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1. 发明公开

KR20180020890A 가동 상태 취득 장치, 제조 라인의 생산 관리 시스템 및 생산 관리 방법 审中-公开
标题翻译：运行状态采集设备生产管理系统和生产线生产管理方法
公开(公告)号：KR20180020890A
公开(公告)日：2018-02-28
申请号：KR20170101545
申请日：2017-08-10
申请人： I SMART TECH CORPORATION
发明人： KIMURA TETSUYA
IPC分类号： G06Q50/04 , G05B19/05 , G06Q10/06 , H04W88/08
CPC分类号： G05B19/41875 , G01J1/38 , G05B19/048 , G05B19/41815 , G05B19/4183 , G05B19/41835 , G05B19/4184 , G05B19/41855 , G05B19/41865 , G05B2219/24097 , G05B2219/31433 , G05B2219/31434 , G05B2219/31445 , G05B2219/31455 , G05B2219/33284 , G06Q10/0633 , G07C3/005
摘要： 가동상태취득장치(20a)는제조라인 L1에배치되어있는생산설비(31)에추후장착으로장착또는생산설비(31)의근방에추후장착으로배치되고, 생산설비(31)의가동상태를나타내는검출신호를출력하는검출부(21a)를구비한다. 가동상태취득장치(20a)는생산관리장치(10)에대하여검출신호를송신하기위한송신부(22a)를구비한다.
摘要翻译：操作状态获取装置20a包括检测器21a，该检测器21a被改装以安装在设置在生产线L1上的生产设备31上，或者改装成布置在生产设备31的附近，检测器输出表示操作状态的检测信号的生产设备。操作状态获取装置20a包括被配置为向管理装置10发送检测信号的发送器21a。

2. 发明授权

KR101824762B1 정보 처리 장치, 처리 시스템, 처리 방법, 및 프로그램을 저장한 컴퓨터 판독가능한 기억 매체 有权
标题翻译：信息处理设备处理系统处理方法和具有程序的计算机可读存储介质
公开(公告)号：KR101824762B1
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：KR1020137025636
申请日：2012-02-16
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 아라키신이치로 , 마츠다가츠히코 , 오카다기미노리 , 이토다이치 , 나카지마스스무 , 호리우치노부히로
IPC分类号： G06F11/30 , G06F11/32 , G06F11/34
CPC分类号： G05B19/41875 , G05B19/4184 , G05B2219/31435 , G05B2219/31462 , G05B2219/45031 , G06F11/321 , Y02P90/14 , Y02P90/18
摘要： 컴퓨터(2A)는성막장치(20A)에관한정보를처리한다. 컴퓨터(2A)는, 성막장치(20A)에이상이발생한경우에, 발생한이상에관한이상정보를표시한다. 컴퓨터(2A)는, 발생한이상에대처했을때의대처정보를접수한다. 컴퓨터(2A)는, 접수한대처정보를, 발생한이상을특정하기위한이상특정정보에대응지어기억한다. 컴퓨터(2A)는기억한이상특정정보및 대처정보를, 서버컴퓨터(1)로출력한다. 성막장치(20B)에이상이발생한경우, 컴퓨터(2B)는이상특정정보에대응하는대처정보를서버컴퓨터(1)로부터수신하여, 표시한다.
摘要翻译：一种用于处理半导体治疗装置的信息的信息处理装置包括：异常信息显示装置，其显示关于半导体治疗装置中的异常的信息;对策信息接收装置，其接收对策的对策信息;对策信息存储装置，其存储对策信息与异常识别信息匹配的输出装置;经由通信装置向外部输出对策和异常识别信息的输出装置;显示对策项目候选的对策项目显示装置;对策项目存储装置，其存储从与候补项目匹配的候选中选择的对策项目异常识别信息，通过通信d发送对策项目和异常识别信息的对策项目发送装置从外部接收与该异常识别信息对应的对策项目的统计量的对策项目统计接收装置以及显示该统计量的对策项目统计值显示装置。

