专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2015075222A1 MIKROSPIEGELANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：微镜片布置
公开(公告)号：WO2015075222A1
公开(公告)日：2015-05-28
申请号：PCT/EP2014/075380
申请日：2014-11-24
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人： HOFMANN, Ulrich , SENGER, Frank , VON WANTOCH, Thomas , MALLAS, Christian , JANES, Joachim
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/10 , B81B3/00
CPC分类号： G02B26/101 , B81B3/0043 , B81B2201/042 , B81B2203/0163 , B81B2203/058 , G02B26/0833 , G02B26/0841
摘要： Es wird eine Mikrospiegelanordnung vorgeschlagen, die umfasst einen ersten Feder-Masse-Schwinger, der einen eine Spiegelplatte (1) bildenden Schwingkörper und erste Federelemente (2) aufweist, einen zweiten Feder-Masse-Schwinger, der eine Antriebsplatte (3) und zweite Federelemente (4) aufweist und der über die zweiten Federelemente (4) mit einer Trägeranordnung {5, 8, 9) verbunden ist, wobei der erste Feder-Masse-Schwinger über die ersten Federelemente (2) in dem zweiten Feder-Masse-Schwinger aufgehängt ist, und eine Antriebsanordnung (11), die der Antriebsplatte zugeordnet ist und ausgebildet ist, die Antriebsplatte (3) zum Schwingen anzuregen. Der Schwingkörper (1) ist zweiachsig beweglich über die ersten Federelemente (2) an der Antriebsplatte (3) aufgehängt und die Antriebsplatte (3) ist zweiachsig beweglich mit der Trägeranordnung (5, 8, 9) verbunden, wobei die Antriebsanordnung (11) als zweiachsiger Antrieb ausgeführt und ausgebildet ist, die Antriebsplatte (3) zweiachsig anzutreiben, derart, dass der Schwingkörper (1) zweiachsig mit jeweils einer seiner orthogonalen Eigenmoden oder nahe dieser Eigenmoden schwingt.
摘要翻译：公开的是包括第一弹簧质量振荡器，其中构成镜板的微反射镜装置（1）振动体和第一弹簧元件（2），第二弹簧 - 质量振荡器，驱动器板（3）和第二弹簧元件（4）和上具有支撑组件，{5,8第二弹簧元件（4），9）连接，其中，所述第一弹簧质量振动器悬挂在第一弹簧元件（2）在所述第二弹簧质量振荡器以上，并且与相关联的驱动器组件（11），所述驱动板和适于激发所述驱动板（3）摆动。振动体（1）是双轴可围绕所述第一弹簧元件（2）连接到驱动器板（3）被暂停，并且所述驱动板（3）是与所述载体装置的双轴可动（5,8，9），其中，所述驱动组件（11）进行双轴驱动器和被配置为驱动双轴驱动器板（3），使得所述振动体（1）双轴摆动，其正交本征模式的每个具有一个或接近该本征模式。

2. 发明申请

WO2015114531A1 IMPROVED GYROSCOPE STRUCTURE AND GYROSCOPE 审中-公开
标题翻译：改进的GYROSCOPE结构和GYROSCOPE
公开(公告)号：WO2015114531A1
公开(公告)日：2015-08-06
申请号：PCT/IB2015/050641
申请日：2015-01-28
申请人： MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
发明人： RUOHIO, Jaakko , BLOMQVIST, Anssi
IPC分类号： G01C19/574
CPC分类号： G01C19/5712 , B81B3/0043 , B81B2201/0242 , B81B2207/012 , G01C19/574
摘要： A gyroscope structure with a specific arrangement of drive and sense structures and coupling spring structures, which allows orthogonally directed motions of larger scale drive and sense structures in a very limited surface area.
摘要翻译：具有驱动和感测结构和耦合弹簧结构的特定布置的陀螺仪结构，其允许在非常有限的表面积中进行更大规模的驱动和感测结构的正交引导的运动。

