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1. 发明专利

TWI538885B 熱分解氮化硼被覆碳及使用其的碳加熱器有权
简体标题：热分解氮化硼被覆碳及使用其的碳加热器
公开(公告)号：TWI538885B
公开(公告)日：2016-06-21
申请号：TW104117883
申请日：2015-06-03
申请人：信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：加藤公二 , KATO, KOJI , 山村和市 , YAMAMURA, WAICHI
IPC分类号： C01B35/08 , H05B3/14
CPC分类号： H05B3/42 , H05B3/145 , Y10T428/24942 , Y10T428/30

2. 发明专利

TW201722197A 碳加熱器以及碳加熱器的製造方法审中-公开
简体标题：碳加热器以及碳加热器的制造方法
公开(公告)号：TW201722197A
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：TW105139645
申请日：2016-12-01
申请人：信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：山村和市 , YAMAMURA, WAICHI , 加藤公二 , KATO, KOJI , 狩野正樹 , KANO, SHOJI
IPC分类号： H05B3/14 , C01B31/04 , C01B35/08
摘要：本發明的目的在於提供一種具有準確的電阻值、發熱分佈均勻且長壽命的碳加熱器及其製造方法。本發明是一種包含電阻率實質上具有2D正交各向異性的碳基材、且主發熱部為大致圓筒形狀或大致圓盤形狀的碳加熱器，並且其特徵在於：碳加熱器中心軸方向與碳基材的電阻率的各向異性方向實質上一致。另外，本發明是一種主發熱部為具有旋轉對稱性或螺旋對稱性的形狀的碳加熱器，並且其特徵在於：碳加熱器形狀的旋轉軸方向或螺旋軸方向與碳基材的電阻率的各向異性方向實質上一致。
简体摘要：本发明的目的在于提供一种具有准确的电阻值、发热分布均匀且长寿命的碳加热器及其制造方法。本发明是一种包含电阻率实质上具有2D正交各向异性的碳基材、且主发热部为大致圆筒形状或大致圆盘形状的碳加热器，并且其特征在于：碳加热器中心轴方向与碳基材的电阻率的各向异性方向实质上一致。另外，本发明是一种主发热部为具有旋转对称性或螺旋对称性的形状的碳加热器，并且其特征在于：碳加热器形状的旋转轴方向或螺旋轴方向与碳基材的电阻率的各向异性方向实质上一致。

3. 发明专利

TW201722074A 接合基板及其製造方法與使用了此接合基板的表面聲波裝置审中-公开
简体标题：接合基板及其制造方法与使用了此接合基板的表面声波设备
公开(公告)号：TW201722074A
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：TW105130380
申请日：2016-09-21
申请人：信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：丹野雅行 , TANNO, MASAYUKI , 加藤公二 , KATO, KOJI , 桑原由則 , KUWABARA, YOSHINORI
IPC分类号： H03H9/25
CPC分类号： H03H9/25
摘要：本發明的目的在於提供一種溫度特性優良，抑制了在接合界面的彈性波的反射造成的不需要的響應的Q大，翹曲小的接合基板。本發明的特徵為在於，將LiTaO3基板和基礎基板接合而構成，該LiTaO3基板的和基礎基板結合的接合面上的Li濃度比該接合基板的LiTaO3基板側表面的Li濃度還要大。另外，LiTaO3基板的和基礎基板結合的接合面上的Li濃度和所述接合基板的LiTaO3基板側表面的Li濃度的差為0.1mol%以上為優選。進一步，LiTaO3基板的和基礎基板結合的接合面上的Li濃度為Li/(Li+Ta)×100=(50+α)mol%，α為-1.2＜α＜0.5的範圍，接合基板的LiTaO3基板側表面的Li濃度為Li/(Li+Ta)×100=(48.5+β)mol%，β為-0.5＜β＜0.5的範圍，從LiTaO3基板和基礎基板的接合界面到LiTaO3基板側的表面的厚度比表面聲波或者洩露表面聲波的波長的5倍還要大，但是比20倍要小為優選。
简体摘要：本发明的目的在于提供一种温度特性优良，抑制了在接合界面的弹性波的反射造成的不需要的响应的Q大，翘曲小的接合基板。本发明的特征为在于，将LiTaO3基板和基础基板接合而构成，该LiTaO3基板的和基础基板结合的接合面上的Li浓度比该接合基板的LiTaO3基板侧表面的Li浓度还要大。另外，LiTaO3基板的和基础基板结合的接合面上的Li浓度和所述接合基板的LiTaO3基板侧表面的Li浓度的差为0.1mol%以上为优选。进一步，LiTaO3基板的和基础基板结合的接合面上的Li浓度为Li/(Li+Ta)×100=(50+α)mol%，α为-1.2＜α＜0.5的范围，接合基板的LiTaO3基板侧表面的Li浓度为Li/(Li+Ta)×100=(48.5+β)mol%，β为-0.5＜β＜0.5的范围，从LiTaO3基板和基础基板的接合界面到LiTaO3基板侧的表面的厚度比表面声波或者泄露表面声波的波长的5倍还要大，但是比20倍要小为优选。

