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1. 发明申请

WO2018007179A1 DIFFERENZDRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：差压传感器
公开(公告)号：WO2018007179A1
公开(公告)日：2018-01-11
申请号：PCT/EP2017/065634
申请日：2017-06-26
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： KOBER, Timo , LEMKE, Benjamin
IPC分类号： G01L9/00 , G01L9/12 , G01L13/02 , G01L19/00 , G01L19/06
摘要： Differenzdrucksensor zur Bestimmung eines Druckmesssignals, umfassend: eine im Wesentlichen ein Halbleitermaterial aufweisende Differenzdruckmesszelle, welcher ein erster und ein zweiter Druck zuführbar ist und welche mit Hilfe eines elektrischen Wandlerelementes in Abhängigkeit einer Differenz zwischen dem ersten und dem zweiten Druck das Druckmesssignal ausgibt; einen ersten, vorzugsweise eine Keramik oder ein Halbleitermaterial, aufweisenden Versteifungskörper, der mit der Differenzdruckmesszelle mittels einer ersten Fügeschicht gefügt ist und einen ersten Kanal aufweist, über den der erste Druck der Differenzdruckmesszelle zuführbar ist; einen zweiten, vorzugsweise eine Keramik oder ein Halbleitermaterial, aufweisenden Versteifungskörper, der mit der Differenzdruckmesszelle mittels einer zweiten Fügeschicht gefügt ist und einen zweiten Kanal aufweist, über den der zweite Druck der Differenzdruckmesszelle zuführbar ist; wobei die erste und/oder die zweite Fügeschicht ein elektrisch leitfähiges, vorzugsweise metallisches Material aufweist und die erste und/oder zweite Fügeschicht neben der mechanischen Verbindung der Differenzdruckmesszelle mit dem ersten bzw. zweiten Versteifungskörper auch zur Realisierung einer elektrischen Funktionalität dient.
摘要翻译：
用于确定压力测量信号，包括压差传感器：具有压力差测量单元，其中，第一和第二压力zuf导航用途是YOURSELFSOFTWAREUPDAT E和其与电动换能器元件的依赖辅助BEAR之间的差的相关性的基本的半导体材料第一和第二压力输出压力测量信号; 第一，优选陶瓷或半导体材料，其具有Versteifungsk＆OUML;主体，它与压差由第一架F导航用途历史学家实测值导航用途来测量细胞是GT和具有在所述第一压力的第一信道是差分压力测量单元zuf导航用途是YOURSELFSOFTWAREUPDATË; 第二，优选陶瓷或半导体材料，其具有Versteifungsk＆OUML;主体，它与压差由一个第二个F导航用途历史学家实测值导航用途来测量细胞是GT和其到第二压力，所述压力差测量细胞zuf导航用途是YOURSELFSOFTWAREUPDAT E中的第二信道; 其中，所述第一和/或第二个F导航用途历史学家导电BEAR Higes，优选金属材料，并且除了压力差测量与所述第一和第二Versteifungsk＆OUML电池的机械连接第一和/或第二个F导航用途历史学家;主体还用于实现电气功能服务。

