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    • 7. 发明专利
    • 塗布装置および塗布方法
    • 涂料设备和涂料方法
    • JP2015186771A
    • 2015-10-29
    • JP2014064321
    • 2014-03-26
    • 東京エレクトロン株式会社
    • 宮崎 一仁柿野 彰
    • B05C5/00G02B5/20B05D1/26B05D3/00H05B33/10H01L51/50B05C11/00
    • G06T7/0024G01B11/0616G05B19/402G06T7/73G05B2219/37572G05B2219/45013G06T2207/30164
    • 【課題】基板上に形成されたバンク内に塗布材を精度良く塗布すること。 【解決手段】第1撮像部は、ステージ上に載置された基板を撮像する。第2撮像部は、第1撮像部よりも狭い画角かつ高い分解能で、ステージ上に載置された基板を撮像する。制御部は、基板上に設けられた円形のプリアライメントマークを第1撮像部を用いて撮像し、撮像された画像に基づいて移動機構および回転機構を制御して基板の位置合わせを行うプリアライメント処理と、プリアライメント処理後、基板上に設けられた円形のファインアライメントマークを第2撮像部を用いて撮像し、撮像された画像に基づいて移動機構および回転機構を制御して基板の位置合わせを行うファインアライメント処理とを実行する。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:以高精度将涂料施加到形成在基板上的堤的内部。解决方案:第一成像部件将放置在台架上的基板成像。 第二成像部件以比第一成像部件的场角窄的场角和比第一成像部件的分辨率高的分辨率对放置在舞台上的衬底进行成像。 控制部分执行:使用第一成像部分对设置在基板上的圆形预对准标记进行成像的预对准处理,以及基于所捕获的图像来控制移动机构和旋转机构以使基板对准; 并且在预对准处理之后,使用第二成像部分对设置在基板上的圆形精细对准标记进行成像的精细对准处理,并且基于所捕获的图像来控制移动机构和旋转机构以使基板对准。