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    • 7. 发明专利
    • 感放射線性組成物及圖案形成方法
    • 感放射线性组成物及图案形成方法
    • TW201809098A
    • 2018-03-16
    • TW106117288
    • 2017-05-25
    • JSR股份有限公司JSR CORPORATION
    • 白谷宗大SHIRATANI, MOTOHIRO
    • C08K3/22G03F7/004G03F7/038G03F7/039G03F7/20G03F7/32H01L21/027
    • C01G19/02C01G23/053C01G25/02C01G27/02C01G35/00C01G41/02G03F7/004G03F7/038G03F7/039G03F7/20
    • 本發明的目的在於提供一種保存穩定性優異、且抑制了LWR性能、解析性及感度的經時降低的感放射線性組成物。本發明為一種感放射線性組成物,其含有:粒子,以金屬氧化物為主成分;凝聚抑制劑,抑制所述粒子的凝聚;以及有機溶媒。所述凝聚抑制劑較佳為具有脫水能力的化合物。所述具有脫水能力的化合物較佳為羧酸酐、原羧酸酯、羧酸鹵化物或該些的組合。所述凝聚抑制劑亦較佳為可配位於金屬原子的化合物。所述化合物較佳為由下述式(1)所表示。下述式(1)中,R1為n價有機基。X為-OH、-COOH、-NCO、-NHRa、-COORA或-CO-C(RL)2-CO-RA。n為1~4的整數。相對於所述粒子100質量份的所述凝聚抑制劑的含量較佳為0.001質量份以上。
    • 本发明的目的在于提供一种保存稳定性优异、且抑制了LWR性能、解析性及感度的经时降低的感放射线性组成物。本发明为一种感放射线性组成物,其含有:粒子,以金属氧化物为主成分;凝聚抑制剂,抑制所述粒子的凝聚;以及有机溶媒。所述凝聚抑制剂较佳为具有脱水能力的化合物。所述具有脱水能力的化合物较佳为羧酸酐、原羧酸酯、羧酸卤化物或该些的组合。所述凝聚抑制剂亦较佳为可配位于金属原子的化合物。所述化合物较佳为由下述式(1)所表示。下述式(1)中,R1为n价有机基。X为-OH、-COOH、-NCO、-NHRa、-COORA或-CO-C(RL)2-CO-RA。n为1~4的整数。相对于所述粒子100质量份的所述凝聚抑制剂的含量较佳为0.001质量份以上。