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    • 전자부품유지부의압압력과이동량을 ?은정밀도로제어할수 있는전자부품접합장치를제공한다. 전자부품(M)를유지하는전자부품유지부(8)을기판(P)에향해승강이동하는전자부품승강기구(2)를가지며, 전자부품(M)를, 기판(P)에서이간한위치로부터전자부품(M)의전자부품전극(M1)와기판(P)의기판전극(P1)가접촉하는위치까지이동시켜, 전자부품전극(M1)와기판전극(P1)를열용융이가능한금속을통하여접합하는전자부품접합장치(1)에있어서, 전자부품승강기구(2)는, 전자부품전극(M1)와기판전극(P1)의사이의거리가소정의거리(D1)가될 때까지전자부품유지부(8)을높은속도로이동시키는고속이동기구(6)과, 전자부품전극(M1)와기판전극(P1)의사이의거리가소정의거리(D1)가된 후, 높은속도보다낮은속도로전자부품유지부(8)을이동시키고구동원이피에조소자인피에조구동부(7)를가진다.
    • 本发明提供一种电子部件接合装置,其能够控制电子部件保持部的按压力和移动量为银密度。 一种电子部件,(M)和保持单元(8)的基板(P)升式移动电子部件升降机构(2),电子元件(M)的电子部件具有朝向保持,从甘寒位置该基板(P) 它移动到一个位置,其中所述衬底电极上的电子部件的电子部件的电极的(P1)(M1)wagi板(P)(M)是在接触时,通过将电子部件的电极(M1)wagi板电极(P1)reulyeol熔体是一种金属 电子部件升降机构2被构造成维持电子部件直到电子部件电极M1与刮刀电极P1之间的距离达到预定距离D1, 高速移动机构6以及用于以高速以预定的距离(D1)(8)比所述高速移动的一部分,以较低的速度的电子元件电极(M1)wagi板电极(P1)之间的伪距离之后 并且,使电子部件保持部8移动并且驱动源为压电元件的压电驱动部7。