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    • 9. 发明申请
    • 流体制御装置
    • WO2022014121A1
    • 2022-01-20
    • PCT/JP2021/016807
    • 2021-04-27
    • 株式会社村田製作所
    • 田中 伸拓
    • F16K15/14F04B43/04F04B45/047
    • 流体制御装置(10)は、第1平板(21)、第1平板(21)の外周端(210)よりも外側に開口(241、242)を介して配置された枠体(22)と、第1平板(21)と枠体(22)とを連結する連結部材(23)と、第1平板(21)と対向する部分に貫通孔(400)を有する板部材(40)と、流体を整流する弁部材(60)と、を備える。弁部材(60)の外端(610)は、第1平板(21)の外周端(210)よりも外方に突出している。弁部材(60)は、第1平板(21)の中心側にある内端側が第1平板(21)に固定され、外端(610)が固定されていない。弁部材(60)は、外端側の第1部分と、第1部分の内端側の第2部分と、を有する。第2部分の厚みは、第1部分の厚みよりも厚い。平面視において、第2部分は、第1平板(21)の外周端(210)に重なっている。