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1. 发明申请

WO2014056715A2 DIFFERENZDRUCKSENSOR UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：差压传感器及其制造方法
公开(公告)号：WO2014056715A2
公开(公告)日：2014-04-17
申请号：PCT/EP2013/069766
申请日：2013-09-24
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： GETMAN, Igor , LINK, Thomas , NOMMENSEN, Peter , TEIPEN, Rafael
IPC分类号： G01L19/06
CPC分类号： G01L9/0072 , B81B3/0027 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81C1/00158 , B81C1/00396 , B81C1/00531 , G01L9/0073 , G01L13/025 , G01L19/0618
摘要： Ein Differenzdrucksensor (1), umfasst eine Messmembran (10); die zwischen dem zwei Gegenkörper (20) angeordnet und mit den Gegenkörpern (20) jeweils über eine erste isolierende Schicht (26) unter Bildung einer Druckkammer zwischen den Gegenkörpern und der Messmembran druckdicht verbunden ist, wobei die isolierende Schicht insbesondere Siliziumoxyd aufweist, wobei der Differenzdrucksensor weiterhin einen elektrischen Wandler zum Erfassen einer druckabhängigen Auslenkung der Messmembran aufweist, wobei die Gegenkörper (20) Stützstellen (27) aufweisen, an welchen die Messmembran (10) im Überlastfall zumindest teilweise anliegt, wobei die Stützstellen (10) positionsabhängige Höhen h aufweisen, dadurch gekennzeichnet, dass die Stützstellen (27) durch isotropes Ätzen in der ersten isolierenden Schicht (26) gebildet sind, und die jeweilige Höhe h einer Stützstelle jeweils eine Funktion einer Erstreckung einer Basis der Stützstelle in der Referenzebene ist.
摘要翻译：一种差动压力传感器（1）包括测量膜（10）; 被布置在两个相对主体（20）之间并连接到所述反向机构（20），每一个都具有第一绝缘层（26），以形成对置机构和测量膜片压力密闭的方式，其中，所述绝缘层具有特别是氧化硅之间的压力室，其中所述压差传感器还包括用于检测测量膜的依赖于压力的偏转的电换能器，所述反主体（20）具有支承点（27），其测量膜片（10）至少部分地搁置在过载的情况下，其中，所述支承点（10）的位置相关的高度h，其特征在于在（27）是通过在各向同性蚀刻形成的支承点，所述第一绝缘层（26）和一个支承点的各自的高度h是在每种情况下，在参考平面上的支点的基部的程度的函数。

2. 发明申请

WO2016142291A1 MEMS-SENSOR, INSB. DRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译： MEMS传感器，INSB。压力传感器
公开(公告)号：WO2016142291A1
公开(公告)日：2016-09-15
申请号：PCT/EP2016/054657
申请日：2016-03-04
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： TEIPEN, Rafael , LEMKE, Benjamin
IPC分类号： B81B3/00 , G01L9/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2203/0315 , B81B2203/04 , B81C1/00531 , B81C2201/0132 , G01L9/0048
摘要： Es ist ein MEMS-Sensor zur messtechnischen Erfassung einer Messgröße mit verbesserter Überlastfestigkeit beschrieben, der mehrere aufeinander angeordnete Lagen (1, 3, 5), insb. Siliziumlagen, umfasst, dessen Lagen (1, 3, 5) mindestens eine innere Lage (5) umfassen, die zwischen einer ersten Lage (1 ) und einer zweiten Lage (3) angeordnet ist, und in dessen inneren Lage (5) mindestens eine senkrecht zur Ebene der inneren Lage (5) durch die innere Lage (5) hindurch verlaufende Ausnehmung (7) vorgesehen ist, an die außenseitlich zumindest abschnittweise ein ein Verbindungselement (9) bildender Bereich der inneren Lage (5) angrenzt, der mit der ersten Lage (1 ) und der zweiten Lage (3) verbundenen ist, der sich dadurch auszeichnet, dass eine die Ausnehmung (7) außenseitlich zumindest abschnittweise begrenzende Mantelfläche (11) des Verbindungselements (9) in einem der erste Lage (1) zugewandten Endbereich eine die Querschnittsfläche der Ausnehmung (7) in Richtung der ersten Lage (1 ) verkleinernde, abgerundete Formgebung aufweist, und in einem der zweiten Lage (3) zugewandten Endbereich eine die Querschnittsfläche der Ausnehmung (7) in Richtung der zweiten Lage (3) verkleinernde, abgerundete Formgebung aufweist.
摘要翻译：它是与所描述，其包括几个连续布置层改进的过载电阻的测量变量的计量检测MEMS传感器（1，3，5），尤其是硅层，其层（1，3，5）至少一个内部层（5 ）包括位于（第一位置1）和第二层（3），和（在内层5）的至少一个垂直于所述平面（内层5之间）（穿过内层5）穿过其延伸的凹部（7）形成内层的至少部分在一个连接元件（9），区域设置成邻近außenseitlich（5）设置有第一层（1）和（3）被连接在第二层，其特点是在于，所述连接元件（9）在所述第一层中的一个凹口（7）außenseitlich至少部分边界表面（11）（1）的朝向上述凹部的横截面面积的端部区域（7）在所述第一层的方向（1 有）缩小处理，圆形形状，并且在所述第二层（3）的面向在所述第二层（3）的方向上的凹部（7）的横截面面积的端部区域包括缩小文件，倒圆的形状。