3. 发明申请

WO2015114530A1 IMPROVED RING GYROSCOPE STRUCTURE AND GYROSCOPE 审中-公开
标题翻译：改进的环形结构和陀螺仪
公开(公告)号：WO2015114530A1
公开(公告)日：2015-08-06
申请号：PCT/IB2015/050640
申请日：2015-01-28
申请人： MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
发明人： RUOHIO, Jaakko
IPC分类号： G01C19/5684
CPC分类号： G01C19/5712 , B81B3/0043 , B81B2201/0242 , G01C19/5684 , G01C19/5719
摘要： A ring gyroscope structure with central spring structure that prefers prefers 26-modes and makes them low in frequency. The flexing resonance modes that tend to couple to external mechanical excitation are clearly higher that the 26-modes. The described structure is thus very robust against external mechanical shocks and vibrations.
摘要翻译：具有中心弹簧结构的环形陀螺仪结构优选26种模式，并使其频率较低。倾向于耦合到外部机械激励的弯曲共振模式明显高于26模式。因此，所描述的结构对于外部机械冲击和振动非常牢固。

4. 发明申请

WO2005011071A2 VERTICAL COMB DRIVE AND USES THEREOF 审中-公开
标题翻译：垂直组合驱动及其使用
公开(公告)号：WO2005011071A2
公开(公告)日：2005-02-03
申请号：PCT/IL2004/000682
申请日：2004-07-26
申请人： TECHNION RESEARCH AND DEVELOPMENT FOUNDATION LTD. , NAFTALI, Matan , ELATA, David
发明人： NAFTALI, Matan , ELATA, David
IPC分类号： H01S
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B3/0043 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/058 , Y10T29/49002
摘要： A method for providing a vertical comb drive. The method comprises: fabricating a device comprising rotor comb element, the rotor element comb comprising a main body and a plurality of substantially parallel extensions in a comb arrangement, and at least one of a plurality of stator comb elements, comprising a main body and a plurality of substantially parallel extensions in a comb arrangement, adapted to be interlaced with the rotor, all on a single layer of a substrate.
摘要翻译：一种用于提供垂直梳齿驱动的方法。该方法包括：制造包括转子梳形元件的装置，所述转子元件梳包括主体和梳状布置中的多个基本上平行的延伸部，以及多个定子梳形元件中的至少一个，包括主体和梳状布置中的多个基本上平行的延伸部，适于与转子交织，全部在基底的单层上。

5. 发明申请

WO2017215871A1 MIKROMECHANISCHES BAUTEIL FÜR EINE DRUCKSENSORVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：用于压力传感器装置的微机械部件
公开(公告)号：WO2017215871A1
公开(公告)日：2017-12-21
申请号：PCT/EP2017/061822
申请日：2017-05-17
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： REINMUTH, Jochen
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0043 , B81B3/0021 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2203/0154 , B81B2203/04 , G01L9/0072
摘要： Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil für eine Drucksensorvorrichtung mit einer an einem Substrat (10) aufgespannten und mittels eines Druckunterschieds zwischen einer ersten Substratseite des Substrats (10) und einer zweiten Substratseite des Substrats (10) verwölbbaren Membran (12), und einer Wippenstruktur (14) welche derart mit der Membran (12) verbunden ist, dass die Wippenstruktur (14) mittels einer Verwölbung der Membran (12) um eine erste Drehachse (16) verstellbar ist, wobei die Wippenstruktur (14) über eine Hebelstruktur (18) derart mit der Membran (12) verbunden ist, dass die Verwölbung der Membran (12) eine Drehbewegung der Hebelstruktur (18) um eine parallel zu der ersten Drehachse (16) ausgerichtete und davon beabstandete zweite Drehachse (20) auslöst und die Drehbewegung der Hebelstruktur (18) um die zweite Drehachse (20) eine weitere Drehbewegung der Wippenstruktur (18) um die erste Drehachse (16) auslöst. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine Drucksensorvorrichtung und ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil für eine Drucksensorvorrichtung.
摘要翻译：
本发明涉及一种微机械分量f导航使用R，在基板（10），跨越上，并通过在基板（10）和基板的第二基板侧的第一基板侧之间的压力差的装置具有一个压力传感器装置（10） EXP＆ouml; lbbaren膜（12），并且被如此连接到所述隔膜（12）的摇臂结构（14），该摇杆结构（14）由一个EXP＆ouml的装置; lbung所述膜（12）是可调节围绕旋转的第一轴（16）其中，所述摇臂结构（14）的导航使用膜（12）的lbung杠杆结构（18）约（平行于所述第一旋转轴线的旋转运动;通过杠杆结构（18）连接到所述隔膜（12）连接到EXP＆oUML 16）对准并间隔开的第二枢转轴线（20）外源oUML; ST和杠杆结构（18）围绕旋转（20的第二轴的旋转），该摇臂结构（18）绕所述第一旋转轴（16）外源oUML的进一步的旋转运动; ST。此外，本发明涉及压力传感器装置和用于压力传感器装置的微机械部件的制造方法