2. 发明申请

WO2017081053A1 KAPAZITIVER DRUCKSENSOR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：电容式压力传感器及其生产方法
公开(公告)号：WO2017081053A1
公开(公告)日：2017-05-18
申请号：PCT/EP2016/077074
申请日：2016-11-09
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： NOMMENSEN, Peter , TEIPEN, Rafael , LEMKE, Benjamin , LOPATIN, Sergej
IPC分类号： G01L9/00 , G01L19/00
CPC分类号： G01L9/0073 , G01L19/0038 , G01L19/0084
摘要： Es ist ein einfach aufgebauter, in einem erfindungsgemäßen Verfahren kostengünstig herstellbarer Drucksensor beschrieben, mit einem Grundkörper (1), einer unter Einschluss einer Druckkammer (3) mit dem Grundkörper (1) verbundenen, mit einem zu messenden Druck (Δρ) beaufschlagbaren, elektrisch leitfähigen Messmembran (5), und einer von der Messmembran (5) beabstandeten, gegenüber der Messmembran (5) elektrisch isolierten Elektrode (13), die zusammen mit der Messmembran (5) einen Kondensator mit einer in Abhängigkeit von einer vom auf die Messmembran (5) einwirkenden Druck (Δρ) abhängigen Durchbiegung der Messmembran (5) veränderlichen Kapazität bildet, der sich dadurch auszeichnet, dass der Grundkörper (1) eine die Druckkammer (3) begrenzende, der Messmembran (5) gegenüber liegende Innenfläche aufweist, auf der eine auf die Innenfläche aufgebrachte Isolationsschicht (15), insb. eine Isolationsschicht (15) aus Silizimdioxid (SiO 2 ), vorgesehen ist, und die Elektrode (13) eine auf auf der Innenfläche auf die Isolationsschicht (15) aufgebrachte leitfähige Beschichtung, insb. eine Beschichtung aus dotiertem Polysilizium, ist.
摘要翻译：
这是一个简单的结构，在根据本发明的BEAR ROAD烯方法成本导航用途描述廉价瑞士可生产压力传感器，有一个初学者＆OUML;主体（1），一个包括一个压力室（3）与初学者＆ouml; 相关联的主体（1），具有可根据导电BEAR ELIGIBLE测量膜片（5），并且测量膜片中的一个被加载到待测量的压力（Δρ）（5）隔开，靠测量膜片的过度（5）是电绝缘的电极（13），与测量膜片一起（5）具有依赖BEAR取决于作用在测量膜片（5）压力（Δρ）BEAR依赖性的测量膜片的偏转力的依赖性的电容器（5）版本＆AUML;方向工会电容BEAR吨形式这由此其特征在于，求＆oUML;主体（1）的限定压力室（3），所述测量膜片（5），防止过躺在具有澈，上的Innenfl＆AUML所述一个Innenfl BEAR的;枝施加绝缘层（15），特别是Isolationss。二氧化硅（SiO 2），并且电极（13）具有施加到绝缘层（15）的内表面的导电涂层，特别是涂层，的掺杂多晶硅，是。

3. 发明申请

WO2015197344A1 KAPAZITIVER DIFFERENZDRUCKSENSOR UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：电容式压力传感器及其制造方法
公开(公告)号：WO2015197344A1
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：PCT/EP2015/062679
申请日：2015-06-08
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： TEIPEN, Rafael , LEMKE, Benjamin
IPC分类号： G01L9/00 , G01L13/02
CPC分类号： G01L9/0073 , G01L13/025
摘要： Es ist ein einfach aufgebauter und kostengünstig herstellbarer Differenzdrucksensor beschrieben, mit einer ersten und einer zweiten Gegenelektrode (1, 3), einer zwischen den beiden Gegenelektroden (1, 3) angeordneten leitfähigen Scheibe (5), einer ersten isolierenden Schicht (7), über die ein äußerer Rand der Scheibe (5) unter Bildung einer ersten Druckkammer (9) mit einem äußeren Rand der ersten Gegenelektrode (1 ) verbunden ist, einer zweiten isolierenden Schicht (11), über die ein äußerer Rand der Scheibe (5) unter Bildung einer zweiten Druckkammer (9) mit einem äußeren Rand der zweiten Gegenelektrode (3) verbunden ist, einer in der ersten Gegenelektrode (1) vorgesehenen Ausnehmung (13), über die erste Druckkammer (9) mit einem ersten Druck (p 1 ) beaufschlagbar ist, und einer in der zweiten Gegenelektrode (3) vorgesehenen Ausnehmung (13), über die die zweite Druckkammer (9) mit einem zweiten Druck (p 2 ) beaufschlagbar ist, der sich dadurch auszeichnet, dass die Scheibe (5) durch einen Graben (17) in einen als Elektrode dienenden inneren Bereich (19) und einen davon durch den Graben (17) elektrisch isolierten äußeren Bereich (21) unterteilt ist, der innere Bereich (19) eine zwischen den beiden Druckkammern (9) angeordnete Messmembran (15) und einen die Messmembran (15) umschließenden, zwischen den inneren Rändern (25) der isolierenden Schichten (7, 11) eingespannten Randbereich (23) umfasst, und der innere Bereich (19) mit jeder der Gegenelektroden (1, 3) jeweils einen Kondensator mit einer von einem auf die Messmembran (15) einwirkenden Differenzdruck (Δρ) abhängigen Kapazität (C1, C3) bildet.
摘要翻译：中描述了一种简单的结构和经济上可产生的压差传感器布置成与第一和第二对向电极（1，3），一个在两个相对电极之间（1，3）导电板（5），第一绝缘层（7），经盘（5）的外边缘被连接，以形成第一压力腔（9）与所述第一计数器电极的外边缘（1），第二绝缘层（11）在其上盘的外边缘（5），得到的第二压力室（9）被连接到所述第二对电极（3），在所述第一对向电极（1）提供凹部（13），经由第一压力室（9）可以与第一压力（P1）加压的外边缘，以及在所述第二对电极（3）设置凹部（13），通过该第二压力室（9）与第二压力（P2）可被作用，其特征在于，所述盘（内部区域（19）5）（由一个沟槽17）（在作为通过沟（17）电绝缘的外部分（21）的电极内部区域19）和它们中的一个被分开，一个（两个压力室9之间）布置测量膜片（15）和一测量膜片（15）包围（（内边缘25之间）的绝缘层（7，11）夹持的边缘区域23）并与每个对置电极的内部部分（19）（1 ，3）在每种情况下与来自作用的力的电容器（到测量膜片15）的压力差（Δρ）相关的电容（C1，C3）形成。

