하는제조방법에관한것으로, b) 단계중에, 상기재료의특성및/또는벨트(3) 주위의소정구역의열적상태변수들이적어도하나의비침습분광법에의해기록된다.

6. 发明公开

KR1020150047613A 분광 측정 장치 有权
标题翻译：光谱特性测量装置
公开(公告)号：KR1020150047613A
公开(公告)日：2015-05-04
申请号：KR1020157008187
申请日：2013-10-02
申请人： 고쿠리츠다이가쿠호우징 카가와다이가쿠
发明人： 이시마루이치로
IPC分类号： G01J3/453 , G01J3/06 , G01N21/27 , G01N21/35
CPC分类号： G01J3/45 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G01J3/0256 , G01J3/0291 , G01J3/2803 , G01J3/4531 , G01J3/4532 , G01N2021/3595
摘要： 본발명의분광특성측정장치는피측정물의측정영역내에위치하는복수의측정점으로부터각각발사된측정광속을제1 측정광속및 제2 측정광속으로분할하는분할광학계와, 제1 측정광속및 제2 측정광속을간섭시키는결상광학계와, 제1 측정광속및 제2 측정광속의사이에연속적인광로길이차분포를주는광로길이차부여수단과, 간섭광의광강도분포를검출하는검출부와, 검출부에서검출되는간섭광의광강도분포에기초하여, 피측정물의측정점의인터페로그램을구하고, 이인터페로그램을푸리에변환함으로써스펙트럼을취득하는처리부와, 피측정물과분할광학계의사이에배치된, 그분할광학계와공통의공역면을가지는공역면결상광학계와, 공역면에배치되어복수의측정점으로부터발사된측정광속의사이에주기성을부여하는주기성부여수단을구비한다.
摘要翻译：根据本发明的光谱特性测量装置包括：分割光学系统，用于将位于待测物体的测量区域内的多个测量点中的每一个发射的测量光束分成第一测量光束和第二测量光束; 用于使第一测量光束和第二测量光束彼此干涉的成像光学系统; 光路长度差提供装置，用于提供第一测量光束和第二测量光束之间的光程长度差的连续分布; 用于检测干涉光的光强度分布的检测器; 基于由所述检测器检测出的干涉光的光强度分布获取被测量物体的测量点的干涉图并进行傅立叶变换以获得光谱的处理器; 位于被测量物体与分割光学系统之间的共轭平面成像光学系统，共轭平面成像光学系统具有与分割光学系统共享的共轭平面; 以及位于共轭平面上的周期性提供装置，用于在从多个测量点发射的测量光束之间提供周期性。

7. 发明授权

KR101494920B1 기상 공정 스트림의 온라인 분석을 위한 방법 有权
标题翻译：一种蒸汽相流过程在线分析的方法
公开(公告)号：KR101494920B1
公开(公告)日：2015-02-23
申请号：KR1020097026067
申请日：2008-05-23
申请人： 비피 케미칼즈 리미티드
发明人： 라이토러스데이비드 , 톰슨앨라스데어아이언
IPC分类号： G01N21/359
CPC分类号： G01N21/359 , C01B3/38 , C01B2203/0233 , C01B2203/1642 , C01B2203/1676 , C01B2203/169 , G01N21/0317 , G01N21/0332 , G01N21/05 , G01N21/3504 , G01N2021/158 , G01N2021/3595 , G01N2021/8578 , G01N2201/129
摘要： 공정 스트림의 온라인 분석을 위한 방법으로서, 이 공정 스트림은 증기 개질기로의 공급 스트림 또는 증기 개질기로부터의 배출 스트림이며, 공정 스트림은 적어도 200℃ 의 온도를 갖고, 공정 스트림의 성분은 기상이며, 이 방법은, (a) 공정 스트림으로부터 슬립스트림 (slipstream) 을 취하는 단계, (b) 상기 슬립스트림을 그의 이슬점보다 높은 온도로 냉각시키는 단계, (c) 상기 공정 스트림의 NIR 흡수 성분의 특성을 나타내는 스펙트럼을 얻기 위해 근 적외선 (NIR) 분광법에 의해 냉각된 슬립스트림을 분석하는 단계, (d) 상기 공정 스트림의 하나 이상의 NIR 흡수 성분의 농도, 및/또는 부분 압력을 측정하기 위해 화학계량 기법을 사용하여 NIR 분광법으로부터 수립된 교정 모델과 얻어진 스펙트럼을 상호 비교하는 단계를 포함한다.

