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    • 3. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM SCHÄTZEN EINER REIBKENNZAHL
    • 方法和设备,用于估计摩擦系数
    • WO2008061852A1
    • 2008-05-29
    • PCT/EP2007/061276
    • 2007-10-22
    • SIEMENS VDO AUTOMOTIVE AGBIAN, NingGAMULESCU, CelineMAYER, AndreasFIEDLER, Jens
    • BIAN, NingGAMULESCU, CelineMAYER, AndreasFIEDLER, Jens
    • B60T8/172
    • B60T8/172B60T2210/12B60T2230/02
    • Eine Reibkennzahl zwischen mindestens einem Reifen eines Fahrzeugs und einer Fahrbahn wird rekursiv geschätzt. Dazu wird ein Schräglaufwinkel erfasst oder ermittelt. Ein lateraler Reibwert wird mittels eines Modells ermittelt, in dem ein funktionaler Zusammenhang zwischen dem lateralen Reibwert und dem Schräglaufwinkel derart vorgegeben ist, dass ein nichtlinearer Verlauf des lateralen Reibwerts in Bezug auf den Schräglaufwinkel abhängig ist von einer Anfangssteigung des lateralen Reibwerts in Bezug auf den Schräglaufwinkel und von einem rekursiv ermittelten Schätzwert der Reibkennzahl. Die Anfangssteigung ist im Wesentlichen unabhängig vom rekursiv ermittelten Schätzwert der Reibkennzahl vorgegeben. Ferner wird eine fahrdynamische Messgröße des Fahrzeugs erfasst. Abhängig vom lateralen Reibwert wird eine der fahrdynamischen Messgröße entsprechende fahrdynamische Modellgröße ermittelt. Ferner wird eine Abweichung zwischen der fahrdynamischen Messgröße und der fahrdynamischen Modellgröße ermittelt. Die Rekursion beim Ermitteln des Schätzwerts der Reibkennzahl umfasst, dass dieser abhängig von der ermittelten Abweichung angepasst wird.
    • 的车辆的至少一个轮胎与路面之间的摩擦系数被递归估计。 为了这个目的,一个倾斜角检测或确定。 横向摩擦系数使用其中的横向摩擦值和所述滑移角之间的函数关系是预定的,使得横向摩擦值的非线性曲线取决于相对于从摩擦的横向系数的初始斜率的倾斜角相对于所述歪斜角的模型来计算 和一个递归确定的估计值的摩擦系数。 初始斜率所决定基本上独立于递归地确定的估计值的摩擦系数的。 此外,当检测到车辆的驱动动力学度量。 根据驱动动态测量变量的横向摩擦之一被确定的适当的车辆动态模型的大小。 此外,驱动动力之间的偏差测量变量和驱动动力学模型变量被确定。 确定摩擦系数的估计值时,递归包括,它是根据所确定的偏差调整。
    • 6. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR PRÜFUNG ELEKTRONISCHER BAUELEMENTE EINER WIEDERHOLSTRUKTUR UNTER DEFINIERTEN THERMISCHEN BEDINGUNGEN
    • 测试程序定义的热条件下的重复图形电子元件
    • WO2010031685A1
    • 2010-03-25
    • PCT/EP2009/061274
    • 2009-09-01
    • SUSS MICROTEC TEST SYSTEMS GMBHKANEV, StojanFEHRMANN, FrankFIEDLER, JensHACKIUS, UlfDIETRICH, ClausKIESEWETTER, Jörg
    • KANEV, StojanFEHRMANN, FrankFIEDLER, JensHACKIUS, UlfDIETRICH, ClausKIESEWETTER, Jörg
    • G01R1/073G01R31/28
    • G01R31/319G01R1/07392G01R31/2891
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Prüfung mehrerer elektronischer Bauelemente (1) einer Wiederholstruktur unter definierten thermischen Bedingungen in einem Prober, der einen Chuck (10) zur Aufnahme der Bauelemente (1) und Sondenhalterungen (15) zur Aufnahme einzelner Sonden (12) aufweist. Zur Prüfung werden die Bauelemente (1) auf eine definierte Temperatur eingestellt, die Sonden (12) und ein erstes elektronisches Bauelement (1) mittels zumindest einer Positionierungseinrichtung relativ zueinander positioniert, nachfolgend Kontaktinseln (3) des elektronischen Bauelements (1) durch die Sonden (12) kontaktiert, so dass das Bauelement (1) geprüft und anschließend die Positionierung sowie die Kontaktierung für die Prüfung eines weiteren Bauelements (1) der Wiederholstruktur wiederholt werden kann. Um unter Verwendung von Einzelsonden die Prüfzeit für Messungen bei wechselnden Temperaturen und bei Gewährleistung einer sicheren Kontaktierung der Bauelemente zu verkürzen, erfolgt die Positionierung und Kontaktierung eines Bauelements (1), indem zunächst ein erster Positionierungsschritt, der alle Sonden (12) gemeinsam betrifft, in eine Zwischenposition ausgeführt wird, in dessen Ergebnis das Bauelement (1) mit einem definierten Abstand unter den Sondenspitzen (13) steht, nachfolgend die Lage jeder einzelnen Sondenspitze (13) mittels separater Manipulatoren zur Lage der entsprechenden, mit der jeweiligen Sondenspitze (13) zu kontaktierenden Kontaktinsel (3) des Bauelements (1) korrigiert wird, so dass jede Sondespitze (13) über einer Kontaktinsel (3) steht, und weiter nachfolgend die Sondenspitzen (13) mittels einer Zustellbewegung mit den Kontaktinseln (3) in Kontakt gebracht werden.