3. 发明申请

WO2016066306A1 KAPAZITIVER DRUCKSENSOR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：电容式压力传感器与方法研究
公开(公告)号：WO2016066306A1
公开(公告)日：2016-05-06
申请号：PCT/EP2015/070031
申请日：2015-09-02
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： TEIPEN, Rafael , LEMKE, Benjamin , KOBER, Timo , KARWECK, Lars , RÜMMELE-WERNER, Stefan , ZIERINGER, Thomas
IPC分类号： G01L9/00 , G01L13/02 , G01L19/04 , G01L19/06 , G01L19/12 , G01L9/12
CPC分类号： G01L9/0073 , G01L9/12 , G01L13/025 , G01L19/04 , G01L19/069
摘要： Es ist ein hochgenauer Drucksensor beschrieben, mit einem ersten Grundkörper (1), der zwei elektrisch leitfähige Schichten (11, 13) und eine zwischen den beiden Schichten (11, 13) angeordnete, die beiden Schichten (11, 13) elektrisch gegeneinander isolierende Isolationsschicht (15) aufweist, einer unter Einschluss einer Druckkammer (9) auf dem ersten Grundkörper (1) angeordneten, mit einem zu messenden Druck (p, Δρ) beaufschlagbaren elektrisch leitfähigen Messmembran (5), und einer in der membran-zugewandte Schicht (11) vorgesehenen, von der Messmembran (5) beabstandeten Elektrode (17), die zusammen mit der Messmembran (5) einen Kondensator mit einer in Abhängigkeit von dem auf die Messmembran (5) einwirkenden Druck veränderlichen Kapazität (C1) bildet, der sich dadurch auszeichnet, dass er einen Messmembrananschluss (23, 23') aufweist, über den an die Messmembran (5) ein Bezugspotential (U 0 ) anlegbar ist, einen Elektrodenanschluss (25) aufweist, über den ein Elektrodenpotential (E1) der Elektrode (17) abgreifbar ist, und einen Schirmanschluss (27, 27') aufweist, über den an die membran-abgewandte Schicht (13) ein unabhängig vom Bezugspotential (U 0 ) vorgebbares Schirmpotential (U Ei ), insb. ein dem Elektrodenpotential (E1) entsprechendes Schirmpotential (U EI ), anlegbar ist.
摘要翻译：它描述了一种高精度压力传感器，包括：第一基体（1）中，两个导电层（11，13）和所述两个层之间的（11，13）被布置，所述两个层（11，13）相互电绝缘的绝缘层（15），一个包括在所述第一基体（1）布置成与压力的压力腔室（9），将被测量（p，Δρ）可根据导电性测量膜片（5），和一个（在膜面层11被作用）提供（通过测量膜5）间隔开的电极（17），其与测量膜片一起（5）包括具有力响应于所述作用的电容器（到测量膜片5）印刷可变电容（C1）的形式，其特点是它具有通过它经由（5）的参考电势（U0）被施加在测量膜片的一测量膜片端口（23，23“），电极端子（25），一个Elektrodenpoten TiAl金属电极（17）的（E1）可以分接，和一屏蔽连接器（27，27“），通过从所述层背对所述膜（13）独立于所述参考电势（U0）预定的屏幕电位（UEI）尤指。一对应于筛选潜在（UEI）的电极电位（E1），可应用。

