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1. 发明公开

KR1020180104824A 가이드 모듈 및 그를 구비하는 구동장치 有权
公开(公告)号：KR1020180104824A
公开(公告)日：2018-09-27
申请号：KR1020170031572
申请日：2017-03-14
申请人： 주식회사 세진아이지비
发明人： 임선호
IPC分类号： B65G49/06 , H01L21/677 , G02F1/13 , B61B13/02 , B61C11/04
CPC分类号： B61B13/02 , B61C11/04 , B65G49/06 , G02F1/13 , H01L21/677 , B65G49/061 , B65G2201/022 , G02F1/1303 , H01L21/67706
摘要： 가이드모듈및 그를구비하는구동장치가개시된다. 본발명의일 실시예에따른구동장치는, 랙과상호작용하는피니언에탑재되며, 피니언과함께랙의궤적을따라이동되는무빙유닛(moving unit); 및랙의적어도어느일측에배치되고무빙유닛과연결되며, 피니언과함께랙의궤적을따라이동되는무빙유닛의이동을가이드하는가이드모듈을포함한다.

2. 发明公开

KR1020180081914A 이송 장치 有权
公开(公告)号：KR1020180081914A
公开(公告)日：2018-07-18
申请号：KR1020170002811
申请日：2017-01-09
申请人： 이노6 주식회사
发明人： 김정헌
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , B65G47/90
CPC分类号： H01L21/67721 , B65G47/90 , B65G49/061 , B65G2201/022 , H01L21/67706 , H01L21/67742 , H01L21/67751 , H01L21/67757
摘要： 본발명의일 실시예에따른이송장치는, 베이스플레이트, 상기베이스플레이트의상부에배치되고, 이송되는대상물의높이를조절할수 있도록구성되는높이조절유닛및 상기대상물을지지할수 있도록상기대상물의크기에대응하여폭이조절되는폭 조절유닛을포함하고, 상기높이조절유닛은상기베이스플레이트의일측과링크결합되어높이조절되도록마련되는적어도하나의제1 지지부를포함한다.

3. 发明授权

KR101868310B1 카세트 장치, 기판 반송 장치, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 有权
公开(公告)号：KR101868310B1
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：KR1020177037338
申请日：2012-12-17
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 하마다도모히데 , 스즈키도모나리
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/6776 , B65H18/103 , B65H23/185 , B65H23/198 , B65H2220/02 , B65H2513/102 , B65H2513/11 , B65H2801/61 , H01L21/67706 , B65H2220/01
摘要： 카세트장치는, 기판의공급및 회수중 일방을행하는제1 유닛부와, 상기기판의공급및 회수중 타방을행하는제2 유닛부를가지며, 상기제1 유닛부및 상기제2 유닛부는, 서로접근또는이간가능하다.

4. 发明授权

KR101866775B1 반송대차 이송 시스템 有权
公开(公告)号：KR101866775B1
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：KR1020160165996
申请日：2016-12-07
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 곽호민 , 이세호 , 박제영 , 김철만
IPC分类号： H01L21/677 , B62B3/10 , B62B5/00
CPC分类号： H01L21/67724 , B62B3/10 , B62B5/0033 , H01L21/67706 , H01L21/67712 , H01L21/67718 , H01L21/67751 , H01L21/67757
摘要： 반송대차이송시스템이개시된다. 본발명의일 실시예에따른반송대차이송시스템은, 반송대차(vehicle)를지상과천장으로업/다운(up/down) 구동시키는반송대차메인트리프터(maint lifer for a vehicle); 반송대차메인트리프터와는독립적으로마련되며, 반송대차에대한메인터넌스(maintenance) 작업을진행하는반송대차메인트스테이션(maint station for a vehicle); 및반송대차메인트리프터와반송대차메인트스테이션간을이송가능하게마련되되반송대차메인트리프터와반송대차메인트스테이션의정위치로반송대차를이송시키는반송대차이송용카트(cart for a vehicle)를포함한다.

