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    • 8. 发明授权
    • 와이어본딩용 트랜스듀서 어셈블리
    • 用于引线接合的传感器组件
    • KR100996958B1
    • 2010-11-29
    • KR1020080109658
    • 2008-11-06
    • 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사
    • 임덕인권유진김지현
    • H01L21/60
    • H01L2224/48247H01L2224/49171H01L2224/78H01L2224/78301H01L2224/85H01L2224/85205H01L2924/01033H01L2924/01082H01L2924/10162H01L2924/00H01L2924/00012
    • 본 발명은 와이어본딩용 트랜스듀서 어셈블리에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기존의 Y축 방향의 초음파 진동 뿐만 아니라 X축 방향의 진동을 발생시켜 와이어본딩시 본딩품질을 향상시킬 수 있는 와이어본딩용 트랜스듀서 어셈블리에 관한 것이다.
      이를 위해, 본 발명은 고주파발진기와 연결되어 고주파 진동을 발생시키는 제1진동자와, 상기 제1진동와 수직방향으로 이격 설치된 제2진동자; 상기 제1진동자 및 제2진동자에 결합되어 진동자에서 발생한 고주파를 전달하는 제1 및 제2트랜스듀서 바디; 상기 제1트랜스듀서 바디와 결합되고, 일단부로 갈수록 직경이 작아지게 형성되어 초음파 에너지가 끝단에 집중되는 혼; 상기 혼의 단부에 고정되고, 와이어가 관통되어 와이어 본딩을 수행하는 캐필러리를 포함하고, 상기 제1진동자 및 제2진동자는 서로 수직방향으로 진동하여, 상기 각 진동자에 의해 발생된 고주파가 X축 또는 Y축방향으로 캐필러리에 전달되는 것을 특징으로 하는 와이어본딩용 트랜스듀서 어셈블리를 제공한다.
      와이어본딩, 트랜스듀서, 초음파, 혼, 캐필러리, 진동자
    • 目的:提供用于引线接合的传感器组件,以通过不仅产生Y轴上的超音速振动,而且在x轴上产生引线接合中的接合质量。 构成:第一振动器(16)连接到高频振荡器并产生高频振荡。 第二振动器(13)在垂直方向与第一振动器分离。 第一和第二换能器本体(12,15)与第一和第二振动器组合并且传递在第一和第二振动器中产生的高频。 喇叭(11)与第一换能器本体组合。 毛细管(10)进行引线接合。 由每个振动器产生的高频被传送到X轴或Y轴上的毛细管。