4. 发明申请

WO2014095417A1 HYDRAULISCHES MESSWERK MIT KOPLANAREN DRUCKEINGÄNGEN UND DIFFERENZDRUCKSENSOR MIT EINEM SOLCHEN MESSWERK 审中-公开
标题翻译：共面压力输入和差压传感器，这样一个烂摊子厂液压测厂
公开(公告)号：WO2014095417A1
公开(公告)日：2014-06-26
申请号：PCT/EP2013/075765
申请日：2013-12-06
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： THAM, Anh Tuan , TEIPEN, Rafael
IPC分类号： G01L13/02 , G01L19/06 , G01L19/00 , G01L19/04
CPC分类号： G01L13/025 , G01L19/0618
摘要： Ein hydraulisches Messwerk umfasst einen Messwerkkörper mit einer in eine Richtung orientierten Prozessanschlussfläche (16), welcher einen ersten und einen zweiten hydraulischen Pfad (32, 33) aufweist, die sich von der Prozessanschlussfläche (16) durch den Messwerkkörper zu einer rückseitigen Oberfläche des Messwerkkörpers erstreckten; eine erste und eine zweite Trennmembran (28, 30), welche den ersten und zweiten hydraulischen Pfad (32, 33) verschließen; wobei die hydraulischen Pfad jeweils ein erstes bzw. zweites Druckrohr (20, 22) aufweisen, welche aus der rückseitigen Oberfläche des Messwerkkörpers herausragen, und druckdicht mit dem Messwerkkörper verbunden sind; wobei der Messwerkkörper eine erste und eine zweite Überlastkammer (34, 35), die mittels einer elastischen Überlastmembran (36) getrennt sind, wobei die beiden Überlastkammern (34, 35) jeweils mit einem hydraulischen Pfad (32, 33) kommunizieren.
摘要翻译：一种液压测量单元包括测量单元体与在具有第一和来自过程连接面（16）延伸的第二液压路径（32，33）的方向上的过程连接面（16）定向为通过测量机构本体延伸到测量单元主体的背面 ; 第一和第二隔膜（28,30），其关闭所述第一和第二液压路径（32，33）; 其中每一个都具有第一和第二压力管（20，22），其从测量单元主体的背面突出的液压路径，和压力密封连接到测量单元主体; 其中，所述测量单元主体具有第一和通过弹性过载膜片（36）的装置的第二过载室（34，35）进行通信是分开的，其中，所述两个过载室（34，35），每个与液压路径（32,33）。

