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1. 发明申请

WO2019019204A1 储热单元审中-公开
公开(公告)号：WO2019019204A1
公开(公告)日：2019-01-31
申请号：PCT/CN2017/095534
申请日：2017-08-02
申请人：西安交通大学
发明人：王秋旺 , 蒲宇辰 , 王作为 , 朱子良 , 张卓 , 朱蕾 , 张猛威 , 马挺 , 李馨怡
IPC分类号： F28D20/02 , F28F13/12
CPC分类号： F28D20/021 , F28F13/12 , F28F2250/08 , H01S3/0407 , H01S3/041 , Y02E60/145
摘要：一种储热单元，至少包括单层封闭壳体（2）。其中，封闭壳体（2）具有至少一个换热面（8，9）和非换热面，泡沫骨架（4）填充在其内部空间中。相变介质（6）均匀分布在泡沫骨架（4）的空隙中，与泡沫骨架（4）形成复合材料，以获得比单纯相变介质更高的导热系数。超声波发生装置（05）发出超声波，诱导由形状记忆合金制成的振动颗粒（3）产生振动，将液态相变介质（6）的流态由自然对流或纯导热转化为强制对流，同时利用超声波的空化和声流效应提高液态相变介质的对流表面传热系数，提高单位体积储热效率。

2. 发明申请

WO2017075934A1 一种半导体泵浦放电气体激光器审中-公开
公开(公告)号：WO2017075934A1
公开(公告)日：2017-05-11
申请号：PCT/CN2016/077104
申请日：2016-03-23
申请人：华中科技大学
发明人：陈汉元 , 秦应雄 , 彭浩 , 万辰皓 , 龙思琛 , 巫详曦 , 唐霞辉
IPC分类号： H01S3/0941 , H01S3/0977
CPC分类号： H01S3/0323 , H01S3/034 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0388 , H01S3/0404 , H01S3/0405 , H01S3/0407 , H01S3/041 , H01S3/094084 , H01S3/0941 , H01S3/09415 , H01S3/0943 , H01S3/09713 , H01S3/0975 , H01S3/2207
摘要：一种半导体激光泵浦放电气体激光器，包括半导体激光器（1），光学整形系统（2），电极对（4），放电管（5），匹配网络（7），射频电源（8），尾镜（9）和输出镜（10）。放电管内充有工作气体，电极对平行对称放置于放电管外，半导体激光为泵浦光，泵浦光中心波长与放电管内工作气体射频放电后产生的气体粒子吸收谱线相匹配，从放电管与电极对之间的侧面注入至放电管内。放电管内腔具有对半导体泵浦激光的高反特性。这样，可以有效克服高功率连续单模激光、高功率皮秒飞秒激光的非线性效应，降低碱金属蒸汽激光器对人和环境的不利影响，同时可以实现具有高脉冲能量、高光束质量、高量子效率、高泵浦效率、良好的大气与光纤传输特性的超高功率激光输出。

3. 发明申请

WO2017005463A1 LITHOGRAPHIC APPARATUS 审中-公开
标题翻译： LITHOGRAPHIC设备
公开(公告)号：WO2017005463A1
公开(公告)日：2017-01-12
申请号：PCT/EP2016/063621
申请日：2016-06-14
申请人： ASML NETHERLANDS B.V.
发明人： JANSSEN, Franciscus, Johannes, Joseph , DE LA ROSETTE, Johannes, Paul, Marie , KADIJK, Edwin, Cornelis , LALLEMANT, Nicolas, Alban , LIEFOOGHE, Jan , MATTHES, Markus, Rolf, Werner , MUITJENS, Marcel, Johannus, Elisabeth, Hubertus , STEIJNS, Hubert, Matthieu, Richard , VAN DE VELDE, André, Gillis , VAN DEN BRINK, Marinus, Aart
IPC分类号： G03F7/20 , B23K26/14 , H01S3/097 , H01S3/134 , H01S3/223 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/04 , H01S3/041
CPC分类号： G03F7/70891 , F28C1/08 , G03F7/70025 , G03F7/70033 , G03F7/708 , G03F7/70858 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0407 , H01S3/041 , H01S3/2232 , H01S3/2308 , H05G2/008
摘要： A lithographic apparatus comprising an illumination system configured to condition a radiation beam, a support structure constructed to support a patterning device, the patterning device being capable of imparting the radiation beam with a pattern in its cross-section to form a patterned radiation beam, a substrate table constructed to hold a substrate, and a projection system configured to project the patterned radiation beam onto the substrate, the lithographic apparatus being provided with a first cooling fluid circuit which is configured to cool components to a first temperature, and provided with a second cooling fluid circuit which is configured to cool components to a second temperature that is lower than the first temperature.
摘要翻译：一种光刻设备，包括被配置为调节辐射束的照明系统，构造成支撑图案形成装置的支撑结构，所述图案形成装置能够在其横截面中赋予辐射束图案以形成图案化的辐射束，衬底台，其被构造成保持衬底;以及投影系统，被配置为将所述图案化的辐射束投影到所述衬底上，所述光刻设备设置有第一冷却流体回路，所述第一冷却流体回路被配置为将部件冷却至第一温度，冷却流体回路，其构造成将部件冷却至低于第一温度的第二温度。