6. 发明申请

WO2016052548A1 ミラー駆動装置及びその駆動方法审中-公开
标题翻译：镜子驱动装置及其驱动方法
公开(公告)号：WO2016052548A1
公开(公告)日：2016-04-07
申请号：PCT/JP2015/077589
申请日：2015-09-29
申请人：富士フイルム株式会社
发明人：直野　崇幸
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00 , G02B26/10 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/187 , H02N2/00
CPC分类号： G02B26/105 , B81B3/0043 , B81B2201/042 , G02B26/08 , G02B26/0858 , G02B26/10 , H01L41/0933 , H01L41/0993 , H01L41/18
摘要：　変位効率を向上させることができ、センサ部を設けた場合でも十分に大きな変位角度を得ることができるミラー駆動装置及びその駆動方法を提供する。ミラー部１２を回転軸ＲＡの周りに回動させる駆動力を発生させる圧電アクチュエータ部１６は、回転軸ＲＡの軸方向の両側の基端部が固定された両持ち梁構造の第一アクチュエータ部３０及び第二アクチュエータ部４０を備える。第一アクチュエータ部３０は第一電極部５１と第二電極部５２Ａ、５２Ｂを有し、第二アクチュエータ部４０は、第三電極部６３Ａ、６３Ｂと第四電極部６４を有する。上部電極を構成する各電極部の配置は、共振モード振動における圧電体内の主応力の応力分布に対応しており、第一電極部５１及び第三電極部６３Ａ、６３Ｂの位置に対応する圧電体部分と第二電極部５２Ａ、５２Ｂ及び第四電極部６４の位置に対応する圧電体部分とは互いに逆方向の応力が生じる。
摘要翻译：提供了即使在设置传感器单元时也能够提高位移效率并获得足够大的位移角的镜驱动装置及其驱动方法。用于产生用于使反射镜单元12围绕旋转轴线RA旋转的驱动力的压电致动器单元16配备有第一致动器单元30和第二致动器单元40，该第一致动器单元30和第二致动器单元40具有在其两侧具有固定端部的双重支撑结构旋转轴线RA的轴向。第一致动器单元30具有第一电极部51和第二电极部52A，52B。第二致动器单元40具有第三电极部63A，63B和第四电极部64.构成上部电极的电极部的配置对应于共振模式振荡期间压电体内的主应力的应力分布。通过对应于第一电极部件51和第三电极部件63A，63B的位置的压电体部分和对应于第二电极部件52A，52B和第四电极部件52A，52B的位置的压电体部分，在相反的方向上产生应力。电极部分64。

7. 发明申请

WO2013091939A1 MIKROSPIEGEL 审中-公开
标题翻译：微镜
公开(公告)号：WO2013091939A1
公开(公告)日：2013-06-27
申请号：PCT/EP2012/070925
申请日：2012-10-23
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , NITSCHE, Heiko , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , SCHOCK, Wolfram , LESTYAN, Zoltan , MUCHOW, Joerg , GRUTZECK, Helmut
发明人： NITSCHE, Heiko , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , SCHOCK, Wolfram , LESTYAN, Zoltan , MUCHOW, Joerg , GRUTZECK, Helmut
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/10 , G02B7/182
CPC分类号： G02B26/0833 , B81B3/0043 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0163 , G02B7/1821 , G02B26/101 , G02B26/105
摘要： Die Erfindung betrifft einen Mikrospiegel mit einer ersten Schicht (200) mit einer ersten Haupterstreckungsebene, mit einer zweiten Schicht (300) mit einer zweiten Haupterstreckungsebene, wobei die erste Haupterstreckungsebene und die zweite Haupterstreckungsebene parallel zueinander angeordnet sind, wobei die erste Schicht (200) und die zweite Schicht (300) über wenigstens einen Verbindungsbereich (23) bereichsweise miteinander verbunden sind, wobei in der ersten Schicht (200) wenigstens ein Federelement (202) ausgebildet ist, wobei in der zweiten Schicht (300) eine beweglich aufgehängte Spiegelplatte (305) ausgebildet ist, wobei die Spiegelplatte (305) an einer ersten Seite (30) parallel zur Haupterstreckungsebene eine Spiegelfläche aufweist und an einer gegenüberliegenden zweiten Seite (20) über den Verbindungsbereich (23) mit einer Verankerung (210) des Federelements (202) verbunden ist, wobei ein Teil des Federelements (202) auf der zweiten Seite (20) der Spiegelplatte (305) beweglich gegenüber der Spiegelplatte (305) angeordnet ist. Die Erfindung betrifft auch ein 2-Spiegelsystem mit einem solchen Mikrospiegel.
摘要翻译：本发明涉及微镜与具有延伸部的第一主平面的第一层（200），与具有第二主平面的第二层（300），所述第一主面和延伸的第二主面平行地配置彼此，其中所述第一层（200）和经由至少一个连接部（23），所述第二层（300）被部分地连接到彼此，其中在所述第一层（200）的至少一个弹簧元件（202）形成，其中在所述第二层中的活动悬浮镜板（300）（305）与镜板（305）上的第一侧（30）平行于镜表面，并通过连接部（23）相对的第二侧（20）的主平面中的与所述弹簧元件的锚固装置（210）形成（202）其中，所述弹簧元件（202）上的镜板的所述第二侧（20）的部分（305）可移动地设置相对于该镜板（305）。本发明还涉及一种具有这种微反射镜2的反射镜系统。