4. 发明申请

WO2015082145A1 DIFFERENZDRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：差压传感器
公开(公告)号：WO2015082145A1
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：PCT/EP2014/073517
申请日：2014-11-03
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： JOCHEM, Bernhard , KOBER, Timo , LEMKE, Benjamin , RIEMER, Darina , TEIPEN, Rafael , THAM, Anh Tuan , WERTHSCHÜTZKY, Roland
IPC分类号： G01L13/02 , G01L19/06
CPC分类号： G01L19/0618 , G01L13/025
摘要： Ein Differenzdrucksensor (101 ) umfasst eine Messmembran (1 10) aus einem elektrisch leitenden Werkstoff; zwei elektrisch isolierenden Gegenkörper (120, 130); und mindestens einen kapazitiven Wandler, wobei die Messmembran (1 10) mit den Gegenkörpern (120, 130), jeweils unter Bildung einer Messkammer zwischen entlang eines umlaufenden Randes druckdicht verbunden ist, wobei die Gegenkörper jeweils ein im Zentrum konkaves Membranbett aufweisen, wobei die Gegenkörper jeweils einen Druckkanal (125, 135) aufweisen, der sich durch den Gegenkörper in die Messkammer erstreckt, wobei der kapazitive Wandler zumindest eine Gegenkörperelektrode aufweist, welche durch eine metallische Beschichtung der Oberfläche des Gegenkörpers im Bereich des Membranbetts (124, 134) gebildet und durch eine metallische Beschichtung der Wand des Druckkanals kontaktierbar ist, wobei die Gegenkörperelektrode durch einen inneren Bereich (127, 137) der metallische Beschichtung gebildet ist, welcher von einen äußeren Bereich (126, 136) der Beschichtung ringförmig umschlossen und von letzterem durch einen ringförmigen Isolationsbereich (129, 139) getrennt ist.
摘要翻译：一种差动压力传感器（101）包括导电材料制成的测量膜（110）; 两个电绝缘的反体（120，130）; 和至少一个电容传感器，其中，所述测量膜片（110）与对置机构（120，130），每个形成沿圆周边缘之间的测量室是压力密封地连接，其中，每个所述反向机构具有在中心膜片床的凹面，其中，所述反机构在每种情况下的压力通道（125，135），其通过所述计数器机构，其特征在于，所述电容性换能器包括由金属涂覆体的表面在膜床的区域中形成的至少一个反体电极延伸到所述测量室（124，134），并通过压力通道的壁的金属涂层是接触，其特征在于，由内部（127，137）反体电极通过环形隔离区域的金属涂层，它从外部部分（126，136）所包围的涂层环和形成（从后者 129，139）分别。

