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1. 发明申请

WO2011091894A1 VERFAHREN ZUR INSPEKTION VON STRUKTUREN VON TESTSUBSTRATEN 审中-公开
标题翻译：方法的验测基板其它结构的
公开(公告)号：WO2011091894A1
公开(公告)日：2011-08-04
申请号：PCT/EP2010/068996
申请日：2010-12-06
申请人： CASCADE MICROTECH DRESDEN GMBH , TEICH, Michael , FEHRMANN, Frank , THÄRIGEN, Thomas , FIEDLER, Jens , HACKIUS, Ulf
发明人： TEICH, Michael , FEHRMANN, Frank , THÄRIGEN, Thomas , FIEDLER, Jens , HACKIUS, Ulf
IPC分类号： G01B11/00 , G01N21/88 , G06T7/00 , G01R31/28
CPC分类号： G06T7/001 , G01B2210/52 , G01N21/956 , G01N2021/8864 , G01R31/2891 , G06T2207/10056 , G06T2207/30148
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Inspektion von Testsubstraten in einem Prober, welcher einen Chuck zur Aufnahme des Testsubstrats (2), eine Inspektionseinheit mit einer Kamera zur Inspektion des Testsubstrats (2), eine Bewegungsvorrichtung zur Bewegung des Chucks und/oder der Inspektionseinheit, eine Steuereinheit zur Steuerung der Bewegungsvorrichtung und eine Anzeige zur Darstellung eines mittels der Kamera aufgenommenen Bildes aufweist. Zur Inspektion wird ein Übersichtsbild (1) erzeugt vom Testsubstrat (2), indem eine Mehrzahl von Einzelbildern (4) in verschiedenen Positionen des Testsubstrats (2) aufgenommen und auf der Anzeige zum Übersichtsbild (1) zusammengefügt werden. Jedes Einzelbild (4) wird zusammen mit den Koordinaten der Position, in der es aufgenommen wurde, gespeichert. Zur Navigation auf dem Testsubstrat wird ein Einzelbild (4) im Übersichtsbild (1) ausgewählt, worauf eine mit dem Einzelbild (4) verknüpfte Position mittels der Bewegungsvorrichtung angefahren und dort eine Abbildung des dann im Sichtfeld (6) der Inspektionseinheit befindlichen Ausschnitts des Testsubstrats (2) erzeugt wird.
摘要翻译：本发明涉及一种用于测试衬底的在一个探测器，包括一卡盘，用于接收所述测试衬底（2），检查单元具有照相机，用于测试基板（2）的检查的检查方法，用于移动所述卡盘和/或检查单元的移动装置，用于控制所述运动装置和用于由照相机显示捕捉的图像的显示的控制单元。进行检查，从测试衬底中产生的概览图像（1）（2）都通过将多个（4）在测试衬底的不同位置（2）和显示到概览屏幕（1）上连接在一起的帧。每个帧（4）与在其被记录的位置的坐标一起存储。对于测试衬底上的导航（4）的概览图像（1）中被选择的帧，接着是帧（4）连接的位置是由所述移动设备的装置接触，而且那里的然后在视场的照片（6）下的试验基板的截面的检查单元的（ 2）被生成。

2. 发明申请

WO2010081617A1 CHUCK UND VERFAHREN ZUR AUFNAHME UND HALTERUNG DÜNNER TESTSUBSTRATE 审中-公开
标题翻译： Chuck和方法进行记录和支持精简测试底板
公开(公告)号：WO2010081617A1
公开(公告)日：2010-07-22
申请号：PCT/EP2009/067713
申请日：2009-12-22
申请人： SUSS MICROTEC TEST SYSTEMS GMBH , THÄRIGEN, Thomas , STOLL, Karsten , KANEV, Stojan , DIETRICH, Claus , KIESEWETTER, Jörg
发明人： THÄRIGEN, Thomas , STOLL, Karsten , KANEV, Stojan , DIETRICH, Claus , KIESEWETTER, Jörg
IPC分类号： H01L21/687 , G01R31/28
CPC分类号： H01L21/68735 , G01R31/2886 , H01L21/68721 , H01L21/68728
摘要： Die Erfindung betrifft einen Chuck (1) zur Aufnahme und Halterung von dünnen Testsubstraten (2) und einen Prober, welcher einen solchen Chuck verwendet. Der Chuck (1) umfasst eine konvex gekrümmte Auflagefläche (5), auf welcher ein Testsubstrat (2) auflegbar ist, und Haltemitteln im Randbereich der Auflagefläche (5) zur Befestigung eines aufgelegten Testsubstrats (2) sowie eine umlaufende Vertiefung (25) in diesem Randbereich. Die Erfindung betrifft ebenfalls ein Verfahren zur Messung eines dünnen Testsubstrats (2) mittels Kontaktspitzen (11), bei welchem nach der Positionierung von Testsubstrat (2) und Kontaktspitzen (11) relativ zueinander die konvexe Krümmung der Auflagefläche (20) für die Herstellung des Kontakts zwischen den Kontaktspitzen (11) und den Kontaktinseln des Testsubstrats (2) rechnerisch und/oder durch Messung der Krümmung berücksichtigt wird.
摘要翻译：本发明涉及一种卡盘（1）用于接收和保持薄测试衬底（2）和探测器，它使用这样的卡盘。卡盘（1）包括一个凸出弯曲的支撑面（5）在其上的测试基板（2）可以被放置，并且保持装置在所述支承表面（5）的边缘区域用于附接到物体置于试验衬底（2）和在该周向凹槽（25）边境地区。本发明还涉及测量由接触点装置的薄测试基板（2）（11）的方法，其中所述测试基板（2）和接触点（11）相对于彼此的定位之后，所述接触表面（20）的用于生产接触的凸曲率的接触点（11）和所述测试衬底（2）的接触垫之间被构造和/或通过测量所述曲率考虑。

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