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    • 10. 发明申请
    • 抵抗変化型不揮発性メモリ素子とその作製方法
    • 电阻非易失性存储元件及其制造方法
    • WO2009104229A1
    • 2009-08-27
    • PCT/JP2008/003508
    • 2008-11-28
    • パナソニック株式会社吉井重雄山下一郎
    • 吉井重雄山下一郎
    • H01L27/10G11C13/00H01L45/00H01L49/00
    • H01L27/101G11C13/0002G11C2213/15G11C2213/34H01L45/04H01L45/12H01L45/1246H01L45/146H01L45/1633Y10S977/773Y10S977/81Y10S977/943
    •  本発明は、単純かつ容易な工程で実現できる電流経路を備え、微細化可能な抵抗変化型不揮発性メモリ素子を提供することを目的とする。  本発明の抵抗変化型不揮発性メモリ素子は、第1電極203と、前記第1電極203上に形成され、印加電圧に応じて抵抗が変化する酸化物半導体層204aと、前記酸化物半導体層204a上に配置された直径2nm以上10nm以下の金属ナノ粒子204bと、前記酸化物半導体層204a上および前記金属ナノ粒子204b上に形成されたトンネル障壁層204cと、前記トンネル障壁層204c上に形成された第2電極206とを備え、前記金属ナノ粒子204bと前記酸化物半導体層204aとが接している、ことを特徴とする。
    • 公开了一种电阻性非易失性存储元件,其能够实现小型化并且配备有可以通过简单且容易的过程实现的电流路径。 本发明的电阻性非易失性存储元件的特征在于,具有第一电极(203),形成在上述第一电极(203)的顶部上的氧化物半导体层(204a),其电阻根据 施加电压,设置在上述氧化物半导体层(204a)的顶部并且其晶粒尺寸为2nm〜10nm的金属纳米粒子(204b),形成在上述氧化物半导体层的顶部的隧道势垒层(204c) 上述氧化物半导体层(204a)和上述金属纳米粒子(204b)的顶部,以及形成在上述隧道势垒层(204c)的顶部的第二电极(206),上述金属纳米粒子(204b) 和上述氧化物半导体层(204a)接触。