3. 发明授权

KR101764675B1 산업 설비에서 간섭을 제거하기 위한 사용자 인터페이스 및 방법 有权
标题翻译：用于消除工业设施中的干扰的用户界面和方法
公开(公告)号：KR101764675B1
公开(公告)日：2017-08-14
申请号：KR1020157015551
申请日：2013-10-22
申请人： 지멘스 악티엔게젤샤프트
发明人： 부터,크리스티안 , 폴리티아디스-베렌스,알렉산더 , 자이베르트,에크하르트 , 볼프,질비오
IPC分类号： G05B23/02
CPC分类号： G05B19/4184 , G05B23/0272 , G05B2219/13031 , G05B2219/23377 , G06F3/0482 , G06F3/0488
摘要： 기술설비데이터는, 우선순위매트릭스를나타냄으로써이동식사용에서터치스크린(touchscreen)을갖는태블릿(tablet) 상에서또는제어실(control room)에서목표된방식으로시각적으로사전프로세싱(preprocess)된다. 이러한목적으로, 간섭메시지들이예를들어, 수평으로좌측으로부터우측으로감소되는우선순위로, 그리고수직으로설비부분에따라정렬되어출력된다. 이는, 오퍼레이터(operator)의, 간섭메시지들의분석및 우선순위화를매우경감시킨다. 그러므로, 오퍼레이터는, 가장중요한간섭메시지들을더 짧은시간에식별, 로케이팅(locate), 및제거할수 있다. 고려되는우선순위들및 설비부분들의수는플렉시블(flexible)한데, 그이유는, 매트릭스(matrix)가매우다양한설비유형들, 설비크기들및 프로세스(process)들에대해스케일링(scale)될수 있기때문이다. 상황을평가하는것과관련된모든기술설비데이터(technical installation data)는하나의뷰(view)에결합된다. 논리적뷰(logical view)를갖는제 2 디스플레이영역은전체산업설비의오버뷰(overview)를제공하기위해이용된다. 오버뷰및 상세한정보는유리하게, 이러한결합된프리젠테이션(presentation)에서결합되고, 그결과, 오퍼레이터는간섭메시지들을더 효율적으로분석할수 있고, 산업설비의상태를용이하고신속하게평가할수 있다.
摘要翻译：技术设施数据在具有触摸屏的平板电脑上以移动使用或通过表示优先矩阵的期望方式在视觉上预处理。为此，干扰消息按照对齐的方式输出，例如水平地按照从左到右的优先级降低并且根据设施部分垂直地输出。这极大地减轻了运营商对干扰消息的分析和优先级。因此，运营商可以在更短的时间内识别，定位和删除最重要的干扰消息。所考虑的优先事项和工厂部件的数量是灵活的，因为矩阵可以针对各种各样的工厂类型，工厂规模和流程一。所有与评估情况相关的技术安装数据都合并为一个视图。使用具有逻辑视图的第二个显示区域来提供整个工业设施的概览。概述和详细信息有利地结合在这种组合表示中，使得操作员可以更有效地分析干扰消息并且可以容易且快速地评估工业设施的状态。

