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    • 3. 发明授权
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    • 홍태선한종호서평보이종성김광진
    • B81B7/02B81B7/00H01L23/48
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    • 본발명에따르면, 부품실장및 회로패턴을위한스택공간(111)이일측면에마련된베이스부(110); 신호선(121)과전원선(122)을포함하며상기베이스부(110)의일측면에회로패턴된회로라인부(120); 및상기베이스부(110)의일측에실장되어소정의 MEMS 기능을구현하는 MEMS 구조물(130)을포함하고, 상기베이스부(110)의스택공간(111)은, 상기회로패턴을위한패턴영역(112)과부품실장을위한비패턴영역(113)으로구분되어일측에마련되고, 상기 MEMS 구조물(130)은, 상기베이스부(110)의일측면상에서상기비패턴영역(113) 내에배치되어상기베이스부(110)와전기적으로접속하면서상기 MEMS 기능을구현하며, 상기회로라인부(120)의신호선(121)은상기베이스부(110)의일측면상에서상기 MEMS 구조물(130)과상하로대향하지않도록상기패턴영역(112)에회로패턴되는 MEMS 패키지를개시한다.
    • 根据本发明,设置在用于部件安装和电路图案的堆叠空间111的一侧上的基座部分110; 包括信号线121和电力线122并且在基部110的侧表面上图案化的电路线部分120; 和堆栈区域111,对于基座部分110的电路图案的图案区域被安装在uiil侧包括MEMS结构130用于实现预定的MEMS功能,和基部110( 图案区域113位于基部110的一侧。MEMS结构130设置在基部110的一侧的非图案区域113中, 并且MEMS结构130电连接到MEMS结构130,使得电路线单元120的信号线121不面向MEMS结构130 如图所示,