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1. 发明授权

KR101468606B1 전자 디바이스 제조 시스템들을 조립하고 작동시키는 방법들 및 장치 有权
标题翻译：组装和操作电子设备制造系统的方法和装置
公开(公告)号：KR101468606B1
公开(公告)日：2014-12-04
申请号：KR1020097027012
申请日：2008-05-24
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 챈들러,필 , 클락,다니엘,오. , 베르묄렌,로버트,엠. , 정,제이,제이. , 존슨,로저,엠. , 스미스,제임스,엘. , 롤드,유세프,에이.
IPC分类号： G06F19/00
CPC分类号： G05B19/4184 , G05B2219/31386 , G05B2219/45026 , Y02P90/04 , Y02P90/14 , Y10T29/49826 , Y10T29/53048
摘要： 하나또는그 초과의전자디바이스제조시스템들을작동시키기위한방법이제공되며, 상기방법은, 1) 프로세스툴을이용하여일련의전자디바이스제조프로세스단계들을수행하는단계― 프로세스툴은부산물로서배출물(effluent)을생성함― ; 2) 경감(abatement) 툴을이용하여배출물을경감시키는단계; 3) 제 1 경감리소스공급부로부터경감툴로경감리소스를공급하는단계; 4) 제 1 경감리소스공급부로부터제 2 경감리소스공급부로경감리소스공급부를변경하는단계― 상기경감리소스공급부를변경하는단계는, ⅰ) 상기제 1 경감리소스공급부로부터상기경감리소스의흐름을중단(interrupt)하는단계, 및ⅱ) 상기제 2 경감리소스공급부로부터상기경감리소스의흐름을시작하는단계를포함함― ; 및 5) 상기경감리소스공급부를변경하는동안및 경감리소스공급부를변경한이후, 상기프로세스툴을이용한일련의프로세스단계들을계속해서수행하는단계를포함한다.

2. 发明公开

KR1020140091772A 전자 디바이스 제조 시스템들을 조립하고 작동시키는 방법들 및 장치 有权
标题翻译：用于组装和操作电子器件制造系统的方法和设备
公开(公告)号：KR1020140091772A
公开(公告)日：2014-07-22
申请号：KR1020147017915
申请日：2008-05-24
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 챈들러,필 , 클락,다니엘,오. , 베르묄렌,로버트,엠. , 정,제이,제이. , 존슨,로저,엠. , 스미스,제임스,엘. , 롤드,유세프,에이.
IPC分类号： G06F19/00
CPC分类号： G05B19/4184 , G05B2219/31386 , G05B2219/45026 , Y02P90/04 , Y02P90/14 , Y10T29/49826 , Y10T29/53048
摘要： 하나 또는 그 초과의 전자 디바이스 제조 시스템들을 작동시키기 위한 방법이 제공되며, 상기 방법은, 1) 프로세스 툴을 이용하여 일련의 전자 디바이스 제조 프로세스 단계들을 수행하는 단계 ― 프로세스 툴은 부산물로서 배출물(effluent)을 생성함 ― ; 2) 경감(abatement) 툴을 이용하여 배출물을 경감시키는 단계; 3) 제 1 경감 리소스 공급부로부터 경감 툴로 경감 리소스를 공급하는 단계; 4) 제 1 경감 리소스 공급부로부터 제 2 경감 리소스 공급부로 경감 리소스 공급부를 변경하는 단계 ― 상기 경감 리소스 공급부를 변경하는 단계는, ⅰ) 상기 제 1 경감 리소스 공급부로부터 상기 경감 리소스의 흐름을 중단(interrupt)하는 단계, 및 ⅱ) 상기 제 2 경감 리소스 공급부로부터 상기 경감 리소스의 흐름을 시작하는 단계를 포함함 ― ; 및 5) 상기 경감 리소스 공급부를 변경하는 동안 및 경감 리소스 공급부를 변경한 이후, 상기 프로세스 툴을 이용한 일련의 프로세스 단계들을 계속해서 수행하는 단계를 포함한다.
摘要翻译：一个或提供了一种方法，用于在过量的电子器件制造系统的操作它们，该方法包括以下步骤：1）利用所述处理工具由作为副产物进行一系列的电子器件的制造工艺步骤，工艺工具流出物（排出物）的＆lt; 2）使用减排工具减轻排放; 3）从第一消减资源供应部分向消除工具提供消减资源; 4）改变减轻资源供应部分到从释放资源供应的变化部分中的第一浮雕资源供应步骤中的第二浮雕资源供给，ⅰ）在第一停止减轻资源从救济资源供给的流量的步骤（中断）;以及ii）从第二减排资源供应商开始减排资源的流动; 以及5）在改变消减资源提供者和改变消减资源提供者之后，使用处理工具连续执行一系列处理步骤。