4. 发明公开

KR1020170072853A 웨이퍼 핸들링을 모니터하는 시스템 및 방법과 웨이퍼 핸들링 기계 审中-实审
标题翻译：用于监控晶圆处理和晶圆处理机的系统和方法
公开(公告)号：KR1020170072853A
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：KR1020170075038
申请日：2017-06-14
申请人： 글로벌파운드리즈 인크.
发明人： 마이너스테판브레들리 , 포스나이트윌리엄존 , 갈라거라이언제이.
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/68 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67265 , G05B19/4184 , G05B19/41875 , G05B2219/37224 , G05B2219/45031 , H01L21/67259 , H01L21/67389 , H01L21/68 , H01L21/68707 , Y02P90/04 , Y10S901/02 , Y10S901/27 , H01L21/67 , H01L21/67763
摘要： 웨이퍼핸들링을모니터하는시스템들, 기계들및 방법들이본 명세서에개시된다. 웨이퍼핸들링을모니터하는시스템은센서및 제어기를포함한다. 센서는조립된웨이퍼핸들링기계에고정될수 있다. 제어기는센서와전자통신을하고, 제어로직을포함한다. 제어로직은, 웨이퍼핸들링기계가정렬될때 센서의기준전압을저장하도록구성되고센서의기준출력과현재출력간차이가임계치를초과할때 표시신호를생성하도록구성된다.
摘要翻译：这里公开了用于监测晶片处理的系统，机器和方法。用于监测晶片处理的系统包括传感器和控制器。传感器可以固定在组装好的晶圆处理机上。控制器与传感器进行电子通讯并包含控制逻辑。控制逻辑被配置为在晶圆处理机器对准时存储传感器的参考电压，并且被配置为当传感器的参考输出与电流输出之间的差异超过阈值时产生指示信号。

5. 发明公开

KR1020150028077A 반도체 설비서버의 페일오버 시스템 및 그 방법 审中-实审
标题翻译：半导体设备的故障切换系统和方法相同
公开(公告)号：KR1020150028077A
公开(公告)日：2015-03-13
申请号：KR1020130106729
申请日：2013-09-05
申请人： 에스케이하이닉스 주식회사
发明人： 김승헌 , 문종영
IPC分类号： G06Q50/04
CPC分类号： G05B19/4184 , G05B2219/31355 , G05B2219/45031 , Y02P90/14 , Y02P90/18
摘要： 본 발명은 반도체 설비서버의 페일오버 시스템 및 그 방법에 관한 것으로서, 특히 반도체 제조설비를 관리하는 설비서버의 페일 오버(fail over)를 위한 기술이다.
본 발명에 따른 반도체 설비서버의 페일오버(fail-over) 시스템은, 반도체 공정이 진행되는 반도체 제조 설비들로 이루어진 반도체 제조 설비군; 반도체 제조 설비군의 동작을 제어하는 설비서버군; 및 상기 설비서버군과 통신을 수행하여 상기 설비서버군의 장애를 감지하고, 상기 설비서버군 중 적어도 하나의 설비서버의 장애 발생 시 장애가 발생하지 않은 설비서버로 동작 데이터 및 응용프로세서를 백업하는 페일 오버 정책을 수행하는 관리서버를 포함할 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种半导体设备服务器的故障转移系统及其方法，特别涉及管理半导体制造设备的设备服务器故障转移技术。根据本发明的半导体设备服务器的故障切换系统可以包括：半导体制造设备组，其包括进行半导体处理的半导体制造设备; 用于控制半导体制造设备组的操作的设备服务器组; 以及管理服务器，其通过与所述设备服务器组进行通信来检测所述设备服务器组的缺陷，并且执行在不具有缺陷的设备服务器中备份操作数据和应用处理器的故障切换策略，在至少一台设备服务器有缺陷的情况下。

6. 发明公开

KR1020130054099A 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법 有权
标题翻译：用于血浆处理的装置和方法
公开(公告)号：KR1020130054099A
公开(公告)日：2013-05-24
申请号：KR1020120006929
申请日：2012-01-20
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
发明人： 가고시마아키라 , 시라이시다이스케 , 나가타니유지
IPC分类号： H01L21/3065
CPC分类号： H01J37/3299 , G05B13/00 , G05B13/021 , G05B13/042 , G05B19/4184 , H01J37/32449 , H01J37/32926 , H01J37/32935 , H01J2237/3343 , H01L22/20 , H01L22/26
摘要： PURPOSE: A plasma treatment apparatus and a plasma treatment method are provided to improve an operation rate by using a process monitor and an actuator. CONSTITUTION: A plasma process is performed in a plasma process room(300). A process monitor(303) monitors the inner state of the plasma process room. An actuator(302) controls a parameter. A compensation calculation unit computes the compensation level of a manipulation variable. A manipulation variable addition unit adds a high priority manipulation variable. [Reference numerals] (302) Actuator; (303) Process monitor; (306) Target value; (308) Control device
摘要翻译：目的：提供等离子体处理装置和等离子体处理方法，以通过使用过程监视器和致动器来提高操作速率。构成：在等离子体处理室（300）中进行等离子体处理。过程监视器（303）监视等离子体处理室的内部状态。致动器（302）控制参数。补偿计算单元计算操纵变量的补偿水平。操纵变量加法单元添加高优先级操纵变量。（302）致动器; （303）过程监控; （306）目标值; （308）控制装置