4. 发明专利

TW201604133A 熱分解氮化硼被覆碳及使用其的碳加熱器审中-公开
简体标题：热分解氮化硼被覆碳及使用其的碳加热器
公开(公告)号：TW201604133A
公开(公告)日：2016-02-01
申请号：TW104117883
申请日：2015-06-03
申请人：信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：加藤公二 , KATO, KOJI , 山村和市 , YAMAMURA, WAICHI
IPC分类号： C01B35/08 , H05B3/14
CPC分类号： H05B3/42 , H05B3/145 , Y10T428/24942 , Y10T428/30
摘要：本發明的目的為提供一種可以抑制PBN膜的龜裂’開裂等的熱分解氮化硼被覆碳，以及使用其的碳加熱器。本發明的熱分解氮化硼被覆碳，其在碳基材表面的一部分或整體被熱分解氮化硼膜被覆，所述碳基材的熱膨脹率具有各向異性，且在50～800℃溫度下的熱膨脹率的最大值和最小值的比（最大值／最小值）為1.02以上1.50以下。本發明的碳加熱器的碳基材的電阻率的最大值和最小值的比（最大值／最小值）超過1.04，且在1.51以下。所述碳基材的電阻率最大值的方向為電流圖案的主方向。
简体摘要：本发明的目的为提供一种可以抑制PBN膜的龟裂’开裂等的热分解氮化硼被覆碳，以及使用其的碳加热器。本发明的热分解氮化硼被覆碳，其在碳基材表面的一部分或整体被热分解氮化硼膜被覆，所述碳基材的热膨胀率具有各向异性，且在50～800℃温度下的热膨胀率的最大值和最小值的比（最大值／最小值）为1.02以上1.50以下。本发明的碳加热器的碳基材的电阻率的最大值和最小值的比（最大值／最小值）超过1.04，且在1.51以下。所述碳基材的电阻率最大值的方向为电流图案的主方向。

5. 发明专利

TW201804510A 複合晶圓之製造方法审中-公开
简体标题：复合晶圆之制造方法
公开(公告)号：TW201804510A
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：TW106114122
申请日：2017-04-27
申请人：信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：秋山昌次 , AKIYAMA, SHOJI , 丹野雅行 , TANNO, MASAYUKI , 加藤公二 , KATO, KOJI
IPC分类号： H01L21/02 , H01L27/12
CPC分类号： H01L21/02 , H03H3/08
摘要：本發明之課題為，提供於熱膨脹係數低的支撐基板上層合有熱膨脹係數高的鉭酸鋰膜之複合晶圓中，可減低因所射入的訊號在鉭酸鋰膜與支撐基板之接合界面反射所產生的寄生訊號之複合晶圓之製造方法。本發明之解決手段為，於藉由將熱膨脹係數為高的鉭酸鋰晶圓與熱膨脹係數為小的支撐晶圓貼合而製造複合晶圓的複合晶圓之製造方法中，在貼合之前，先藉由從鉭酸鋰晶圓及/或支撐晶圓的貼合面注入離子，而擾亂各個貼合面附近之結晶性。
简体摘要：本发明之课题为，提供于热膨胀系数低的支撑基板上层合有热膨胀系数高的钽酸锂膜之复合晶圆中，可减低因所射入的信号在钽酸锂膜与支撑基板之接合界面反射所产生的寄生信号之复合晶圆之制造方法。本发明之解决手段为，于借由将热膨胀系数为高的钽酸锂晶圆与热膨胀系数为小的支撑晶圆贴合而制造复合晶圆的复合晶圆之制造方法中，在贴合之前，先借由从钽酸锂晶圆及/或支撑晶圆的贴合面注入离子，而扰乱各个贴合面附近之结晶性。

