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1. 发明申请

WO2011091894A1 VERFAHREN ZUR INSPEKTION VON STRUKTUREN VON TESTSUBSTRATEN 审中-公开
标题翻译：方法的验测基板其它结构的
公开(公告)号：WO2011091894A1
公开(公告)日：2011-08-04
申请号：PCT/EP2010/068996
申请日：2010-12-06
申请人： CASCADE MICROTECH DRESDEN GMBH , TEICH, Michael , FEHRMANN, Frank , THÄRIGEN, Thomas , FIEDLER, Jens , HACKIUS, Ulf
发明人： TEICH, Michael , FEHRMANN, Frank , THÄRIGEN, Thomas , FIEDLER, Jens , HACKIUS, Ulf
IPC分类号： G01B11/00 , G01N21/88 , G06T7/00 , G01R31/28
CPC分类号： G06T7/001 , G01B2210/52 , G01N21/956 , G01N2021/8864 , G01R31/2891 , G06T2207/10056 , G06T2207/30148
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Inspektion von Testsubstraten in einem Prober, welcher einen Chuck zur Aufnahme des Testsubstrats (2), eine Inspektionseinheit mit einer Kamera zur Inspektion des Testsubstrats (2), eine Bewegungsvorrichtung zur Bewegung des Chucks und/oder der Inspektionseinheit, eine Steuereinheit zur Steuerung der Bewegungsvorrichtung und eine Anzeige zur Darstellung eines mittels der Kamera aufgenommenen Bildes aufweist. Zur Inspektion wird ein Übersichtsbild (1) erzeugt vom Testsubstrat (2), indem eine Mehrzahl von Einzelbildern (4) in verschiedenen Positionen des Testsubstrats (2) aufgenommen und auf der Anzeige zum Übersichtsbild (1) zusammengefügt werden. Jedes Einzelbild (4) wird zusammen mit den Koordinaten der Position, in der es aufgenommen wurde, gespeichert. Zur Navigation auf dem Testsubstrat wird ein Einzelbild (4) im Übersichtsbild (1) ausgewählt, worauf eine mit dem Einzelbild (4) verknüpfte Position mittels der Bewegungsvorrichtung angefahren und dort eine Abbildung des dann im Sichtfeld (6) der Inspektionseinheit befindlichen Ausschnitts des Testsubstrats (2) erzeugt wird.
摘要翻译：本发明涉及一种用于测试衬底的在一个探测器，包括一卡盘，用于接收所述测试衬底（2），检查单元具有照相机，用于测试基板（2）的检查的检查方法，用于移动所述卡盘和/或检查单元的移动装置，用于控制所述运动装置和用于由照相机显示捕捉的图像的显示的控制单元。进行检查，从测试衬底中产生的概览图像（1）（2）都通过将多个（4）在测试衬底的不同位置（2）和显示到概览屏幕（1）上连接在一起的帧。每个帧（4）与在其被记录的位置的坐标一起存储。对于测试衬底上的导航（4）的概览图像（1）中被选择的帧，接着是帧（4）连接的位置是由所述移动设备的装置接触，而且那里的然后在视场的照片（6）下的试验基板的截面的检查单元的（ 2）被生成。