7. 发明公开

KR1020100086069A 보틀 네크 장치 추출 방법 및 보틀 네크 장치 추출 지원 장치 有权
标题翻译： BOTTLENECK装置提取方法和BOTTLENECK装置提取辅助装置
公开(公告)号：KR1020100086069A
公开(公告)日：2010-07-29
申请号：KR1020107013975
申请日：2008-12-16
申请人： 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼
发明人： 노나까,요이찌 , 렌기엘,아틸라
IPC分类号： G05B19/418 , G06Q50/04
CPC分类号： G05B19/4184 , G05B2219/45031 , G06Q10/06 , Y02P90/14 , Y02P90/26
摘要： This object aims to provide a device specifying method and a device specifying system for specifying a device of the root cause of a disturbance of productivity in view of mutual influences among the processes resulting from a production fluctuation, in respect to an issue of specifying a device involved in a production capability decline based on a problem of changes in production capability of the device due to multiple-process production and a problem of changes in production capability of the device due to mix production of various kinds of products. The device specifying method and the device specifying system are comprised of a means for intentionally changing the production capability of each device and simulating the influence of the change on the entire production system, a means that measures mutual influences among the processes resulting from a production fluctuation having occurred through the simulation, and a means that specifies a device of the root cause of a disturbance of productivity based on the measurement result.
摘要翻译：本发明的目的在于提供一种装置指定方法和装置指定系统，用于根据生产波动产生的处理之间的相互影响来指定生产率干扰的根本原因的装置，涉及指定装置的问题基于由于多工艺生产而导致的装置的生产能力变化的问题以及由于各种产品的混合生产而导致的装置的生产能力变化的问题，导致生产能力下降。设备指定方法和设备指定系统包括用于有意地改变每个设备的生产能力并模拟变化对整个生产系统的影响的手段，测量由生产波动产生的过程之间的相互影响的手段通过模拟发生，并且是基于测量结果来指定生产率干扰的根本原因的装置的手段。

8. 发明授权

KR100966479B1 관리 방법 및 관리 장치 失效
标题翻译：控制方法和控制系统
公开(公告)号：KR100966479B1
公开(公告)日：2010-06-29
申请号：KR1020087009200
申请日：2005-09-27
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트 , 고쿠리츠 다이가쿠 호진 도호쿠 다이가쿠
发明人： 오카야스토시유키 , 스가와시게토시 , 테라모토아키노부
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G05B19/4184 , G05B2219/31483 , G05B2219/45031 , H01L22/20 , H01L22/34 , H01L2924/0002 , Y02P90/14 , Y02P90/22 , H01L2924/00
摘要： 복수의 제조 공정에 의해 전자 디바이스를 제조하는 피관리 제조 라인에 대해서 각각의 제조 공정에서 이용되는 각각의 제조 장치를 관리하는 관리 방법에 있어서, 복수의 제조 공정을 실행할 수 있는 미리 정해진 기준 제조 라인에 의해 제조된 기준 디바이스의 특성을 취득하는 기준 특성 취득 단계; 복수의 제조 공정 가운데 적어도 하나의 제조 공정을 피관리 제조 라인에 의해 처리하고 다른 제조 공정을 기준 제조 라인에 의해 처리해서 비교 디바이스를 제조하는 비교 디바이스 제조 단계; 비교 디바이스의 특성을 측정하는 비교 특성 측정 단계; 기준 디바이스의 특성과 비교 디바이스의 특성을 비교하는 특성 비교 단계; 및 특성의 차이에 기초하여 비교 디바이스를 처리한 피관리 제조 라인의 제조 공정에서 이용한 제조 장치의 양부를 판정하는 판정 단계를 포함하는 관리 방법을 제공한다.
제조 장치 관리 방법, 제조 장치 관리 장치, 기준 제조 라인, 피관리 제조 라인, 기준 특성 측정부, 비교 특성 측정부