5. 发明申请

WO2014095416A2 MECHANISCHE STABILISIERUNG UND ELEKTRISCHE SOWIE HYDRAULISCHE ADAPTIERUNG EINES SILIZIUM CHIPS DURCH KERAMIKEN 审中-公开
标题翻译：机械稳定性和电气和液压BY陶瓷硅芯片的适应化修改
公开(公告)号：WO2014095416A2
公开(公告)日：2014-06-26
申请号：PCT/EP2013/075764
申请日：2013-12-06
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： LEMKE, Benjamin , TEIPEN, Rafael , THAM, Anh Tuan
IPC分类号： G01L19/06
CPC分类号： G01L13/025 , G01L19/0618
摘要： Ein Differenzdrucksensor (1) umfasst eine Differenzdruckmesszelle (10), welche einen Messzellenkörper mit mit Druck beaufschlagbaren Messkammern (13, 15) in seinem Innern und mit einer ersten Montagefläche (17) und einer zweiten Montagefläche (19) aufweist, wobei die Montageflächen (17, 19) unter Druckbeaufschlagung der Messkammern (13, 15) einen veränderlichen Abstand aufweisen, wobei der Differenzdrucksensor weiterhin einen ersten Versteifungskörper (20) mit einer ersten ebenen Versteifungsfläche und einen zweiten Versteifungskörper (20) mit einer zweiten ebenen Versteifungsfläche aufweist, wobei eine Durchbiegung der Montageflächen aufgrund eine Druckbeaufschlagung der Messkammern durch die Versteifungskörper verringert wird, und wobei insbesondere mindestens 50%, einer effektiven Steifigkeit K= 1/(dx/dp) der durch die Differenzdruckmesszelle verbundenen Versteifungskörper, nur durch diese Verbindung der Versteifungskörper mit dem Messzellenkörper ohne zusätzliche Verbindungen zwischen den Versteifungskörpern in einem Nebenschluss gegeben ist, wobei x der Abstand zwischen der ersten Montagefläche und der zweiten Montageflächen ist, der die größte Druckabhängigkeit dx/dp aufweist.
摘要翻译：一种差动压力传感器（1），包括在其内部的差动压力测量单元（10）包括一个测量单元体与加压的测量室（13，15）并具有第一安装表面（17）和第二安装表面（19），其中所述安装表面（17 ，19）下的测量腔加压（13，15）具有可变的间距，其中，所述差压传感器，还包括具有第二平面的加强表面的第一平坦支撑表面和一个第二加强体（20）具有一个第一加强体（20），其中，所述偏转安装表面是由于测量室中的加压，通过加强构件减小，并且其中，特别地至少50％，的K = 1 /（DX / DP）的有效刚度的由压差只通过该加强体的与所述测量池体这方面没有附加版测量细胞的加强体相关联的在分流器，其中，x是所述第一安装表面和第二安装表面之间的距离的加强体之间给出化合物中，dx是最大压力的依赖性/ DP具有。