8. 发明申请

WO2012111332A1 ミアンダ型振動子および光学反射素子审中-公开
标题翻译：具有形状的振动元件和光学反射元件
公开(公告)号：WO2012111332A1
公开(公告)日：2012-08-23
申请号：PCT/JP2012/001015
申请日：2012-02-16
申请人：パナソニック株式会社 , 堀江寿彰 , 中園晋輔 , 平岡聡一郎 , 山本雄大 , 小牧一樹
发明人：堀江　寿彰 , 中園　晋輔 , 平岡　聡一郎 , 山本　雄大 , 小牧　一樹
IPC分类号： H02N2/00 , B81B3/00 , G02B26/10 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/22 , H01L41/24 , H03H9/17
CPC分类号： G02B7/1821 , B81B3/0043 , B81B3/007 , B81B2203/0109 , B81B2203/0163 , G02B26/0858 , G02B26/101 , G02B26/105 , H01L41/081 , H01L41/0953 , H02N2/10 , H02N2/108
摘要：　ミアンダ型振動子は、振動梁と、振動梁上に設けられた圧電アクチュエータとを備える。振動梁は、複数の折り返し部と、複数の折り返し部と交互に配置されて複数の折り返し部に連結される複数の連結部とを有し、連続した複数の折り返し形状から実質的に成るミアンダ形状を有する。圧電アクチュエータは、振動梁上に設けられた下部電極と、下部電極上に設けられた圧電膜と、圧電膜上に設けられた上部電極とを有する。複数の折り返し部のそれぞれの内周の中点の近傍または複数の折り返し形状のそれぞれの内周の曲率が変化する曲率変化点の近傍の少なくとも一方に圧電膜が存在しない不存在領域が設けられている。このミアンダ型振動子は大変位を得ることができる。
摘要翻译：具有曲折形状的振动元件设置有振动束和设置在振动梁上的压电致动器。振动梁具有多个折叠部分和多个连接部分，它们与多个折叠部分交替布置并连接多个折叠部分，并且具有基本上包括多个折叠形状的曲折形状。压电致动器具有设置在振动梁上的下电极，设置在下电极上的压电膜和设置在压电膜上的上电极。在每个折叠部分的内周的中心点附近和/或曲率变化点附近设置不含压电薄膜的无薄膜区域，其中每一个的内周的曲率折叠部分发生变化。具有曲折形状的该振动元件能够实现高度的位移。

