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    • 30. 发明专利
    • 具有奈米線結構光偵測器之主動像素感測器
    • 具有奈米线结构光侦测器之主动像素传感器
    • TW201432894A
    • 2014-08-16
    • TW102149110
    • 2010-12-08
    • 立那工業股份有限公司ZENA TECHNOLOGIES, INC.
    • 兪榮濬YU, YOUNG-JUNE伍伯 慕尼WOBER, MUNIB
    • H01L27/146
    • H01L27/14612H01L27/1461H01L27/14625H01L27/14643H01L27/14645H01L31/0232H01L31/02327H01L31/0352H01L31/035227H01L31/03529H01L31/101H01L31/102H01L31/1126Y02E10/50
    • 本發明揭示一種成像裝置,其係組合一CMOS製作製程與一奈米線製作製程而形成為一主動像素陣列。該陣列中之像素可包含環繞奈米線之一單個或多個光閘極。該等光閘極控制奈米線中之電位分佈,從而允許在該奈米線中累積光產生之電荷且轉移該等電荷以供信號讀出。每一像素亦可包含一讀出電路,其可包含一重設電晶體、一電荷轉移開關電晶體、源極隨耦器放大器及像素選擇電晶體。一奈米線通常經結構化而作為塊體半導體基板上之一垂直條棒,以接收照射於該奈米線之尖端上之光能量。該奈米線可經組態以用作一光偵測器或經組態以將光束導引至該體基板之一波導。在本文中之實施例中,在存在奈米線光閘極及一基板光閘極之情況下,可偵測不同波長之光。
    • 本发明揭示一种成像设备,其系组合一CMOS制作制程与一奈米线制作制程而形成为一主动像素数组。该数组中之像素可包含环绕奈米线之一单个或多个光闸极。该等光闸极控制奈米线中之电位分布,从而允许在该奈米线中累积光产生之电荷且转移该等电荷以供信号读出。每一像素亦可包含一读出电路,其可包含一重设晶体管、一电荷转移开关晶体管、源极随耦器放大器及像素选择晶体管。一奈米线通常经结构化而作为块体半导体基板上之一垂直条棒,以接收照射于该奈米线之尖端上之光能量。该奈米线可经组态以用作一光侦测器或经组态以将光束导引至该体基板之一波导。在本文中之实施例中,在存在奈米线光闸极及一基板光闸极之情况下,可侦测不同波长之光。