4. 发明申请

WO2016143033A1 高電圧パルス発生装置审中-公开
标题翻译：高电压脉冲发生装置
公开(公告)号：WO2016143033A1
公开(公告)日：2016-09-15
申请号：PCT/JP2015/056831
申请日：2015-03-09
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：梅田　博
IPC分类号： H01F27/10 , H01F30/00 , H01S3/097 , H02M9/06
CPC分类号： H01F27/322 , H01F27/12 , H01F27/16 , H01F27/324 , H01F38/023 , H01S3/0407 , H01S3/041 , H01S3/09702 , H01S3/0971 , H01S3/225
摘要：磁気回路の小型化を図る。　高電圧パルス発生装置は、ガスレーザ装置のレーザチャンバ内に配置された１対の放電電極間にパルス状の高電圧を印加する高電圧パルス発生装置であって、磁気コアと、内部に冷媒流路を含み前記磁気コアの周囲を覆う絶縁部材と、前記絶縁部材の周囲に巻かれる巻線と、を含む磁気回路を備えてもよい。
摘要翻译：本发明能够实现磁路的小型化。提供一种高压脉冲发生装置，其在设置在气体激光装置的激光室内的一对放电电极之间施加脉冲高压，其中，高压脉冲发生装置也可以设置有磁路包括：磁芯; 绝缘构件内部包括制冷剂通道并覆盖磁芯的周围; 以及缠绕在绝缘构件上的绕组。

5. 发明申请

WO2015186480A1 レーザチャンバ审中-公开
标题翻译：激光室
公开(公告)号：WO2015186480A1
公开(公告)日：2015-12-10
申请号：PCT/JP2015/063602
申请日：2015-05-12
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：對馬　弘朗 , 柿崎　弘司 , 松永　隆 , 浅山　武志 , 勝海　久和 , 梅田　博 , 池田　宏幸
IPC分类号： H01S3/038 , H01S3/041
CPC分类号： H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0384 , H01S3/0407 , H01S3/041 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/09702 , H01S3/09713 , H01S3/134 , H01S3/225
摘要：　放電効率を向上させる。　レーザチャンバは、第１空間と前記第１空間に連通する第２空間とを含むレーザチャンバであって、前記第１空間内に配置された第１放電電極と、前記第１空間内で前記第１放電電極に対向して配置された第２放電電極と、前記第１空間内に配置され、前記第１放電電極と前記第２放電電極との間にレーザガスを流すファンと、前記第２空間内に配置されたピーキングコンデンサと、前記第１空間と前記第２空間とを区切る電気絶縁部材であって、前記第１空間と前記第２空間との間を前記レーザガスが通気可能に配置された電気絶縁部材と、を備えてもよい。
摘要翻译：本发明提高了排出效率。一种激光室，包括与第一空间连通的第一空间和第二空间。激光室还可以包括布置在第一空间内的第一放电电极，布置在第一空间内部以与第一放电电极相对的第二放电电极，布置在第一空间内的风扇，第一放电电极和第二放电电极之间的激光气体，布置在第二空间内的峰值电容器，以及分隔第一空间和第二空间并且被配置为使得激光气体可以通过的电绝缘构件在第一空间和第二空间之间。