6. 发明专利

TWI597392B 鉭酸鋰單結晶基板及其接合基板與其製造方法以及使用該基板的彈性表面聲波裝置有权
简体标题：钽酸锂单结晶基板及其接合基板与其制造方法以及使用该基板的弹性表面声波设备
公开(公告)号：TWI597392B
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：TW105111419
申请日：2016-04-13
申请人：信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：丹野雅行 , TANNO, MASAYUKI , 阿部淳 , ABE, JUN , 加藤公二 , KATO, KOJI , 桑原由則 , KUWABARA, YOSHINORI
IPC分类号： C30B29/30 , C30B31/08 , B32B9/04 , B32B5/14 , H03H3/08 , H03H9/25
CPC分类号： C30B29/30 , C01D15/02 , C01G33/00 , C01G35/00 , C01P2002/90 , C04B37/00 , C04B37/02 , C04B2237/343 , C04B2237/365 , C30B29/605 , C30B31/02 , C30B33/04 , C30B33/06 , H03H9/02559

7. 发明专利

TW201430162A 熱解氮化硼被覆碳基材的製造方法审中-公开
简体标题：热解氮化硼被覆碳基材的制造方法
公开(公告)号：TW201430162A
公开(公告)日：2014-08-01
申请号：TW102146452
申请日：2013-12-16
申请人：信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：加藤公二 , KATO, KOJI , 山村和市 , YAMAMURA, WAICHI
IPC分类号： C23C16/34
摘要：本發明提供能夠透過簡單的方法抑制熱解氮化硼被覆膜與碳基材之間的剝離等的熱解氮化硼被覆碳基材的製造方法。本發明是用熱解氮化硼被覆碳基材的一部分或全部的熱解氮化硼被覆碳基材的製造方法，其特徵在於，碳基材的表面粗糙度較佳為以JIS B 0601-2001定義的算術平均粗糙度計調整為0.5 μm以上且小於7.0 μm，並使被覆膜的熱膨脹係數接近於碳基材的熱膨脹係數。
简体摘要：本发明提供能够透过简单的方法抑制热解氮化硼被覆膜与碳基材之间的剥离等的热解氮化硼被覆碳基材的制造方法。本发明是用热解氮化硼被覆碳基材的一部分或全部的热解氮化硼被覆碳基材的制造方法，其特征在于，碳基材的表面粗糙度较佳为以JIS B 0601-2001定义的算术平均粗糙度计调整为0.5 μm以上且小于7.0 μm，并使被覆膜的热膨胀系数接近于碳基材的热膨胀系数。

8. 发明专利

TWI636702B 碳加熱器以及碳加熱器的製造方法有权
简体标题：碳加热器以及碳加热器的制造方法
公开(公告)号：TWI636702B
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：TW105139645
申请日：2016-12-01
申请人：信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：山村和市 , YAMAMURA, WAICHI , 加藤公二 , KATO, KOJI , 狩野正樹 , KANO, SHOJI
IPC分类号： H05B3/14 , C01B32/20 , C01B35/08