3. 发明授权

KR101560705B1 전자 디바이스 제조 시스템들을 조립하고 작동시키는 방법들 및 장치 有权
标题翻译：组装和操作电子设备制造系统的方法和装置
公开(公告)号：KR101560705B1
公开(公告)日：2015-10-16
申请号：KR1020147017915
申请日：2008-05-24
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 챈들러,필 , 클락,다니엘,오. , 베르묄렌,로버트,엠. , 정,제이,제이. , 존슨,로저,엠. , 스미스,제임스,엘. , 롤드,유세프,에이.
IPC分类号： G06F19/00
CPC分类号： G05B19/4184 , G05B2219/31386 , G05B2219/45026 , Y02P90/04 , Y02P90/14 , Y10T29/49826 , Y10T29/53048
摘要： 하나또는그 초과의전자디바이스제조시스템들을작동시키기위한방법이제공되며, 상기방법은, 1) 프로세스툴을이용하여일련의전자디바이스제조프로세스단계들을수행하는단계― 프로세스툴은부산물로서배출물(effluent)을생성함― ; 2) 경감(abatement) 툴을이용하여배출물을경감시키는단계; 3) 제 1 경감리소스공급부로부터경감툴로경감리소스를공급하는단계; 4) 제 1 경감리소스공급부로부터제 2 경감리소스공급부로경감리소스공급부를변경하는단계― 상기경감리소스공급부를변경하는단계는, ⅰ) 상기제 1 경감리소스공급부로부터상기경감리소스의흐름을중단(interrupt)하는단계, 및ⅱ) 상기제 2 경감리소스공급부로부터상기경감리소스의흐름을시작하는단계를포함함― ; 및 5) 상기경감리소스공급부를변경하는동안및 경감리소스공급부를변경한이후, 상기프로세스툴을이용한일련의프로세스단계들을계속해서수행하는단계를포함한다.

4. 发明公开

KR1020100031581A 전자 디바이스 제조 시스템들을 조립하고 작동시키는 방법들 및 장치 有权
标题翻译：组装和操作电子设备制造系统的方法和装置
公开(公告)号：KR1020100031581A
公开(公告)日：2010-03-23
申请号：KR1020097027012
申请日：2008-05-24
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 챈들러,필 , 클락,다니엘,오. , 베르묄렌,로버트,엠. , 정,제이,제이. , 존슨,로저,엠. , 스미스,제임스,엘. , 롤드,유세프,에이.
IPC分类号： G06F19/00
CPC分类号： G05B19/4184 , G05B2219/31386 , G05B2219/45026 , Y02P90/04 , Y02P90/14 , Y10T29/49826 , Y10T29/53048
摘要： A method for operating one or more electronic device manufacturing systems is provided, including the steps 1) performing a series of electronic device manufacturing process steps with a process tool, wherein the process tool produces effluent as a byproduct of performing the series of process steps; 2) abating the effluent with an abatement tool; 3) supplying an abatement resource to the abatement tool from a first abatement resource supply; 4) changing an abatement resource supply from the first abatement resource supply to a second abatement resource supply, wherein changing the abatement resource supply comprises: i) interrupting a flow of the abatement resource from the first abatement resource supply; and ii) beginning a flow of the abatement resource from the second abatement resource supply; and 5) continuing to perform the series of process steps with the process tool, while changing, and after changing, the abatement resource supply.
摘要翻译：提供了一种用于操作一个或多个电子设备制造系统的方法，包括以下步骤：1）使用工艺工具执行一系列电子设备制造工艺步骤，其中所述工艺工具产生流出物作为执行所述一系列工艺步骤的副产品; 2）用减排工具减轻废水; 3）从第一减排资源提供给减排工具的减排资源; 4）将减排资源供应从第一减排资源供应改为第二减排资源供应，其中改变减排资源供应包括：i）中断来自第一减排资源供应的减排资源的流动; 和ii）从第二减排资源供应开始减排资源的流动; 5）在改变和改变减排资源供应的同时，继续与流程工具一起执行一系列流程步骤。

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