9. 发明公开

KR1020080026092A 통계적으로 반복가능한 응답 시간을 갖는 다목적 반도체제조 제어기 有权
标题翻译：具有统计可重复响应时间的多功能半导体制造控制器
公开(公告)号：KR1020080026092A
公开(公告)日：2008-03-24
申请号：KR1020077028258
申请日：2006-04-28
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 로젠보임레오니드 , 고쉬데이비드마이클
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/02
CPC分类号： G05B19/4184 , G05B2219/45031 , Y02P90/14 , Y02P90/20 , Y02P90/86
摘要： The present invention relates to process I/O controllers for semiconductor manufacturing to which a tool host can delegate data collection, monitoring and control tasks. In particular, it relates to process I/O controllers that can perform more than one of data collection, monitoring, control and response to commands from a tool host with statistically repeatable performance and precision. Embodiments described use prioritized real time operating systems to control of semiconductor manufacturing tools and data collection from tool associated with the sensors. Statistically repeatable responsiveness to selected commands and to sensor inputs during selected recipe steps effectively reduces jitter. ® KIPO & WIPO 2008
摘要翻译：本发明涉及用于半导体制造的过程I / O控制器，其中工具主机可以对其进行数据收集，监控和控制任务委托。特别地，它涉及可以以统计可重复的性能和精度执行来自工具主机的命令的多个数据收集，监视，控制和响应的过程I / O控制器。所描述的实施例使用优先实时操作系统来控制半导体制造工具以及与传感器相关联的工具的数据收集。在选定的配方步骤期间，对所选命令和传感器输入的统计上可重复的响应有效地减少了抖动。 ®KIPO＆WIPO 2008

10. 发明公开

KR1020070055512A 기판 처리 시스템에서 스마트 콤포넌트 기반 관리 기술 有权
标题翻译：基于组件的管理技术在基板处理系统中的应用
公开(公告)号：KR1020070055512A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：KR1020077004425
申请日：2005-08-19
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 벤자민네일 , 고트쇼리차드에이 , 브라이트니콜라스 , 스테거로버트
IPC分类号： G06Q50/04
CPC分类号： G01R31/3187 , G05B19/4184 , G05B2219/31362 , G05B2219/31463 , Y02P90/14 , Y02P90/86
摘要： 기판 처리 시스템에서 콤포넌트 관리의 방법이 개시된다. 기판 처리 시스템은 콤포넌트 세트를 갖고, 콤포넌트 세트 중 적어도 복수의 콤포넌트는 스마트 콤포넌트로 지정되고, 복수의 콤포넌트 중 각각의 콤포넌트는 ICE (intelligent component enhancement) 를 갖는다. 본 방법은, 각각의 ICE 로부터 각각의 고유 식별 데이터를 요청하기 위해 복수의 콤포넌트를 조회하는 단계를 포함한다. 본 방법은, 복수의 콤포넌트 중 하나가 조회에 응답하는 경우 복수의 콤포넌트로부터 고유 식별 데이터를 수신하는 단계를 더 포함한다. 본 방법은, 제 1 콤포넌트 식별 데이터가 기대되는 경우 복수의 콤포넌트 중 제 1 콤포넌트가 제 1 콤포넌트의 고유 식별 데이터를 제공하는데 실패하면 정정 동작을 위해 제 1 콤포넌트를 플래그하는 단계를 추가적으로 포함한다.
기판 처리 시스템, 플라즈마 처리 시스템

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