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    • 9. 发明专利
    • 背光性光偵檢器
    • 背光性光侦检器
    • TW201622164A
    • 2016-06-16
    • TW104134015
    • 2015-10-16
    • 立那工業股份有限公司ZENA TECHNOLOGIES, INC.
    • 伍伯 慕尼WOBER, MUNIB
    • H01L31/0352H01L27/144H01L31/105
    • H01L27/14605H01L27/14645H01L31/035281H01L31/105Y02E10/50
    • 本發明提供一種設備,可操作用於檢測入射到設備的接收區域的輻射的不同部分、一種包含相同設備的系統、一種設備的使用以及一種製造方法。該設備包括:基板;至少一個第一零件;和至少一個第二零件,至少一個第一零件和至少一個第二零件都基本垂直地從基板延伸。至少一個第一零件和至少第二零件可操作用於選擇性吸收由其各自的波長範圍所定義的輻射的不同部分。至少一個第一零件和至少一個第二零件位於基板上,使得入射到接收區域的輻射的第一部分的至少50%和第二部分的至少50%分別被至少一個第一零件和至少一個第二零件選擇性吸收。
    • 本发明提供一种设备,可操作用于检测入射到设备的接收区域的辐射的不同部分、一种包含相同设备的系统、一种设备的使用以及一种制造方法。该设备包括:基板;至少一个第一零件;和至少一个第二零件,至少一个第一零件和至少一个第二零件都基本垂直地从基板延伸。至少一个第一零件和至少第二零件可操作用于选择性吸收由其各自的波长范围所定义的辐射的不同部分。至少一个第一零件和至少一个第二零件位于基板上,使得入射到接收区域的辐射的第一部分的至少50%和第二部分的至少50%分别被至少一个第一零件和至少一个第二零件选择性吸收。