5. 发明申请

WO2015197344A1 KAPAZITIVER DIFFERENZDRUCKSENSOR UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：电容式压力传感器及其制造方法
公开(公告)号：WO2015197344A1
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：PCT/EP2015/062679
申请日：2015-06-08
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： TEIPEN, Rafael , LEMKE, Benjamin
IPC分类号： G01L9/00 , G01L13/02
CPC分类号： G01L9/0073 , G01L13/025
摘要： Es ist ein einfach aufgebauter und kostengünstig herstellbarer Differenzdrucksensor beschrieben, mit einer ersten und einer zweiten Gegenelektrode (1, 3), einer zwischen den beiden Gegenelektroden (1, 3) angeordneten leitfähigen Scheibe (5), einer ersten isolierenden Schicht (7), über die ein äußerer Rand der Scheibe (5) unter Bildung einer ersten Druckkammer (9) mit einem äußeren Rand der ersten Gegenelektrode (1 ) verbunden ist, einer zweiten isolierenden Schicht (11), über die ein äußerer Rand der Scheibe (5) unter Bildung einer zweiten Druckkammer (9) mit einem äußeren Rand der zweiten Gegenelektrode (3) verbunden ist, einer in der ersten Gegenelektrode (1) vorgesehenen Ausnehmung (13), über die erste Druckkammer (9) mit einem ersten Druck (p 1 ) beaufschlagbar ist, und einer in der zweiten Gegenelektrode (3) vorgesehenen Ausnehmung (13), über die die zweite Druckkammer (9) mit einem zweiten Druck (p 2 ) beaufschlagbar ist, der sich dadurch auszeichnet, dass die Scheibe (5) durch einen Graben (17) in einen als Elektrode dienenden inneren Bereich (19) und einen davon durch den Graben (17) elektrisch isolierten äußeren Bereich (21) unterteilt ist, der innere Bereich (19) eine zwischen den beiden Druckkammern (9) angeordnete Messmembran (15) und einen die Messmembran (15) umschließenden, zwischen den inneren Rändern (25) der isolierenden Schichten (7, 11) eingespannten Randbereich (23) umfasst, und der innere Bereich (19) mit jeder der Gegenelektroden (1, 3) jeweils einen Kondensator mit einer von einem auf die Messmembran (15) einwirkenden Differenzdruck (Δρ) abhängigen Kapazität (C1, C3) bildet.
摘要翻译：中描述了一种简单的结构和经济上可产生的压差传感器布置成与第一和第二对向电极（1，3），一个在两个相对电极之间（1，3）导电板（5），第一绝缘层（7），经盘（5）的外边缘被连接，以形成第一压力腔（9）与所述第一计数器电极的外边缘（1），第二绝缘层（11）在其上盘的外边缘（5），得到的第二压力室（9）被连接到所述第二对电极（3），在所述第一对向电极（1）提供凹部（13），经由第一压力室（9）可以与第一压力（P1）加压的外边缘，以及在所述第二对电极（3）设置凹部（13），通过该第二压力室（9）与第二压力（P2）可被作用，其特征在于，所述盘（内部区域（19）5）（由一个沟槽17）（在作为通过沟（17）电绝缘的外部分（21）的电极内部区域19）和它们中的一个被分开，一个（两个压力室9之间）布置测量膜片（15）和一测量膜片（15）包围（（内边缘25之间）的绝缘层（7，11）夹持的边缘区域23）并与每个对置电极的内部部分（19）（1 ，3）在每种情况下与来自作用的力的电容器（到测量膜片15）的压力差（Δρ）相关的电容（C1，C3）形成。

6. 发明申请

WO2015082145A1 DIFFERENZDRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：差压传感器
公开(公告)号：WO2015082145A1
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：PCT/EP2014/073517
申请日：2014-11-03
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： JOCHEM, Bernhard , KOBER, Timo , LEMKE, Benjamin , RIEMER, Darina , TEIPEN, Rafael , THAM, Anh Tuan , WERTHSCHÜTZKY, Roland
IPC分类号： G01L13/02 , G01L19/06
CPC分类号： G01L19/0618 , G01L13/025
摘要： Ein Differenzdrucksensor (101 ) umfasst eine Messmembran (1 10) aus einem elektrisch leitenden Werkstoff; zwei elektrisch isolierenden Gegenkörper (120, 130); und mindestens einen kapazitiven Wandler, wobei die Messmembran (1 10) mit den Gegenkörpern (120, 130), jeweils unter Bildung einer Messkammer zwischen entlang eines umlaufenden Randes druckdicht verbunden ist, wobei die Gegenkörper jeweils ein im Zentrum konkaves Membranbett aufweisen, wobei die Gegenkörper jeweils einen Druckkanal (125, 135) aufweisen, der sich durch den Gegenkörper in die Messkammer erstreckt, wobei der kapazitive Wandler zumindest eine Gegenkörperelektrode aufweist, welche durch eine metallische Beschichtung der Oberfläche des Gegenkörpers im Bereich des Membranbetts (124, 134) gebildet und durch eine metallische Beschichtung der Wand des Druckkanals kontaktierbar ist, wobei die Gegenkörperelektrode durch einen inneren Bereich (127, 137) der metallische Beschichtung gebildet ist, welcher von einen äußeren Bereich (126, 136) der Beschichtung ringförmig umschlossen und von letzterem durch einen ringförmigen Isolationsbereich (129, 139) getrennt ist.
摘要翻译：一种差动压力传感器（101）包括导电材料制成的测量膜（110）; 两个电绝缘的反体（120，130）; 和至少一个电容传感器，其中，所述测量膜片（110）与对置机构（120，130），每个形成沿圆周边缘之间的测量室是压力密封地连接，其中，每个所述反向机构具有在中心膜片床的凹面，其中，所述反机构在每种情况下的压力通道（125，135），其通过所述计数器机构，其特征在于，所述电容性换能器包括由金属涂覆体的表面在膜床的区域中形成的至少一个反体电极延伸到所述测量室（124，134），并通过压力通道的壁的金属涂层是接触，其特征在于，由内部（127，137）反体电极通过环形隔离区域的金属涂层，它从外部部分（126，136）所包围的涂层环和形成（从后者 129，139）分别。

