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    • 3. 发明申请
    • BAUELEMENT MIT EINER MIKROMECHANISCHEN MIKROFONSTRUKTUR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
    • 用微机械麦克风结构和方法为组件
    • WO2010139498A1
    • 2010-12-09
    • PCT/EP2010/054583
    • 2010-04-07
    • ROBERT BOSCH GMBHREICHENBACH, FrankBUCK, ThomasZOELLIN, JochenLAERMER, FranzSCHOLZ, UlrikeTEEFFELEN, KathrinLEINENBACH, Christina
    • REICHENBACH, FrankBUCK, ThomasZOELLIN, JochenLAERMER, FranzSCHOLZ, UlrikeTEEFFELEN, KathrinLEINENBACH, Christina
    • H04R19/00B81C1/00
    • H04R19/005Y10T428/31663
    • Es werden ein Bauelement mit einer stabilen aber akustisch empfindlichen Mikrofonstruktur vorgeschlagen sowie und ein einfaches und kostengünstiges Verfahren zu dessen Herstellung. Dieses Mikrofonbauelement umfasst eine akustisch aktive Membran (11), die als auslenkbare Elektrode eines Mikrofonkondensators fungiert, ein feststehendes akustisch durchlässiges Gegenelement (12), das als Gegenelektrode des Mikrofonkondensators fungiert, und Mittel zum Erfassen und Auswerten der Kapazitätsänderungen des Mikrofonkondensators. Die Membran (11) ist in einer Membranschicht (3) über dem Halbleitersubstrat (1) des Bauelements realisiert und überspannt eine Schallöffnung (13) in der Substratrückseite. Das Gegenelement (12) ist in einer weiteren Schicht (5) über der Membran (11) ausgebildet. Erfindungsgemäß erstreckt sich diese weitere Schicht (5) im wesentlichen über die gesamte Bauelementfläche und gleicht Niveauunterschiede aus, so dass die gesamte Bauelementoberfläche entsprechend dieser weiteren Schicht (5) weitgehend eben ist. Dadurch kann eine Folie auf den Schichtaufbau der im Waferverbund freigelegten Mikrofonstrukturen aufgebracht werden, die die Vereinzelung der erfindungsgemäßen Bauelemente in einem Standard-Sägeprozess ermöglicht.
    • 它提出了一个稳定的,但声音敏感的麦克风的结构以及和用于生产其的简单且成本有效的方法的部件。 该话筒装置包括声学活性膜(11),其充当麦克风电容器的偏转电极,固定声透射反元件(12),其充当麦克风电容器的对电极的装置,以及用于检测和评估在麦克风电容器的电容的变化。 所述膜(11)在部件(1)在半导体衬底上的膜层(3)被实现,并跨越在基板后侧的声音开口(13)。 所述计数元件(12)形成在在所述膜(11)进一步的层(5)。 根据本发明,该另外的层(5)基本上在整个器件表面延伸,并且补偿在水平的差异,从而使整个装置的表面是根据该进一步的层(5)是基本平坦的。 从而可应用于在晶片复合麦克风结构露出的层结构,膜,其允许根据本发明在一个标准的锯切过程中各组分的分离。
    • 7. 发明申请
    • PASSIVES VENTIL, MIKROPUMPE UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES PASSIVEN VENTILS
    • WO2019072467A1
    • 2019-04-18
    • PCT/EP2018/074280
    • 2018-09-10
    • ROBERT BOSCH GMBH
    • KASSEL, JulianSCHOLZ, UlrikeEHRENPFORDT, Ricardo
    • F04B43/04F04B53/10
    • F04B43/043F04B53/106F04B53/1087
    • Die Erfindung betrifft ein passives Ventil (100), wobei das passive Ventil (100) eine Trägerschicht (101), eine Ventilstruktur (102) und eine Ventilsitzstruktur (103) umfasst, ∙ wobei die Trägerschicht (101) auf einer ersten Seite (1010) der Trägerschicht (101) eine erste Öffnung (104) aufweist, ∙ wobei in einem Kontaktbereich (1020) der Ventilstruktur (102), zwischen der Ventilstruktur (102) und der ersten Seite (1010) der Trägerschicht (101), die Ventilsitzstruktur (103) angeordnet ist, ∙ wobei die Ventilsitzstruktur (103) die erste Öffnung (104) umrahmt, und ∙ wobei die Ventilstruktur (102) dazu eingerichtet ist, in Abhängigkeit einer auf die Ventilstruktur (102) wirkenden Druckdifferenz die erste Öffnung (104) freizugeben, wobei beim Freigeben zumindest ein Teil des Kontaktbereichs (1020) der Ventilstruktur (102) von der Ventilsitzstruktur (103) beabstandet vorliegt,oder die erste Öffnung (104) zu verschließen, wobei beim Verschließen der Kontaktbereich (1020) der Ventilstruktur (102) auf der Ventilsitzstruktur (103) aufliegt, wobei die Ventilstruktur (102) als Membranschicht (106) ausgebildet ist, wobei zwischen der Membranschicht (106) und der Trägerschicht (101) zumindest teilweise eine Verbindungsschicht (107) angeordnet ist, wobei die Ventilsitzstruktur (103) und die erste Öffnung (104) in der Verbindungsschicht (107) ausgespart sind, und ∙ die Membranschicht (106) im Kontaktbereich (1020) eine zweite Öffnung (105) aufweist.