8. 发明公开

KR1020120050383A 실리콘 중 불순물의 측정 방법 有权
标题翻译：用于确定硅中污染物的方法
公开(公告)号：KR1020120050383A
公开(公告)日：2012-05-18
申请号：KR1020110115726
申请日：2011-11-08
申请人： 와커 헤미 아게
发明人： 보나우어-클렙쿠르트
IPC分类号： C30B29/60 , G01N1/28 , G01N21/63 , G01N21/35
CPC分类号： C30B13/04 , C01B33/037 , C30B29/06 , G01N21/3563 , G01N21/6489 , G01N21/94 , G01N2021/3568 , G01N2021/3595
摘要： PURPOSE: A method of measuring impurities in silicon is provided to dilute impurities by growing a new bar from a casing and an original bar. CONSTITUTION: A monocrystalline bar is introduced to a casing. The casing is made of monocrystalline or polycrystalline silicon having limited carbon and dopant concentration. A diluted monocrystalline bar of the silicon is made from the bar and the casing by zone refining. Impurities are measured from the silicon to be tested by using the monocrystalline bar diluted by both or either of light emission or FTIR(Fourier transform IR spectroscopy).
摘要翻译：目的：提供测量硅中杂质的方法，通过从套管和原始棒生长新的条来稀释杂质。构成：将单晶棒引入外壳。壳体由具有有限碳和掺杂剂浓度的单晶或多晶硅制成。硅的稀释的单晶棒通过区域精炼由棒和壳制成。通过使用通过发光或FTIR（傅里叶变换红外光谱法）进行稀释的单晶棒，从待测试的硅测量杂质。

9. 发明授权

KR101098124B1 멀티가스 감시 및 검출 시스템 有权
标题翻译： Multigas监测和检测系统
公开(公告)号：KR101098124B1
公开(公告)日：2011-12-26
申请号：KR1020087007795
申请日：2006-09-29
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드
发明人： 스파츠,마틴엘. , 사프타리,비디
IPC分类号： G01J3/45
CPC分类号： G01N21/031 , G01N21/05 , G01N21/09 , G01N21/3504 , G01N21/45 , G01N2021/3595
摘要： 유독화학물질이있는지를확인하기위해, 주변공기를감시하는분광검출시스템이설명된다. 시스템은각종신경및 발포성약품뿐만아니라유독성공업약품을포함한광범위한화학성분을낮은또는서브 ppb(part per billion) 레벨로검출및 구별할수 있는컴팩트하고휴대형인다중가스분석기일수 있다. 시스템은알람에러(예컨대, 잘못된포지티브또는네거티브)를최소화하고, 높은특수성을제공하며, 응용에따라수초내지수분정도의응답시간으로동작할수 있다. 시스템은, FTIR(Fourier Transform Infrared) 분광계, 가스샘플셀, 검출기, 내장프로세서, 디스플레이, 전원공급장치, 공기펌프, 가열소자, 및샘플을수집하기위한공기흡입구를가진다른구성요소및 외부장치들과의인터페이스를위한전자통신포트를가진, 전적으로자체포함형인분석기일수 있다.

10. 发明公开

KR1020080064817A 멀티가스 감시 및 검출 시스템 有权
标题翻译：多维度监测和检测系统
公开(公告)号：KR1020080064817A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：KR1020087007795
申请日：2006-09-29
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드
发明人： 스파츠,마틴엘. , 사프타리,비디
IPC分类号： G01J3/45
CPC分类号： G01N21/031 , G01N21/05 , G01N21/09 , G01N21/3504 , G01N21/45 , G01N2021/3595
摘要： A spectroscopic detection system is described for monitoring ambient air for toxic chemical substances. The system can be a compact, portable multiple gas analyzer capable of detecting and discriminating a broad range of chemical constituents including various nerve and blister agents as well as toxic industrial chemicals at low or sub part per billion (ppb) levels. The system minimizes false alarms (e.g., false positives or negatives), features high specificity, and can operate with response times on the order of a few seconds to a few minutes, depending on the application. The system can be an entirely self-contained analyzer, with a Fourier Transform Infrared (FTIR) spectrometer, a gas sample cell, a detector, an embedded processor, a display, power supplies, an air pump, heating elements, and other components onboard the unit with an air intake to collect a sample and an electronic communications port to interface with external devices.
摘要翻译：描述了一种用于监测有毒化学物质的环境空气的光谱检测系统。该系统可以是一种紧凑型便携式多气体分析仪，能够检测和区分广泛范围的化学成分，包括各种神经和起泡剂以及低于或低于十亿分之一（ppb）水平的有毒工业化学品。根据应用，该系统将假警报（例如，假阳性或阴性）最小化，具有高特异性，并且可以以几秒至几分钟的响应时间操作。该系统可以是一个完全独立的分析仪，具有傅里叶变换红外（FTIR）光谱仪，气体样品池，检测器，嵌入式处理器，显示器，电源，空气泵，加热元件和其他组件具有进气口的单元收集样品和电子通信端口以与外部设备接口。

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