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1. 发明申请

WO2017215871A1 MIKROMECHANISCHES BAUTEIL FÜR EINE DRUCKSENSORVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：用于压力传感器装置的微机械部件
公开(公告)号：WO2017215871A1
公开(公告)日：2017-12-21
申请号：PCT/EP2017/061822
申请日：2017-05-17
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： REINMUTH, Jochen
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0043 , B81B3/0021 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2203/0154 , B81B2203/04 , G01L9/0072
摘要： Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil für eine Drucksensorvorrichtung mit einer an einem Substrat (10) aufgespannten und mittels eines Druckunterschieds zwischen einer ersten Substratseite des Substrats (10) und einer zweiten Substratseite des Substrats (10) verwölbbaren Membran (12), und einer Wippenstruktur (14) welche derart mit der Membran (12) verbunden ist, dass die Wippenstruktur (14) mittels einer Verwölbung der Membran (12) um eine erste Drehachse (16) verstellbar ist, wobei die Wippenstruktur (14) über eine Hebelstruktur (18) derart mit der Membran (12) verbunden ist, dass die Verwölbung der Membran (12) eine Drehbewegung der Hebelstruktur (18) um eine parallel zu der ersten Drehachse (16) ausgerichtete und davon beabstandete zweite Drehachse (20) auslöst und die Drehbewegung der Hebelstruktur (18) um die zweite Drehachse (20) eine weitere Drehbewegung der Wippenstruktur (18) um die erste Drehachse (16) auslöst. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine Drucksensorvorrichtung und ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil für eine Drucksensorvorrichtung.
摘要翻译：
本发明涉及一种微机械分量f导航使用R，在基板（10），跨越上，并通过在基板（10）和基板的第二基板侧的第一基板侧之间的压力差的装置具有一个压力传感器装置（10） EXP＆ouml; lbbaren膜（12），并且被如此连接到所述隔膜（12）的摇臂结构（14），该摇杆结构（14）由一个EXP＆ouml的装置; lbung所述膜（12）是可调节围绕旋转的第一轴（16）其中，所述摇臂结构（14）的导航使用膜（12）的lbung杠杆结构（18）约（平行于所述第一旋转轴线的旋转运动;通过杠杆结构（18）连接到所述隔膜（12）连接到EXP＆oUML 16）对准并间隔开的第二枢转轴线（20）外源oUML; ST和杠杆结构（18）围绕旋转（20的第二轴的旋转），该摇臂结构（18）绕所述第一旋转轴（16）外源oUML的进一步的旋转运动; ST。此外，本发明涉及压力传感器装置和用于压力传感器装置的微机械部件的制造方法

2. 发明申请

WO2016142291A1 MEMS-SENSOR, INSB. DRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译： MEMS传感器，INSB。压力传感器
公开(公告)号：WO2016142291A1
公开(公告)日：2016-09-15
申请号：PCT/EP2016/054657
申请日：2016-03-04
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： TEIPEN, Rafael , LEMKE, Benjamin
IPC分类号： B81B3/00 , G01L9/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2203/0315 , B81B2203/04 , B81C1/00531 , B81C2201/0132 , G01L9/0048
摘要： Es ist ein MEMS-Sensor zur messtechnischen Erfassung einer Messgröße mit verbesserter Überlastfestigkeit beschrieben, der mehrere aufeinander angeordnete Lagen (1, 3, 5), insb. Siliziumlagen, umfasst, dessen Lagen (1, 3, 5) mindestens eine innere Lage (5) umfassen, die zwischen einer ersten Lage (1 ) und einer zweiten Lage (3) angeordnet ist, und in dessen inneren Lage (5) mindestens eine senkrecht zur Ebene der inneren Lage (5) durch die innere Lage (5) hindurch verlaufende Ausnehmung (7) vorgesehen ist, an die außenseitlich zumindest abschnittweise ein ein Verbindungselement (9) bildender Bereich der inneren Lage (5) angrenzt, der mit der ersten Lage (1 ) und der zweiten Lage (3) verbundenen ist, der sich dadurch auszeichnet, dass eine die Ausnehmung (7) außenseitlich zumindest abschnittweise begrenzende Mantelfläche (11) des Verbindungselements (9) in einem der erste Lage (1) zugewandten Endbereich eine die Querschnittsfläche der Ausnehmung (7) in Richtung der ersten Lage (1 ) verkleinernde, abgerundete Formgebung aufweist, und in einem der zweiten Lage (3) zugewandten Endbereich eine die Querschnittsfläche der Ausnehmung (7) in Richtung der zweiten Lage (3) verkleinernde, abgerundete Formgebung aufweist.
摘要翻译：它是与所描述，其包括几个连续布置层改进的过载电阻的测量变量的计量检测MEMS传感器（1，3，5），尤其是硅层，其层（1，3，5）至少一个内部层（5 ）包括位于（第一位置1）和第二层（3），和（在内层5）的至少一个垂直于所述平面（内层5之间）（穿过内层5）穿过其延伸的凹部（7）形成内层的至少部分在一个连接元件（9），区域设置成邻近außenseitlich（5）设置有第一层（1）和（3）被连接在第二层，其特点是在于，所述连接元件（9）在所述第一层中的一个凹口（7）außenseitlich至少部分边界表面（11）（1）的朝向上述凹部的横截面面积的端部区域（7）在所述第一层的方向（1 有）缩小处理，圆形形状，并且在所述第二层（3）的面向在所述第二层（3）的方向上的凹部（7）的横截面面积的端部区域包括缩小文件，倒圆的形状。