6. 发明申请

WO2016142291A1 MEMS-SENSOR, INSB. DRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译： MEMS传感器，INSB。压力传感器
公开(公告)号：WO2016142291A1
公开(公告)日：2016-09-15
申请号：PCT/EP2016/054657
申请日：2016-03-04
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： TEIPEN, Rafael , LEMKE, Benjamin
IPC分类号： B81B3/00 , G01L9/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2203/0315 , B81B2203/04 , B81C1/00531 , B81C2201/0132 , G01L9/0048
摘要： Es ist ein MEMS-Sensor zur messtechnischen Erfassung einer Messgröße mit verbesserter Überlastfestigkeit beschrieben, der mehrere aufeinander angeordnete Lagen (1, 3, 5), insb. Siliziumlagen, umfasst, dessen Lagen (1, 3, 5) mindestens eine innere Lage (5) umfassen, die zwischen einer ersten Lage (1 ) und einer zweiten Lage (3) angeordnet ist, und in dessen inneren Lage (5) mindestens eine senkrecht zur Ebene der inneren Lage (5) durch die innere Lage (5) hindurch verlaufende Ausnehmung (7) vorgesehen ist, an die außenseitlich zumindest abschnittweise ein ein Verbindungselement (9) bildender Bereich der inneren Lage (5) angrenzt, der mit der ersten Lage (1 ) und der zweiten Lage (3) verbundenen ist, der sich dadurch auszeichnet, dass eine die Ausnehmung (7) außenseitlich zumindest abschnittweise begrenzende Mantelfläche (11) des Verbindungselements (9) in einem der erste Lage (1) zugewandten Endbereich eine die Querschnittsfläche der Ausnehmung (7) in Richtung der ersten Lage (1 ) verkleinernde, abgerundete Formgebung aufweist, und in einem der zweiten Lage (3) zugewandten Endbereich eine die Querschnittsfläche der Ausnehmung (7) in Richtung der zweiten Lage (3) verkleinernde, abgerundete Formgebung aufweist.
摘要翻译：它是与所描述，其包括几个连续布置层改进的过载电阻的测量变量的计量检测MEMS传感器（1，3，5），尤其是硅层，其层（1，3，5）至少一个内部层（5 ）包括位于（第一位置1）和第二层（3），和（在内层5）的至少一个垂直于所述平面（内层5之间）（穿过内层5）穿过其延伸的凹部（7）形成内层的至少部分在一个连接元件（9），区域设置成邻近außenseitlich（5）设置有第一层（1）和（3）被连接在第二层，其特点是在于，所述连接元件（9）在所述第一层中的一个凹口（7）außenseitlich至少部分边界表面（11）（1）的朝向上述凹部的横截面面积的端部区域（7）在所述第一层的方向（1 有）缩小处理，圆形形状，并且在所述第二层（3）的面向在所述第二层（3）的方向上的凹部（7）的横截面面积的端部区域包括缩小文件，倒圆的形状。

7. 发明申请

WO2016066306A1 KAPAZITIVER DRUCKSENSOR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：电容式压力传感器与方法研究
公开(公告)号：WO2016066306A1
公开(公告)日：2016-05-06
申请号：PCT/EP2015/070031
申请日：2015-09-02
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： TEIPEN, Rafael , LEMKE, Benjamin , KOBER, Timo , KARWECK, Lars , RÜMMELE-WERNER, Stefan , ZIERINGER, Thomas
IPC分类号： G01L9/00 , G01L13/02 , G01L19/04 , G01L19/06 , G01L19/12 , G01L9/12
CPC分类号： G01L9/0073 , G01L9/12 , G01L13/025 , G01L19/04 , G01L19/069
摘要： Es ist ein hochgenauer Drucksensor beschrieben, mit einem ersten Grundkörper (1), der zwei elektrisch leitfähige Schichten (11, 13) und eine zwischen den beiden Schichten (11, 13) angeordnete, die beiden Schichten (11, 13) elektrisch gegeneinander isolierende Isolationsschicht (15) aufweist, einer unter Einschluss einer Druckkammer (9) auf dem ersten Grundkörper (1) angeordneten, mit einem zu messenden Druck (p, Δρ) beaufschlagbaren elektrisch leitfähigen Messmembran (5), und einer in der membran-zugewandte Schicht (11) vorgesehenen, von der Messmembran (5) beabstandeten Elektrode (17), die zusammen mit der Messmembran (5) einen Kondensator mit einer in Abhängigkeit von dem auf die Messmembran (5) einwirkenden Druck veränderlichen Kapazität (C1) bildet, der sich dadurch auszeichnet, dass er einen Messmembrananschluss (23, 23') aufweist, über den an die Messmembran (5) ein Bezugspotential (U 0 ) anlegbar ist, einen Elektrodenanschluss (25) aufweist, über den ein Elektrodenpotential (E1) der Elektrode (17) abgreifbar ist, und einen Schirmanschluss (27, 27') aufweist, über den an die membran-abgewandte Schicht (13) ein unabhängig vom Bezugspotential (U 0 ) vorgebbares Schirmpotential (U Ei ), insb. ein dem Elektrodenpotential (E1) entsprechendes Schirmpotential (U EI ), anlegbar ist.
摘要翻译：它描述了一种高精度压力传感器，包括：第一基体（1）中，两个导电层（11，13）和所述两个层之间的（11，13）被布置，所述两个层（11，13）相互电绝缘的绝缘层（15），一个包括在所述第一基体（1）布置成与压力的压力腔室（9），将被测量（p，Δρ）可根据导电性测量膜片（5），和一个（在膜面层11被作用）提供（通过测量膜5）间隔开的电极（17），其与测量膜片一起（5）包括具有力响应于所述作用的电容器（到测量膜片5）印刷可变电容（C1）的形式，其特点是它具有通过它经由（5）的参考电势（U0）被施加在测量膜片的一测量膜片端口（23，23“），电极端子（25），一个Elektrodenpoten TiAl金属电极（17）的（E1）可以分接，和一屏蔽连接器（27，27“），通过从所述层背对所述膜（13）独立于所述参考电势（U0）预定的屏幕电位（UEI）尤指。一对应于筛选潜在（UEI）的电极电位（E1），可应用。

