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    • 1. 发明专利
    • 體聲波結構、體聲波裝置及其製造方法
    • 体声波结构、体声波设备及其制造方法
    • TW202011692A
    • 2020-03-16
    • TW107131208
    • 2018-09-05
    • 立積電子股份有限公司RICHWAVE TECHNOLOGY CORP.
    • 劉慈祥LIOU, TSYR SHYANG
    • H03H9/15H03H3/08H03H3/02
    • 一種體聲波結構包括單晶壓電材料層、第一電極、第二電極與聲波反射器。第一與第二電極分別位於單晶壓電材料層的第一表面與第二表面。第二電極的面積大於或等於單晶壓電材料層的第二表面的面積,且單晶壓電材料層與第二電極的接觸面積等於單晶壓電材料層的第二表面的面積。聲波反射器則是設置於第一電極的表面。一種體聲波裝置包括上述體聲波結構、凸塊、承載器以及封裝體。凸塊設置於體聲波結構之下,並分別電性連接第一與第二電極。承載器則藉由凸塊分別電性連接至所述第一與第二電極。封裝體係位於承載器上並包覆上述體聲波結構。
    • 一种体声波结构包括单晶压电材料层、第一电极、第二电极与声波反射器。第一与第二电极分别位於单晶压电材料层的第一表面与第二表面。第二电极的面积大于或等於单晶压电材料层的第二表面的面积,且单晶压电材料层与第二电极的接触面积等於单晶压电材料层的第二表面的面积。声波反射器则是设置于第一电极的表面。一种体声波设备包括上述体声波结构、凸块、承载器以及封装体。凸块设置于体声波结构之下,并分别电性连接第一与第二电极。承载器则借由凸块分别电性连接至所述第一与第二电极。封装体系位于承载器上并包复上述体声波结构。