3. 发明申请

WO2016038794A1 静電型デバイス审中-公开
标题翻译：静电装置
公开(公告)号：WO2016038794A1
公开(公告)日：2016-03-17
申请号：PCT/JP2015/004083
申请日：2015-08-18
申请人：ソニー株式会社
发明人：秋葉　朗 , 橋本　光生 , 盛田　伸也 , 福山　宗克
IPC分类号： H02N1/00 , B81B3/00 , H01H59/00
CPC分类号： B81B5/00 , B81B2203/04 , H01H59/00 , H02N1/002 , H02N1/008 , H02N1/04
摘要：【課題】デバイス特性の向上を図ることができる静電型デバイスを提供する。【解決手段】本技術の一形態に係る静電型デバイスは、導電性の基材と、第１の導体層と、第２の導体層と、接合層とを具備する。上記第１の導体層は、第１の電極部と、第１のベース部とを有し、信号ラインに接続される。上記第１のベース部は、上記第１の電極部を支持し、上記基材上に配置される。上記第２の導体層は、第２の電極部と、第２のベース部とを有し、基準電位に接続される。上記第２の電極部は、上記第１の電極部と第１の軸方向に対向し、上記第１の電極部に対して上記第１の軸方向に相対移動可能に構成される。上記第２のベース部は、上記第２の電極部を支持し、上記基材上に配置される。上記接合層は、上記基材と上記第１および第２のベース部との間に配置され、少なくとも上記第１のベース部を部分的に支持する複数の第１の接合部を有する。
摘要翻译： [问题]提供一种能够提高装置特性的静电装置。本实施方式的静电装置具备导电性基板，第一导体层，第二导体层和接合层。第一导体层具有第一电极部和第一基部，并与信号线连接。第一基部支撑第一电极部分，并且布置在基板上。第二导体层具有第二电极部和第二基部，并与基准电位连接。第二电极部分在第一轴向方向上面对第一电极部分，并且被构造成能够在第一轴向方向上相对于第一电极部分移动。第二基部支撑第二电极部分，并且布置在基板上。接合层具有布置在基板和第一基部和第二基部之间的多个第一接合部，第一接合部至少部分地支撑第一基部。