7. 发明申请

WO2014095416A2 MECHANISCHE STABILISIERUNG UND ELEKTRISCHE SOWIE HYDRAULISCHE ADAPTIERUNG EINES SILIZIUM CHIPS DURCH KERAMIKEN 审中-公开
标题翻译：机械稳定性和电气和液压BY陶瓷硅芯片的适应化修改
公开(公告)号：WO2014095416A2
公开(公告)日：2014-06-26
申请号：PCT/EP2013/075764
申请日：2013-12-06
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： LEMKE, Benjamin , TEIPEN, Rafael , THAM, Anh Tuan
IPC分类号： G01L19/06
CPC分类号： G01L13/025 , G01L19/0618
摘要： Ein Differenzdrucksensor (1) umfasst eine Differenzdruckmesszelle (10), welche einen Messzellenkörper mit mit Druck beaufschlagbaren Messkammern (13, 15) in seinem Innern und mit einer ersten Montagefläche (17) und einer zweiten Montagefläche (19) aufweist, wobei die Montageflächen (17, 19) unter Druckbeaufschlagung der Messkammern (13, 15) einen veränderlichen Abstand aufweisen, wobei der Differenzdrucksensor weiterhin einen ersten Versteifungskörper (20) mit einer ersten ebenen Versteifungsfläche und einen zweiten Versteifungskörper (20) mit einer zweiten ebenen Versteifungsfläche aufweist, wobei eine Durchbiegung der Montageflächen aufgrund eine Druckbeaufschlagung der Messkammern durch die Versteifungskörper verringert wird, und wobei insbesondere mindestens 50%, einer effektiven Steifigkeit K= 1/(dx/dp) der durch die Differenzdruckmesszelle verbundenen Versteifungskörper, nur durch diese Verbindung der Versteifungskörper mit dem Messzellenkörper ohne zusätzliche Verbindungen zwischen den Versteifungskörpern in einem Nebenschluss gegeben ist, wobei x der Abstand zwischen der ersten Montagefläche und der zweiten Montageflächen ist, der die größte Druckabhängigkeit dx/dp aufweist.
摘要翻译：一种差动压力传感器（1），包括在其内部的差动压力测量单元（10）包括一个测量单元体与加压的测量室（13，15）并具有第一安装表面（17）和第二安装表面（19），其中所述安装表面（17 ，19）下的测量腔加压（13，15）具有可变的间距，其中，所述差压传感器，还包括具有第二平面的加强表面的第一平坦支撑表面和一个第二加强体（20）具有一个第一加强体（20），其中，所述偏转安装表面是由于测量室中的加压，通过加强构件减小，并且其中，特别地至少50％，的K = 1 /（DX / DP）的有效刚度的由压差只通过该加强体的与所述测量池体这方面没有附加版测量细胞的加强体相关联的在分流器，其中，x是所述第一安装表面和第二安装表面之间的距离的加强体之间给出化合物中，dx是最大压力的依赖性/ DP具有。

