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    • 1. 发明公开
    • 전자 디바이스 제조 시스템들을 조립하고 작동시키는 방법들 및 장치
    • 用于组装和操作电子器件制造系统的方法和设备
    • KR1020140091772A
    • 2014-07-22
    • KR1020147017915
    • 2008-05-24
    • 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
    • 챈들러,필클락,다니엘,오.베르묄렌,로버트,엠.정,제이,제이.존슨,로저,엠.스미스,제임스,엘.롤드,유세프,에이.
    • G06F19/00
    • G05B19/4184G05B2219/31386G05B2219/45026Y02P90/04Y02P90/14Y10T29/49826Y10T29/53048
    • 하나 또는 그 초과의 전자 디바이스 제조 시스템들을 작동시키기 위한 방법이 제공되며, 상기 방법은, 1) 프로세스 툴을 이용하여 일련의 전자 디바이스 제조 프로세스 단계들을 수행하는 단계 ― 프로세스 툴은 부산물로서 배출물(effluent)을 생성함 ― ; 2) 경감(abatement) 툴을 이용하여 배출물을 경감시키는 단계; 3) 제 1 경감 리소스 공급부로부터 경감 툴로 경감 리소스를 공급하는 단계; 4) 제 1 경감 리소스 공급부로부터 제 2 경감 리소스 공급부로 경감 리소스 공급부를 변경하는 단계 ― 상기 경감 리소스 공급부를 변경하는 단계는, ⅰ) 상기 제 1 경감 리소스 공급부로부터 상기 경감 리소스의 흐름을 중단(interrupt)하는 단계, 및 ⅱ) 상기 제 2 경감 리소스 공급부로부터 상기 경감 리소스의 흐름을 시작하는 단계를 포함함 ― ; 및 5) 상기 경감 리소스 공급부를 변경하는 동안 및 경감 리소스 공급부를 변경한 이후, 상기 프로세스 툴을 이용한 일련의 프로세스 단계들을 계속해서 수행하는 단계를 포함한다.
    • 一个或提供了一种方法,用于在过量的电子器件制造系统的操作它们,该方法包括以下步骤:1)利用所述处理工具由作为副产物进行一系列的电子器件的制造工艺步骤,工艺工具流出物(排出物)的 < 2)使用减排工具减轻排放; 3)从第一消减资源供应部分向消除工具提供消减资源; 4)改变减轻资源供应部分到从释放资源供应的变化部分中的第一浮雕资源供应步骤中的第二浮雕资源供给,ⅰ)在第一停止减轻资源从救济资源供给的流量的步骤(中断 );以及ii)从第二减排资源供应商开始减排资源的流动; 以及5)在改变消减资源提供者和改变消减资源提供者之后,使用处理工具连续执行一系列处理步骤。