4. 发明申请

WO2015069960A1 MEMS ELECTRICAL CONTACT SYSTEMS AND METHODS 审中-公开
标题翻译： MEMS电气接触系统和方法
公开(公告)号：WO2015069960A1
公开(公告)日：2015-05-14
申请号：PCT/US2014/064445
申请日：2014-11-06
申请人： DIGITALOPTICS CORPORATION MEMS
发明人： GUTIERREZ, Roman C.
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00095 , B81B2203/04
摘要： A microelectromechanical systems (MEMS) device may be provided with one or more sintered electrical contacts. The MEMS device may be a MEMS actuator or a MEMS sensor. The sintered electrical contacts may be silver-paste metalized electrical contacts. The sintered electrical contacts may be formed by depositing a sintering material such as a metal paste, a metal preform, a metal ink, or a metal powder on a wafer of released MEMS devices and heating the wafer so that the deposited sintering material diffuses into a substrate of the device, thereby making electrical contact with the device. The deposited sintering material may break through an insulating layer on the substrate during the sintering process. The MEMS device may be a multiple degree of freedom actuator having first and second MEMS actuators that facilitate autofocus, zoom, and optical image stabilization for a camera.
摘要翻译：微机电系统（MEMS）装置可以设置有一个或多个烧结电触点。 MEMS器件可以是MEMS致动器或MEMS传感器。烧结的电触点可以是银糊金属化的电触点。烧结的电接触可以通过在释放的MEMS器件的晶片上沉积诸如金属糊料，金属预制件，金属油墨或金属粉末的烧结材料并加热晶片来形成，使得沉积的烧结材料扩散到衬底，从而与器件电接触。沉积的烧结材料可以在烧结过程中穿过衬底上的绝缘层。 MEMS器件可以是具有促进相机的自动聚焦，变焦和光学图像稳定的第一和第二MEMS致动器的多自由度致动器。

5. 发明申请

WO2014150561A1 THREE-DIMENSIONAL MULTI-ELECTRODE ARRAY 审中-公开
标题翻译：三维多电极阵列
公开(公告)号：WO2014150561A1
公开(公告)日：2014-09-25
申请号：PCT/US2014/023616
申请日：2014-03-11
申请人： ZYVEX LABS, LLC
发明人： SAINI, Rahul , RANDALL, John Neal
IPC分类号： A61N1/04 , A61N1/05 , A61B5/04
CPC分类号： A61N1/0543 , A61B5/04001 , A61B5/0492 , A61B5/0496 , A61B5/6846 , A61B2562/0209 , A61B2562/046 , A61B2562/125 , A61B2562/166 , A61N1/05 , B81B3/0089 , B81B2203/04 , Y10T29/49117
摘要： A multi-electrode array with individually isolated electrodes each configurable for a target-containing carrier and a method for fabricating the array are disclosed. In an exemplary embodiment, the array includes a substrate; and a plurality of electrodes disposed on the substrate. Each electrode of the plurality of electrodes has a conductive tip-end and an insulated remainder. A first electrode of the plurality of electrodes has a first configuration selected to bring a conductive tip end of the first electrode in proximity to a first target structure, and a second electrode of the plurality of electrodes has a second configuration selected to bring a conductive tip end of the second electrode in proximity to a second target structure. The first configuration and the second configuration are different. A first contact of the plurality of contacts may be electrically coupled to the first electrode through the substrate.
摘要翻译：公开了具有各自独立电极的多电极阵列，每个独立的电极可配置用于含靶载体和制造该阵列的方法。在示例性实施例中，阵列包括衬底; 以及设置在基板上的多个电极。多个电极的每个电极具有导电尖端和绝缘的剩余部分。多个电极的第一电极具有被选择为使第一电极的导电尖端靠近第一目标结构的第一配置，并且多个电极中的第二电极具有选择为使导电尖端靠近第二目标结构的第二电极的端部。第一配置和第二配置是不同的。多个触点的第一触点可以通过衬底电耦合到第一电极。

6. 发明申请

WO2012177304A2 MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) AND RELATED ACTUATOR BUMPS, METHOD OF MANUFACTURE AND DESIGN STRUCTURES 审中-公开
标题翻译：微电子机械系统（MEMS）及相关执行机构的制造，制造和设计结构的方法
公开(公告)号：WO2012177304A2
公开(公告)日：2012-12-27
申请号：PCT/US2012/029005
申请日：2012-03-14
申请人： INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION , JAHNES, Christopher, V. , STAMPER, Anthony, K.
发明人： JAHNES, Christopher, V. , STAMPER, Anthony, K.
IPC分类号： H02N1/00 , H05K13/00
CPC分类号： H01H59/0009 , B81B3/001 , B81B7/0006 , B81B2201/016 , B81B2203/0118 , B81B2203/04 , B81C1/0015 , B81C1/00293 , B81C2203/0145 , G06F17/5045 , G06F17/5068 , H01H1/0036 , H01H2001/0057 , Y10T29/49121
摘要： Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) structures, methods of manufacture and design structures are provided. The method of forming a MEMS structure includes forming fixed actuator electrodes (115) and a contact point on a substrate. The method further includes forming a MEMS beam (100) over the fixed actuator electrodes and the contact point. The method further includes forming an array of actuator electrodes (105') in alignment with portions of the fixed actuator electrodes, which are sized and dimensioned to prevent the MEMS beam from collapsing on the fixed actuator electrodes after repeating cycling. The array of actuator electrodes are formed in direct contact with at least one of an underside of the MEMS beam and a surface of the fixed actuator electrodes.
摘要翻译：提供微机电系统（MEMS）结构，制造方法和设计结构。形成MEMS结构的方法包括在基板上形成固定的致动器电极（115）和接触点。该方法还包括在固定的致动器电极和接触点上形成MEMS光束（100）。该方法还包括形成与固定致动器电极的部分对准的致动器电极阵列（105'），其尺寸和尺寸被确定为防止MEMS梁在重复循环之后塌陷在固定的致动器电极上。致动器电极阵列形成为与MEMS光束的下侧和固定致动器电极的表面中的至少一个直接接触。