8. 发明申请

WO2017182213A1 DIFFERENZDRUCKMESSZELLE 审中-公开
标题翻译：压力差测量CELL
公开(公告)号：WO2017182213A1
公开(公告)日：2017-10-26
申请号：PCT/EP2017/056568
申请日：2017-03-20
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： SIXTENSSON, Daniel , TEIPEN, Rafael , LEMKE, Benjamin , KOBER, Timo , UEHLIN, Thomas , PONATH, Nils
IPC分类号： G01L13/02 , G01L19/06
CPC分类号： G01L19/0618 , G01L13/025
摘要： Die Erfindung betrifft eine Differenzdruckmesszelle, wobei mindestens einer von zwei Gegenkörpern (41;42), zwischen denen eine Messmembran (2) druckdicht eingefasst ist, mit einem angrenzenden Stützkörper (51;52) unter Bildung einer hydraulischen Stützkammer (8) verbunden ist, wobei die hydraulische Stützkammer (8) eine Abstützung (81) mit Kontaktflächen (Fk) zwischen Gegenkörper (41;42) und Stützkörper (51;52) und einen zwischen der Abstützung (81) verlaufenden und mit der Messkammer (61;62) kommunizierenden Ausgleichskanal (82) aufweist, und wobei die hydraulische Stützkammer (8) so strukturiert ist, dass die Kontaktflächen (Fk) der Abstützung (81) und der Ausgleichskanal (82) gleichmäßig in der hydraulischen Stützkammer (8) verteilt angeordnet sind. Durch den Ausgleichskanal (82) der hydraulischen Stützkammer (8) wird der Druck (p1;p2) gleichmäßig verteilt. Durch die Abstützung (81) der hydraulischen Stützkammer (8) wird der Gegenkörper (41;42) am Stützkörper (51;52) abgestützt.
摘要翻译：
本发明涉及一种差动压力测量单元，其中，两个Gegenk＆OUML的至少一个; rpern（41; 42），其之间的测量膜片（2）被封闭在压力密封，与相邻的圣导航用途TZK＆OUML;主体（51; 52）以形成液压圣导航使用连接tzkammer（8），其中，所述液压圣导航用途tzkammer（8）分区：Abst导航使用估计（81）配有Kontaktfl＆AUML; Gegenk＆oUML之间陈（FK）;主体（41; 42）和St导航用途和在所述下降部（81）之间延伸且与所述测量室（61; 62）连通的补偿通道（82），并且其中所述液压蓄能室（8）凹部81与均衡流路82的接触面Fk均匀地分布在液压蓄能室8内。液压蓄能室（8）的均衡通道（82）均匀地分配压力（p1; p2）。通过液压蓄能室（8）的突出部（81），配重体（41; 42）在短体（51; 52）上松弛，

9. 发明申请

WO2016102121A1 DIFFERENZDRUCKSENSOR UND DIFFERENZDRUCKMESSAUFNEHMER MIT EINEM SOLCHEN DIFFERENZDRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：差压传感器和DIFFERENZDRUCKMESSAUFNEHMER这样的差压传感器
公开(公告)号：WO2016102121A1
公开(公告)日：2016-06-30
申请号：PCT/EP2015/076917
申请日：2015-11-18
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： KOBER, Timo , TEIPEN, Rafael , THAM, Anh Tuan , WERTHSCHÜTZKY, Roland
IPC分类号： G01L9/00 , G01L13/02
CPC分类号： G01L9/0072 , G01L13/025
摘要： Ein Differenzdrucksensor (200), umfasst zwei Differenzdruckmesszellen (100a,100b), die jeweils eine Messmembran zwischen zwei Gegenkörpern aufweisen, wobei die Messmembranen jeweils zwei Messkammern voneinander trennen; und ein Messzellengehäuse (210), welches einen Gehäusekörper (212, 214) mit zwei Messzellenkammern (216a, 216b) aufweist, zwischen denen sich ein Koppelkanal (222) erstreckt, wobei jeweils eine Differenzdruckmesszelle (100a, 100b,) in einer der beiden Messzellenkammern (216a, 216b) angeordnet und mit dem Gehäusekörper (212, 214) mittels einer Fügestelle verbunden ist, wobei die Messkammern der beiden Differenzdruckmesszellen, welche der Fügestelle zugewandt sind über den Koppelkanal (222) miteinander hydraulisch gekoppelt sind, wobei der Gehäusekörper zwei Mediendrucköffnungen (218a, 218b) aufweist, die sich jeweils von einer äußeren Oberfläche des Gehäusekörpers in eine der Messzellenkammern (216a, 216b) erstrecken, wobei die außerhalb der Fügestelle gelegenen Oberflächen der Differenzdruckmesszellen (100a,100b) mit einer Mediendrucköffnung kommunizieren, und wobei jeweils eine den Fügestellen abgewandte Messkammer der Differenzdruckmesszellen über einen Druckkanal mit der Mediendrucköffnungen kommuniziert.
摘要翻译：一种差动压力传感器（200）包括两个差分压力传感器（100A，100B），每一个具有两个反向机构，其中，所述测量膜彼此分开各两个测量室之间的测量膜片; 和具有壳体主体（212，214）与两个测量细胞腔室（216A，216B），在它们之间有一个耦合信道（222），测量电池外壳（210），其中在每种情况下，差动压力的两个测量单元室中的一个测量单元（100A，100B）（216A，216B），并连接到所述壳体（212，214）是由一个连接点相连接，其特征在于，所述两个压力差测量单元，其经由所述耦合信道（222）面向所述接合点的测量室被液压地连接到彼此，其中所述外壳体（2个介质压力开口 218A，218B），其具有本身（在从壳体主体的外表面中的测量池腔室216a的一个，216B每一种情况下）延伸的位于所述压力差的接合面外测量单元（100A，100B）与流体压力端口和在每种情况下的一个进行通信接头背向差压的测量单元在Druckkan测量室人与媒体的压力端口进行通信。