5. 实用新型

KR20180001805U 이송 롤러, 이송 장치 및 기판 처리 시스템 审中-公开
公开(公告)号：KR20180001805U
公开(公告)日：2018-06-18
申请号：KR20170006193
申请日：2017-12-01
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/6776 , H01L21/67057 , H01L21/67706
摘要： 기판(2)을이송하기위해돌출부들(11)을표면(10)에배치한이송롤러(9, 18); 적어도하나의그러한이송롤러(9, 18)를가지는기판처리시스템(1)용이송장치(8); 이송장치(8) 및처리용액(4, 6)을담고있는처리용기(3, 5)를가지는, 특히기판(2)의한쪽면을습식화학적처리하기위한기판처리시스템(1).

6. 发明公开

KR20180061393A 로봇 조립체들, 기판 프로세싱 장치, 및 전자 디바이스 제조에서 기판들을 운송하기 위한 방법들 审中-公开
公开(公告)号：KR20180061393A
公开(公告)日：2018-06-07
申请号：KR20187014572
申请日：2016-09-28
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67706 , B25J5/02 , B25J9/042 , B25J9/1045 , B25J11/0095 , H01L21/67161 , H01L21/67173 , H01L21/67196 , H01L21/67724 , H01L21/67742
摘要： 로봇조립체는캐리지지원로봇의원격액추에이션을허용한다. 로봇조립체는트랙, 트랙을따라이동가능한캐리지, 및캐리지에탑재된로봇을포함한다. 로봇은적어도제 1 암, 및제 1 암에커플링되는제 1 구동식(driven) 부재를포함한다. 로봇조립체는제 1 구동(driving) 부재, 제 1 구동부재와제 1 구동식부재에커플링되는제 1 트랜스미션부재, 및제 1 구동부재에커플링되는제 1 구동모터를갖는구동조립체를더 포함한다. 제 1 구동모터는제 1 구동부재를이동시켜, 제 1 구동식부재의원격회전및 제 1 암의회전을야기하도록구성된다. 기판프로세싱장치및 기판프로세싱장치내에서기판을운송하는방법들이또한다수의다른양상들과같이제공된다.

7. 发明授权

KR101854044B1 텐션 롤러를 갖는 타워 리프트 有权
标题翻译：带张力辊的塔式升降机
公开(公告)号：KR101854044B1
公开(公告)日：2018-05-02
申请号：KR1020160142788
申请日：2016-10-31
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 윤태열 , 김인철
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , B65G47/90
CPC分类号： H01L21/67712 , B65G47/90 , B65G49/061 , B65G2201/0297 , H01L21/67706 , H01L21/67718 , H01L21/67751 , H01L21/67757 , H01L21/67793
摘要： 타워리프트가개시된다. 상기타워리프트는, 수직방향으로연장하는가이드레일과, 상기가이드레일을따라수직방향으로이동가능하게구성된캐리지모듈과, 상기캐리지모듈에장착되며상기가이드레일을따라상기캐리지모듈을수직방향으로안내하는상부및 하부가이드유닛들을포함한다. 특히, 상기상부가이드유닛은상기가이드레일의후면상에배치되는상부고정롤러와상기가이드레일의전면상에밀착되도록소정의가압력이인가되는상부텐션롤러를포함하며, 상기하부가이드유닛은상기가이드레일의전면상에배치되는하부고정롤러와상기가이드레일의후면상에밀착되도록소정의가압력이인가되는하부텐션롤러를포함한다.