2. 发明申请

WO2010028914A1 VERFAHREN ZUR PRÜFUNG EINES TESTSUBSTRATS IN EINEM PROBER UNTER DEFINIERTEN THERMISCHEN BEDINGUNGEN 审中-公开
标题翻译： FOR到探测器中，下一个测试基板测试过程中定义的热条件
公开(公告)号：WO2010028914A1
公开(公告)日：2010-03-18
申请号：PCT/EP2009/059962
申请日：2009-07-31
申请人： SUSS MICROTEC TEST SYSTEMS GMBH , TEICH, Michael , KANEV, Stojan , FLEISCHER, Hans-Jürgen
发明人： TEICH, Michael , KANEV, Stojan , FLEISCHER, Hans-Jürgen
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R1/0408 , G01R31/2855 , G01R31/2874 , G01R31/2875 , G01R31/2886
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Prüfen oder Testen von Testsubstraten (7) in einem Prober unter definierten thermischen Bedingungen. Eine solche, dem Fachmann als Prober bekannte Prüfvorrichtung weist ein Gehäuse mit zumindest zwei Gehäuseabschnitten auf, in dessen einen Gehäuseabschnitt das zu prüfende Testsubstrat (7) durch einen Chuck (5) gehalten und auf eine definierte Temperatur eingestellt wird und in dessen anderem Gehäuseabschnitt, der Sondenkammer (3), Sonden (23) gehalten werden. Zur Prüfung werden das Testsubstrat (7) und die Sonden (23) mittels zumindest einer Positionierungseinrichtung relativ zueinander positioniert und nachfolgend das Testsubstrat (7) durch die Sonden (23) kontaktiert. Zur Stabilisierung der thermischen Bedingungen während der Prüfung werden die Sonden (23) mittels einer temperierten Gasströmung (11), welche die Sondenkammer (3) durchströmt, auf eine von der Temperatur des Testsubstrats (7) unabhängige Temperatur eingestellt und diese Temperatur gehalten wird.
摘要翻译：本发明涉及一种方法和用于检查或定义的热条件下，在探测器的测试底物（7）的测试的装置。这种已知的本领域技术人员作为探针测试装置包括具有至少两个壳体部分的壳体，在其中以通过卡盘（5）待测试的壳体区段测试基板（7）被保持并设定为规定的温度并在其另一外壳部探针室（3），探针（23）被保持。为了进行测试，将测试基板（7）并通过至少一个定位装置的装置的探针（23）相对于彼此定位成，并且随后测试基板（7）由所述探针（23）接触。为了通过温度受控的气体流（11）流过探针室（3）的装置稳定在测试探针（23）的热条件可以调节与温度无关，以测试底物（7）的温度和该温度被维持。

3. 发明申请

WO2009050038A1 VERFAHREN ZUR PRÜFUNG EINES TESTSUBSTRATS UNTER DEFINIERTEN THERMISCHEN BEDINGUNGEN UND THERMISCH KONDITIONIERBARER PROBER 审中-公开
标题翻译：测试程序测试基板限定热条件和热conditionable PROBER下
公开(公告)号：WO2009050038A1
公开(公告)日：2009-04-23
申请号：PCT/EP2008/063154
申请日：2008-10-01
申请人： SUSS MICROTEC TEST SYSTEMS GMBH , KIESEWETTER, Jörg , KANEV, Stojan , TEICH, Michael , STOLL, Karsten , SCHMIDT, Axel
发明人： KIESEWETTER, Jörg , KANEV, Stojan , TEICH, Michael , STOLL, Karsten , SCHMIDT, Axel
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/2891 , G01R31/2874
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Prüfung eines Testsubstrats (1) unter definierten thermischen Bedingungen, wobei das zu prüfende Testsubstrat (1) durch einen temperierbaren Chuck (2) gehalten und auf eine definierte Temperatur eingestellt wird, das Testsubstrat (1) mittels zumindest einer Positionierungseinrichtung (3, 4, 5, 6, 7, 8) relativ zu Prüfsonden (32) positioniert und durch die Prüfsonden (32) zur Prüfung kontaktiert wird. Es wird vorgeschlagen, zumindest eine in der Umgebung des temperierten Testsubstrats (1) befindliche Komponente der Positionierungseinrichtung (3, 4, 5, 6, 7, 8) mittels einer Temperiereinrichtung (20, 27, 28) auf eine von der Temperatur des Testsubstrats (1) unabhängige Temperatur einzustellen und diese Temperatur konstant zu halten.
摘要翻译：本发明涉及一种方法和定义的热条件下测试的测试基板（1）的装置，其中所述测试基板（1）由（2）保持，并调整到规定温度的温度控制的卡盘进行测试，测试基板（1）的手段至少一个定位装置（3，4，5，6，7，8）相对于测试探针（32）定位在由探针接触（32），用于检查。据的至少一个在位于所述定位装置的温度测试基板组件（1）的附近（3，4，5，6，7，8）通过回火设备的装置提出了（20，27，28）与一个（在测试衬底的温度设置1）独立的温度并保持该温度恒定。

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