9. 发明申请

WO2015188986A1 MIKROMECHANISCHES BAUTEIL MIT ZWEI SCHWINGACHSEN UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：带有两个摆动轴和方法微机械结构微机械元件
公开(公告)号：WO2015188986A1
公开(公告)日：2015-12-17
申请号：PCT/EP2015/059893
申请日：2015-05-06
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： PINTER, Stefan
IPC分类号： B81B3/00 , G02B26/08
CPC分类号： B81B3/0043 , B81B2201/042 , B81B2203/0118 , B81B2203/0307 , B81B2203/058 , B81C1/00198 , G02B7/1821 , G02B26/0833 , G02B26/101 , G02B26/105
摘要： Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einem in Bezug zu einer Halterung (10) verstellbaren Teil (12), welches zumindest über eine Aufhängestruktur (16) an der Halterung (10) aufgehängt ist, wobei Eigenschwingungender Aufhängestruktur (16) derart anregbar sind, dass das verstellbare Teil (12) in Bezug zu der Halterung (10) mittels der in die Eigenschwingungen versetzten Aufhängestruktur (16) in eine resonante Schwingbewegung um eine erste Drehachse (34a) und in eine quasi-statische Schwingbewegung um eine geneigt zu der ersten Drehachse (34a) ausgerichtete zweite Drehachse (34b) versetzbar ist, und wobei das verstellbare Teil (12) direkt oder über mindestens eine Feder (20) an mindestens einem Schwingungsknotenpunkt mindestens einer der angeregten Eigenschwingungen der Aufhängestruktur (16) angebunden ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.
摘要翻译：本发明涉及一种微机械部件具有相对于支撑件（10）可调节部分（12），其至少在上保持器悬挂结构（16）（10）被暂停，所述悬架结构（16）的自振动是这样兴奋那可调部分（12）相对于围绕旋转的第一轴的共振振荡运动的保持器（10）通过的在固有振动的悬架结构的偏移装置（16）（34A），并在大约一个倾斜准静态振荡运动（到所述第一旋转轴 34A）对准旋转（34B）的第二轴线是可移动的，并且其中，所述可调节的部分（12）直接或通过在悬挂结构（16）的激发固有振动中的至少一个中的至少一个结点的至少一个弹簧（20）相连接。此外，本发明涉及一种用于微机械部件的制造方法。

10. 发明申请

WO2015075223A1 MIKROSPIEGELANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：微镜片布置
公开(公告)号：WO2015075223A1
公开(公告)日：2015-05-28
申请号：PCT/EP2014/075381
申请日：2014-11-24
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人： HOFMANN, Ulrich , SENGER, Frank
IPC分类号： B81B3/00 , G02B26/08 , G02B26/10
CPC分类号： B81B3/0043 , B81B3/007 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0163 , G02B26/0833 , G02B26/101
摘要： Es wird eine Mikrospiegelanordnung mit einer über Federelemente an einem Substrat befestigten Spiegelplatte (2), wobei der Spiegelplatte eine Antriebseinheit (9, 10) zugeordnet ist, die ausgebildet ist, die Spiegelplatte um mindestens eine Achse zur Schwingung um diese Achse anzutreiben, vorgeschlagen. Die Federelemente sind als mehrere, die Spiegelplatte (2) im Wesentlichen in ihrer Spiegelplattenebene umgebenden Federringrahmen (3) ausgebildet, wobei der innerste, an die Spiegeiplatte (2) angrenzende Federringrahmen (3) an zwei gegenüberliegenden Verbindungsstellen (5) mit der Spiegelplatte (2) verbunden ist, die Federringrahmen untereinander jeweils an zwei gegenüberliegenden Verbindungstellen (7, 8, 13) verbunden sind und der äußerste, an das Substrat (4) angrenzende Federringrahmen (3) an zwei gegenüberliegenden Verbindungsstellen (6, 12) mit dem Substrat (4) verbunden ist. Dabei sind die Verbindungsstellen (5, 7, 8, 13, 12) zwischen Spiegelplatte (2) und innerstem Federringrahmen (3), zwischen den Federringrahmen (3) selbst und zwischen äußerstem Federringrahmen (3) und Substrat (4) gegeneinander versetzt.
摘要翻译：它是微反射镜阵列具有固定到经由弹簧元件的基板镜板（2），其中，所述镜板，其上形成约提出这个轴的镜板，以驱动至少一个轴振动的驱动装置（9，10）相关联。弹簧元件是为多个，镜板（2）在它们的镜板平面弹簧环框架（3），基本上包围，其中，在两个相对的连接点（5）与反射镜板的最内到Spiegeiplatte（2）相邻的弹簧环框架（3）（2 ）被连接到所述弹簧圈帧彼此（7分别在两个连结点8，13连接相对）和最外层（在基板4）相邻的弹簧环框架（3）在两个相对的连接点（6，12）与基板（4 ）连接。这里，连接点（5，7，8，13，12）中的弹簧环框架（3）本身和极端弹簧环框架（3）和底物（4）之间彼此偏移之间的镜板（2）和最内弹簧环框架（3）之间。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式