    • 本发明涉及一种方法,用于在探测器定义的热条件下测试的多个电子部件(1)的重复图案,其包括卡盘(10),用于接收所述组分(1)和探头支架(15),用于接收各个探针(12)。 为了测试设备(1)被设定为规定的温度,所述探针(12)和第一电子元件(1)由至少一个定位装置位于相的手段彼此低于探针的电子部件(1)的接触垫(3)( 12)接触,使得所述组分(1)被选中,然后定位和重复图案的另一部件(1)的测试接触可以被重复。 为了缩短测试时间为在不同的温度和确保与使用单独的探针的部件的可靠的接触测量,是通过首先在第一定位步骤包括所有的探针(12)的一起实现一个部件(1)的定位和连接,在 的中间位置处进行的,是在上述成分(1)的结果,在每个探针尖端(13)的位置的下方的探针尖端(13)由单独的操纵器上的对应于各探针尖端(13)的情况定义的距离,以 被接触元件(1)的垫(3)进行校正,使得每个探针尖端(13)上的接触垫(3),并在下面进一步通过与接触垫(3)的进料的装置的探头端部(13)相接触。
    • 9. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR INSPEKTION VON STRUKTUREN VON TESTSUBSTRATEN
    • 方法的验测基板其它结构的
    • WO2011091894A1
    • 2011-08-04
    • PCT/EP2010/068996
    • 2010-12-06
    • CASCADE MICROTECH DRESDEN GMBHTEICH, MichaelFEHRMANN, FrankTHÄRIGEN, ThomasFIEDLER, JensHACKIUS, Ulf
    • TEICH, MichaelFEHRMANN, FrankTHÄRIGEN, ThomasFIEDLER, JensHACKIUS, Ulf
    • G01B11/00G01N21/88G06T7/00G01R31/28
    • G06T7/001G01B2210/52G01N21/956G01N2021/8864G01R31/2891G06T2207/10056G06T2207/30148
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Inspektion von Testsubstraten in einem Prober, welcher einen Chuck zur Aufnahme des Testsubstrats (2), eine Inspektionseinheit mit einer Kamera zur Inspektion des Testsubstrats (2), eine Bewegungsvorrichtung zur Bewegung des Chucks und/oder der Inspektionseinheit, eine Steuereinheit zur Steuerung der Bewegungsvorrichtung und eine Anzeige zur Darstellung eines mittels der Kamera aufgenommenen Bildes aufweist. Zur Inspektion wird ein Übersichtsbild (1) erzeugt vom Testsubstrat (2), indem eine Mehrzahl von Einzelbildern (4) in verschiedenen Positionen des Testsubstrats (2) aufgenommen und auf der Anzeige zum Übersichtsbild (1) zusammengefügt werden. Jedes Einzelbild (4) wird zusammen mit den Koordinaten der Position, in der es aufgenommen wurde, gespeichert. Zur Navigation auf dem Testsubstrat wird ein Einzelbild (4) im Übersichtsbild (1) ausgewählt, worauf eine mit dem Einzelbild (4) verknüpfte Position mittels der Bewegungsvorrichtung angefahren und dort eine Abbildung des dann im Sichtfeld (6) der Inspektionseinheit befindlichen Ausschnitts des Testsubstrats (2) erzeugt wird.
    • 本发明涉及一种用于测试衬底的在一个探测器,包括一卡盘,用于接收所述测试衬底(2),检查单元具有照相机,用于测试基板(2)的检查的检查方法,用于移动所述卡盘和/或检查单元的移动装置, 用于控制所述运动装置和用于由照相机显示捕捉的图像的显示的控制单元。 进行检查,从测试衬底中产生的概览图像(1)(2)都通过将多个(4)在测试衬底的不同位置(2)和显示到概览屏幕(1)上连接在一起的帧。 每个帧(4)与在其被记录的位置的坐标一起存储。 对于测试衬底上的导航(4)的概览图像(1)中被选择的帧,接着是帧(4)连接的位置是由所述移动设备的装置接触,而且那里的然后在视场的照片(6)下的试验基板的截面的检查单元的( 2)被生成。