9. 发明专利

TW201702440A 鉭酸鋰單結晶基板及其接合基板與其製造方法以及使用該基板的彈性表面聲波裝置审中-公开
简体标题：钽酸锂单结晶基板及其接合基板与其制造方法以及使用该基板的弹性表面声波设备
公开(公告)号：TW201702440A
公开(公告)日：2017-01-16
申请号：TW105111419
申请日：2016-04-13
申请人：信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：丹野雅行 , TANNO, MASAYUKI , 阿部淳 , ABE, JUN , 加藤公二 , KATO, KOJI , 桑原由則 , KUWABARA, YOSHINORI
IPC分类号： C30B29/30 , C30B31/08 , B32B9/04 , B32B5/14 , H03H3/08 , H03H9/25
CPC分类号： C30B29/30 , C01D15/02 , C01G33/00 , C01G35/00 , C01P2002/90 , C04B37/00 , C04B37/02 , C04B2237/343 , C04B2237/365 , C30B29/605 , C30B31/02 , C30B33/04 , C30B33/06 , H03H9/02559
摘要：提供一種變形小，沒有破裂以及傷痕，而且，溫度特性與以往的回轉Y切割LiTaO3 基板良好，電氣機械結合係數大，進一步，裝置的Q值高的鉭酸鋰單結晶基板。本發明的鉭酸鋰單結晶基板為一種從使結晶方位回轉36°Y～49°Y切割的回轉Y切割LiTaO3 基板的表面到內部進行Li的擴散，基板表面和基板內部的Li濃度為不同的濃度分布的LiTaO3 單結晶基板，其特徵在於：該LiTaO3 單結晶基板，進行了單一分極處理，從基板表面到在LiTaO3 基板表面傳送的彈性表面聲波或者洩露彈性表面聲波的波長的5～15倍的深度，具有大略相同的Li濃度。
简体摘要：提供一种变形小，没有破裂以及伤痕，而且，温度特性与以往的回转Y切割LiTaO3 基板良好，电气机械结合系数大，进一步，设备的Q值高的钽酸锂单结晶基板。本发明的钽酸锂单结晶基板为一种从使结晶方位回转36°Y～49°Y切割的回转Y切割LiTaO3 基板的表面到内部进行Li的扩散，基板表面和基板内部的Li浓度为不同的浓度分布的LiTaO3 单结晶基板，其特征在于：该LiTaO3 单结晶基板，进行了单一分极处理，从基板表面到在LiTaO3 基板表面发送的弹性表面声波或者泄露弹性表面声波的波长的5～15倍的深度，具有大略相同的Li浓度。

10. 发明专利

TW201700767A 耐熱基材及其製造方法审中-公开
简体标题：耐热基材及其制造方法
公开(公告)号：TW201700767A
公开(公告)日：2017-01-01
申请号：TW105109917
申请日：2016-03-29
申请人：信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：加藤公二 , KATO, KOJI , 山村和市 , YAMAMURA, WAICHI
IPC分类号： C23C16/34 , C09K21/02
摘要：本發明的問題在於提供一種耐熱基材，其結構為被耐腐蝕性較高的熱分解氮化硼膜所包覆。為了解決上述問題，本發明的耐熱基材，其結構為部分或整個基材表面被熱分解氮化硼膜所包覆，該耐熱基材的特徵在於：前述熱分解氮化硼膜，含有0.001atom%以上且3atom%以下的氧。含有氧之上述熱分解氮化硼膜，可利用含有氮原子之氣體與含有硼原子之氣體，且添加含有氧原子之氣體，並藉由化學氣相沉積法來製造。
简体摘要：本发明的问题在于提供一种耐热基材，其结构为被耐腐蚀性较高的热分解氮化硼膜所包覆。为了解决上述问题，本发明的耐热基材，其结构为部分或整个基材表面被热分解氮化硼膜所包覆，该耐热基材的特征在于：前述热分解氮化硼膜，含有0.001atom%以上且3atom%以下的氧。含有氧之上述热分解氮化硼膜，可利用含有氮原子之气体与含有硼原子之气体，且添加含有氧原子之气体，并借由化学气相沉积法来制造。

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