8. 发明公开

KR20180042758A 반송대차 얼라인 스테이션 有权
公开(公告)号：KR20180042758A
公开(公告)日：2018-04-26
申请号：KR20160135320
申请日：2016-10-18
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： KWAK HO MIN
IPC分类号： B65G49/06 , H01L21/677
CPC分类号： B65G49/061 , B65G2201/0297 , H01L21/67706 , H01L21/67724 , H01L21/6773 , H01L21/67733 , H01L21/67742
摘要： 반송대차얼라인스테이션이개시된다. 본발명의일 실시예에따른반송대차얼라인스테이션은, 종류가서로다른마스크타입(Mask type) 반송대차또는글라스타입(Glass Type) 반송대차에대한부품세팅작업을위해반송대차들이공용으로안착되는장소를형성하는세팅용공용지그; 세팅용공용지그의일측에착탈가능하게결합되며, 마스크타입반송대차에대한세팅작업을위해마스크타입반송대차가안착되는마스크타입반송대차세팅용지그유닛; 및마스크타입반송대차세팅용지그유닛과는다른위치에서세팅용공용지그의타측에착탈가능하게결합되며, 글라스타입반송대차에대한세팅작업을위해글라스타입반송대차가안착되는글라스타입반송대차세팅용지그유닛을포함한다.

9. 发明公开

KR20180032281A 이중 구조 롤투롤을 활용한 원자층 증착 시스템 有权
标题翻译：采用双结构卷对卷ALD真空蒸发系统
公开(公告)号：KR20180032281A
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：KR20160121242
申请日：2016-09-22
申请人： 주식회사 토바
发明人： SHIN KEE HYUN
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/205 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/0228 , H01L21/205 , H01L21/67706 , H01L21/67709 , H01L2224/95115
摘要： 이중구조롤투롤을활용한원자층증착시스템은유동성을확보하는소재를다수의롤로형성된이송장치에의하여공급시키는공급장치와, 상기공급장치에서공급되는상기소재를이송시키는이송롤과, 상기이송롤에의하여이송되는상기소재의상부에원료가증착되도록상기소재가관통되는증착모듈과, 상기증착모듈의내부하단에적어도하나이상구비되어상기소재를이송시키며불순물을흡입하는흡입롤과, 상기증착모듈에서원료가증착된상기소재를권취시키는마감장치와, 상기소재의공정속도및 상기소재의위치를제어하기위한제어부를포함할수 있다.
摘要翻译：利用结构的卷到卷双原子层沉积系统是一个进料辊和所述待从供给转印辊从该进料的由材料供给，以确保在多个辊形成的传送装置的移动性，转印材料抽吸模块，设置在沉积模块的内部下端处，用于传送工件并吸取杂质;以及真空清洁器，安装在沉积模块中，用于卷绕其上沉积材料的材料的精整装置以及用于控制材料的处理速度和材料的位置的控制器。

10. 发明授权

KR101834133B1 챔버용 도어 장치 有权
标题翻译：室门装置
公开(公告)号：KR101834133B1
公开(公告)日：2018-02-28
申请号：KR1020170132320
申请日：2017-10-12
申请人： 장인재
发明人： 장인재
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67772 , H01L21/67098 , H01L21/67242 , H01L21/67706
摘要： 본발명은챔버용도어장치에관한것으로, 본발명의일 측면에따르면, 챔버의입구측에마련된한 쌍의가이드레일; 한쌍의가이드레일을따라이동가능하게배치된지지프레임; 챔버의입구측과지지프레임사이에위치하도록지지프레임에장착된도어; 지지프레임을한 쌍의가이드레일을따라이동시키도록마련된제1 구동부; 및제1 구동부에의해입구의전방에도어가위치한상태에서, 도어를입구로압착또는입구로부터탈착시키기위해지지프레임에대하여도어를이동시키도록마련된제2 구동부를포함하는챔버용도어장치가제공된다.
摘要翻译：根据本发明的一个方面，提供了一种用于腔室的门装置，包括：设置在腔室的入口侧的一对导轨; 支撑框架，其沿着一对导轨可移动地布置; 安装在所述支撑框架上的门，所述门定位在所述腔室的入口侧和所述支撑框架之间; 第一驱动单元，其被构造成沿着所述一对导轨移动所述支撑框架; 并且设置第二驱动部分以相对于支撑框架移动门，以通过第一驱动部分使入口前方的门与挤压或入口开口分离。

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