8. 发明申请

WO2015128112A1 BAUTEILANORDNUNG MIT MINDESTENS ZWEI BAUTEILEN UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER BAUTEILANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：至少有两个组件组件装置及其制造方法部件布置
公开(公告)号：WO2015128112A1
公开(公告)日：2015-09-03
申请号：PCT/EP2015/050790
申请日：2015-01-16
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： THAM, Anh Tuan , LEMKE, Benjamin , BRÄUER, Jörg , BESSER, Jan , WIEMER, Maik , GESSNER, Thomas
IPC分类号： B23K20/16
CPC分类号： G01L9/0044 , B23K20/165 , B23K2201/40 , B81B3/0021 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81C1/00269 , B81C2203/037
摘要： Eine Bauteilanordnung (1), umfasst: ein erstes Bauteil (10), welches eine erste Fügefläche (11) aufweist und ein zweites Bauteil (20), welches eine zweite Fügefläche (21) aufweist, wobei die erste Fügefläche (11) mit der zweiten Fügefläche (21) unter Verwendung eines integrierten reaktiven Materialsystems (30) mit einander verbunden ist, wobei das integrierte reaktiven Materialsystem mindestens eine Beschichtung mindestens einer der Fügeflächen (11) umfasst, wobei das integrierte reaktiven Materialsystem einen Aktivierungsbereich (33) auf einer Oberfläche umfasst, wobei der Aktivierungsbereich (33) außerhalb miteinander gefügter Bereiche der ersten bzw. zweiten Fügefläche angeordnet ist und an die miteinander gefügten Bereiche angrenzt.
摘要翻译： A组分装置（1），包括：具有一个第一接合面（11）和第二构件（20）具有一个第二接合面（21）的第一部件（10），所述第一与所述第二接合面（11）接合表面（21）是使用内置反应性材料系统（30）彼此其中所述集成反应性材料系统包括接合表面中的至少一个（11）的至少一个涂层连接，所述集成反应性材料系统包括表面上的激活区（33），其中，第一和第二紧固面的接合部以外的激活区（33）被布置成彼此之间以及在相邻区域连接在一起。