7. 发明申请

WO2010092406A2 MEMS DEVICE AND PROCESS 审中-公开
标题翻译： MEMS器件和工艺
公开(公告)号：WO2010092406A2
公开(公告)日：2010-08-19
申请号：PCT/GB2010/050241
申请日：2010-02-12
申请人： WOLFSON MICROELECTRONICS PLC , JENKINS, Colin, Robert , HOEKSTRA, Tsjerk, Hans , LAMING, Richard, Ian
发明人： JENKINS, Colin, Robert , HOEKSTRA, Tsjerk, Hans , LAMING, Richard, Ian
CPC分类号： B81B3/0008 , B06B1/0292 , B81B2201/0257 , B81B2203/04 , H04R19/005 , H04R19/04
摘要： A micro-electrical-mechanical system (MEMS) transducer comprises a layer of dielectric material having an electrode formed in the layer of dielectric material.A region of the layer of the dielectric material is adapted to provide a leakage path which, in use, removes unwanted charge from the layer of dielectric material.
摘要翻译：微机电系统（MEMS）传感器包括具有形成在电介质材料层中的电极的介电材料层。电介质材料层的一个区域适于提供泄漏路径，其在使用中移除不需要的电荷从介电材料层。

8. 发明申请

WO2007083769A1 接点装置およびその製造方法审中-公开
标题翻译：接触装置及其制造方法
公开(公告)号：WO2007083769A1
公开(公告)日：2007-07-26
申请号：PCT/JP2007/050838
申请日：2007-01-19
申请人：株式会社アドバンテスト , 中村陽登 , 蟻川裕 , 茂呂義明 , 三瓶広和
发明人：中村陽登 , 蟻川　裕 , 茂呂　義明 , 三瓶　広和
IPC分类号： H01H11/04 , H01L21/28 , B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00674 , B81B3/0005 , B81B2201/018 , B81B2203/0118 , B81B2203/04 , B81C1/0096 , G01R1/06761 , G01R3/00 , H01H1/0036 , H01H2001/0052 , Y10T428/12493
摘要：　第１導電膜１２を形成する工程と、第１導電膜１２の上に金属または前記金属の合金を含む第２導電膜１３を形成する工程と、第２導電膜１３の上に第３導電膜１４を形成する工程と、酸素を含む雰囲気中で加熱処理して、第２導電膜１３の金属を拡散させて第３導電膜１４の表面に析出させ、第３導電膜１４の上に金属の酸化物１５を含む表面層１７を形成する工程とを有する。こうして製造された接点装置では、表面層１７が、接触抵抗を増大させることなく接点の溶着を防止する。また、表面層１７が磨耗した場合は、熱処理により表面層１７を修復できる。
摘要翻译：一种接触装置的制造方法，包括以下步骤：形成第一导电膜（12）; 将包含其金属或合金的第二导电膜（13）叠加在第一导电膜（12）上; 将第三导电膜（14）叠加在第二导电膜（13）上; 在氧气氛中进行加热，使得第二导电膜（13）的金属扩散以沉积在第三导电膜（14）的表面上，从而在其上形成含有金属氧化物（15）的表面层（17）第三导电膜（14）。在如此制造的接触装置中，表面层（17）防止接触点的熔接，而不会增加接触电阻。当表面层（17）磨损时，可以通过热处理来恢复表面层（17）。