10. 发明申请

WO2015150154A1 DIFFERENZDRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：差压传感器
公开(公告)号：WO2015150154A1
公开(公告)日：2015-10-08
申请号：PCT/EP2015/056186
申请日：2015-03-24
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： THAM, Anh Tuan , KLÖFER, Peter , TEIPEN, Rafael , LEMKE, Benjamin
IPC分类号： G01L13/02 , G01L19/06 , G01L19/14
CPC分类号： G01L13/025 , G01L13/026 , G01L19/0618 , G01L19/142 , G01L19/143
摘要： Ein Differenzdrucksensor (1), umfasst eine Differenzdruckmesszelle (2) mit einer Messmembran (10), zwei Gegenkörpern (20, 30), zwischen denen die Messmembran angeordnet ist, und, und einem Wandler (40), sowie eine elastische Einspannvorrichtung (50), welche zwei Spannflächen (53) aufweist, welche jeweils auf eine der Messmembran (10) abgewandte, erste Rückseite (26, 36) der Gegenkörpers (20,30) einwirken, wobei die Einspannvorrichtung (50) mindestens ein elastisches Element (56, 58) aufweist, über welches die Spannflächen (52, 54) mechanisch gekoppelt sind, um die Differenzdruckmesszellen (2) mit einer axialen Einspannkraft einzuspannen, wobei die Spannflächen (52, 54) formsteif sind, wobei die Einspannvorrichtung (50) eine Klammer mit zwei Spannkörpern (60, 62) aufweist, welcher jeweils eine der Spannflächen (52, 54) aufweisen, wobei mindestens einer der Spannkörper ein elastisches Element aufweist, die Spannkörper unter Spannung miteinander verbunden sind, um eine Einspannkraft auf die Differenzdruckmesszelle (2) auszuüben wobei beide Spannkörper (60, 62) einen zentralen formsteifen Abschnitt aufweisen (64, 66), welcher die Spannflächen (52, 54) umfasst, wobei an den formsteifen Abschnitt (64, 66) mindestens eines Spannkörpers, insbesondere beider Spannkörper elastische Abschnitte anschließen, welche die elastischen Elemente (56, 58) bilden.
摘要翻译：一种差动压力传感器（1），包括一个差动压力测量单元（2）与测量膜片（10），两个反向机构（20，30）的测量膜片被设置在它们之间，并且，和换能器（40），和一个弹性夹紧装置（50）面向远离在每种情况下在测量膜片中的一个（10）中，第一背面具有两个夹紧表面（53）（26，36）对置体（20,30），的动作，其中，所述夹具（50）的至少一个弹性构件（56,58 ），它们由装置机械地联接，其中所述夹持表面（52，54）以夹紧压力差测量单元（2）与一个轴向夹紧力，所述夹紧表面（52，54）在尺寸上是稳定的，其中，所述夹紧装置（50）包括具有两个夹紧构件夹紧（60，62），其在每种情况下所述夹紧表面中的一个（52，54），其中，所述夹持体中的至少一个具有弹性元件，所述夹持体在张力下连接到夹持将力施加到差动压力测量单元（2）和两个夹紧机构（60，62）具有中央维刚性部分（64，66），其中，所述夹持表面（52，54），其特征在于，至少一个夹持主体的尺寸上刚性部分（64，66）特别是连接构成弹性构件（56,58）在两个卡盘主体的弹性部分。

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