9. 发明申请

WO2014053350A2 DRUCKSENSOR MIT DECKSCHICHT 审中-公开
标题翻译：带覆盖层的压力传感器
公开(公告)号：WO2014053350A2
公开(公告)日：2014-04-10
申请号：PCT/EP2013/069763
申请日：2013-09-24
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： LEMKE, Benjamin , ZIERMANN, René , POBERING, Sebastian , RÖDER, Ralf
IPC分类号： G01L9/08
CPC分类号： G01L9/065 , G01L9/0042 , G01L9/0052 , G01L9/085
摘要： Die Erfindung betrifft einen Drucksensor (1) umfassend ein Substrat (2) mit ausgebildeter Messmembran (3) und eine elektrischleitfähige Deckschicht (4), welcheelektrische Kontakteelemente (5, 6, 7, 8) aufweist und gegenüber dem Substrat (2) durch eine Isolationsschicht (9) elektrisch isoliert ist. Die Deckschicht (4) ist dabei derartig strukturiert ist, dass in zwei voneinander elektrisch isolierten Bereichen (10,11) zwei unabhängige Messungen des jeweiligen Widerstands zwischen zwei Kontaktelementen (5, 6, 7, 8) möglich sind. Die Bereiche (10,11) der Deckschicht (4) dienen zu Abschirmung äusserer elektromagnetischer Einflüsse auf Sensorelemente (12,13) der Messmembran (3), zu Erkennung von Schäden an der Messmembran (3), sowie der genauen Temperaturbestimmung.
摘要翻译：
本发明涉及（1），其包含（2）具有形成测量薄膜的基板的压力传感器（3）和一个elektrischleitf BEAR通断覆盖层（4），该电接触元件（5，6，7，8）并通过绝缘层（9）与基板（2）电绝缘。所述覆盖层（4）是是这样构成的，在两个相互电绝缘的区域（10,11）两个可独立BEAR是可能的;所述两个接触元件之间的相应电阻的依赖性测量（5，6，7，8）M＆ouml。覆盖层的区域（10,11）（4）用于将屏蔽BEAR usserer电磁影响上的传感器元件的测量膜片（3）的导航使用SSE（12,13），以检测SCH BEAR在测量膜片（3），以及所述确切的温度测定。

10. 发明申请

WO2017182213A1 DIFFERENZDRUCKMESSZELLE 审中-公开
标题翻译：压力差测量CELL
公开(公告)号：WO2017182213A1
公开(公告)日：2017-10-26
申请号：PCT/EP2017/056568
申请日：2017-03-20
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： SIXTENSSON, Daniel , TEIPEN, Rafael , LEMKE, Benjamin , KOBER, Timo , UEHLIN, Thomas , PONATH, Nils
IPC分类号： G01L13/02 , G01L19/06
CPC分类号： G01L19/0618 , G01L13/025
摘要： Die Erfindung betrifft eine Differenzdruckmesszelle, wobei mindestens einer von zwei Gegenkörpern (41;42), zwischen denen eine Messmembran (2) druckdicht eingefasst ist, mit einem angrenzenden Stützkörper (51;52) unter Bildung einer hydraulischen Stützkammer (8) verbunden ist, wobei die hydraulische Stützkammer (8) eine Abstützung (81) mit Kontaktflächen (Fk) zwischen Gegenkörper (41;42) und Stützkörper (51;52) und einen zwischen der Abstützung (81) verlaufenden und mit der Messkammer (61;62) kommunizierenden Ausgleichskanal (82) aufweist, und wobei die hydraulische Stützkammer (8) so strukturiert ist, dass die Kontaktflächen (Fk) der Abstützung (81) und der Ausgleichskanal (82) gleichmäßig in der hydraulischen Stützkammer (8) verteilt angeordnet sind. Durch den Ausgleichskanal (82) der hydraulischen Stützkammer (8) wird der Druck (p1;p2) gleichmäßig verteilt. Durch die Abstützung (81) der hydraulischen Stützkammer (8) wird der Gegenkörper (41;42) am Stützkörper (51;52) abgestützt.
摘要翻译：
本发明涉及一种差动压力测量单元，其中，两个Gegenk＆OUML的至少一个; rpern（41; 42），其之间的测量膜片（2）被封闭在压力密封，与相邻的圣导航用途TZK＆OUML;主体（51; 52）以形成液压圣导航使用连接tzkammer（8），其中，所述液压圣导航用途tzkammer（8）分区：Abst导航使用估计（81）配有Kontaktfl＆AUML; Gegenk＆oUML之间陈（FK）;主体（41; 42）和St导航用途和在所述下降部（81）之间延伸且与所述测量室（61; 62）连通的补偿通道（82），并且其中所述液压蓄能室（8）凹部81与均衡流路82的接触面Fk均匀地分布在液压蓄能室8内。液压蓄能室（8）的均衡通道（82）均匀地分配压力（p1; p2）。通过液压蓄能室（8）的突出部（81），配重体（41; 42）在短体（51; 52）上松弛，

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