9. 发明申请

WO0222492A8 MICROELECTROMECHANICAL FLEXIBLE MEMBRANE ELECTROSTATIC VALVE DEVICE AND RELATED FABRICATION METHODS 审中-公开
标题翻译：微电子机电柔性膜静电阀装置及相关制造方法
公开(公告)号：WO0222492A8
公开(公告)日：2003-11-20
申请号：PCT/US0128608
申请日：2001-09-14
申请人： MCNC , GOODWIN-JOHANSSON SCOTT H , MCGUIRE GARY E
发明人： GOODWIN-JOHANSSON SCOTT H , MCGUIRE GARY E
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/04 , B81C1/00 , F15C5/00 , F16K15/16 , F16K31/02 , F16K99/00 , F16J3/02
CPC分类号： F16K99/0001 , B81B3/0021 , B81B2201/054 , B81B2203/0127 , B81B2203/04 , F15C5/00 , F16K99/0007 , F16K99/0028 , F16K99/0051 , F16K2099/0074 , F16K2099/008 , H01H2059/0081
摘要： A MEMS valve device driven by electrostatic forces is provided. The MEMS valve device includes a substrate having an aperture formed therein, a substrate electrode, a moveable membrane that overlies the aperture and has an electrode element and a biasing element. Additionally, at least one resiliently compressible dielectric layer is provided to insure electrical isolation between the substrate electrode and electrode element of the moveable membrane. In operation, a voltage differential is established between the substrate electrode and the electrode element of the moveable membrane to move the membrane relative to the aperture to thereby controllably adjust the portion of the aperture that is covered by the membrane. In another embodiment the resiliently compressible dielectric layer(s) have a textured surface; either at the valve seat, the valve seal or at both surfaces. In another embodiment of the invention a pressure-relieving aperture is defined within the substrate and is positioned to underlie the moveable membrane.
摘要翻译：提供由静电力驱动的MEMS阀装置。 MEMS阀装置包括其中形成有孔的基板，基板电极，覆盖在孔上并具有电极元件和偏置元件的可移动膜。此外，提供至少一个可弹性压缩介电层以确保基板电极和可移动膜的电极元件之间的电隔离。在操作中，在基板电极和可移动膜的电极元件之间建立电压差以使膜相对于孔移动，从而可控地调节由膜覆盖的孔的部分。在另一个实施例中，弹性可压缩介电层具有纹理表面; 无论是在阀座，阀门密封件还是在两个表面。在本发明的另一个实施例中，压力释放孔限定在衬底内并且被定位成可移动膜的下面。

10. 发明申请

WO03043038A2 MEMS DEVICE HAVING CONTACT AND STANDOFF BUMPS AND RELATED METHODS 审中-公开
标题翻译：具有接触和置换气泡的MEMS器件及相关方法
公开(公告)号：WO03043038A2
公开(公告)日：2003-05-22
申请号：PCT/US0235927
申请日：2002-11-08
申请人： COVENTOR INC , DEREUS DANA R
发明人： DEREUS DANA R
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/00 , H01H1/04 , H01H1/50 , H01H59/00 , H01H61/04 , H01L21/302 , H01L23/373 , H01L23/522 , H01L27/12 , H01L29/86 , H02N1/00 , H02N10/00 , H01H
CPC分类号： B81B3/0024 , B81B3/0051 , B81B2201/014 , B81B2201/018 , B81B2203/0118 , B81B2203/04 , B81B2207/07 , B81C1/0015 , B81C2201/0107 , B81C2201/0108 , B81C2201/0109 , H01H1/04 , H01H1/504 , H01H59/0009 , H01H61/04 , H01H2001/0042 , H01H2001/0063 , H01H2001/0089 , H01H2059/0072 , H01H2061/006 , H01L23/3735 , H01L23/522 , H01L27/1203 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H02N1/006 , H02N10/00 , Y10T29/49222 , H01L2924/00
摘要： According to one embodiment, a movable MEMS component suspended over a substrate is provided. The component can include a structural layer having a movable electrode separated from a substrate by a gap. The component can also include at least one standoff bump attached to the structural layer and extending into the gap for preventing contact of the movable electrode with conductive material when the component moves.
摘要翻译：根据一个实施例，提供悬挂在基板上的可移动MEMS部件。该部件可以包括具有通过间隙从基板分离的可移动电极的结构层。该部件还可以包括附接到结构层并延伸到间隙中的至少一个支座凸块，以防止当部件移动时可动电极与导电材料的接触。

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