6. 发明申请

WO2015068205A1 レーザ装置及び非一過性のコンピュータ読み取り可能な記録媒体审中-公开
标题翻译：激光设备和非终端计算机可读存储介质
公开(公告)号：WO2015068205A1
公开(公告)日：2015-05-14
申请号：PCT/JP2013/079912
申请日：2013-11-05
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：黒須　昭彦 , 松永　隆 , 増田　浩幸 , 若林　理 , 對馬　弘朗 , 八代　将徳 , 太田　毅
IPC分类号： H01S3/00 , H01S3/03 , H01S3/097
CPC分类号： H01S3/036 , H01S3/03 , H01S3/0404 , H01S3/0407 , H01S3/041 , H01S3/08009 , H01S3/08031 , H01S3/09702 , H01S3/0971 , H01S3/104 , H01S3/1306 , H01S3/134 , H01S3/2258
摘要：　レーザ装置は、前記レーザ装置によって消費される電力及び前記レーザ装置によって消費される電力量の少なくとも一つを表示するように構成されたディスプレイを含む、レーザ装置であってもよい。
摘要翻译：激光装置可以包括被配置为显示由激光装置消耗的电功率和激光装置消耗的电能量中的至少一个的显示器。

7. 发明申请

WO2013144677A8 LASER APPARATUS 审中-公开
标题翻译：激光装置
公开(公告)号：WO2013144677A8
公开(公告)日：2013-11-21
申请号：PCT/IB2012002758
申请日：2012-12-19
申请人： GIGAPHOTON INC
发明人： NOWAK KRZYSZTOF , WAKABAYASHI OSAMU
IPC分类号： H01S3/23 , G02F1/35 , H01S3/00 , H01S3/03 , H01S3/038 , H01S3/041 , H01S3/0971 , H01S3/223
CPC分类号： H01S3/005 , H01S3/0064 , H01S3/0315 , H01S3/038 , H01S3/041 , H01S3/2232 , H01S3/2316 , H01S3/2366 , H05G2/005 , H05G2/008
摘要： A laser apparatus may include a master oscillator (310) configured to output a laser beam, at least one amplifier (320) provided in a beam path of the laser beam, at least one saturable absorber gas cell (330) provided downstream from the at least one amplifier (321) and configured to contain a saturable absorber gas for absorbing a part of the laser beam, the part having a beam intensity equal to or lower than a predetermined beam intensity, and a cooling unit (3304,3305) for cooling the saturable absorber gas. The saturable absorber gas cell (330) includes a chamber (3301) filled with saturable absorber gas (3308) and delimited by input/output windows (3302,3303). Furthermore, the chamber comprises a pair of cooling plates (3304,3305). The cooling plates have flow channels (3306,3307) for water cooling.
摘要翻译：激光装置可以包括被配置为输出激光束的主振荡器（310），设置在激光束的光束路径中的至少一个放大器（320），设置在激光束的下游的至少一个可饱和吸收器气体单元（330）至少一个放大器（321），并且被配置为包含用于吸收激光束的一部分的可饱和吸收剂气体，所述部件具有等于或低于预定光束强度的光束强度，以及用于冷却的冷却单元（3304,3305）可饱和吸收气体。可饱和吸收器气体池（330）包括填充有可饱和吸收气体（3308）并由输入/输出窗口（3302,3303）限定的室（3301）。此外，腔室包括一对冷却板（3304,3305）。冷却板具有用于水冷却的流动通道（3306,3307）。

8. 发明申请

WO2011047286A3 CYLINDRICAL LASER WITH HIGH FREQUENCY DISCHARGE EXCITATION 审中-公开
标题翻译：具有高频放电激励的圆柱形激光器
公开(公告)号：WO2011047286A3
公开(公告)日：2011-08-25
申请号：PCT/US2010052879
申请日：2010-10-15
申请人： KRASNOV ALEXANDER V
发明人： KRASNOV ALEXANDER V
IPC分类号： H01S3/03 , H01S3/0943 , H01S3/0951 , H01S3/0979
CPC分类号： H01S3/032 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/041
摘要： Disclosed is a subsonic transfer gas flow laser utilizing high frequency discharge excitation (HFDE) applied in a narrow gap of gas dynamic channel formed between two parallel non-concentric cylindrical vessels. The laser body consists of an external cylindrical metal vessel and an internal cylindrical dielectric vessel positioned interior to the external vessel. The vessels are sealed and form an aerodynamic channel for a closed loop circulation of a laser gas medium which circulates through the channel via a turbo blower. An electrode-less cavity design is utilized by placing a single electrode on the external surface of cylindrical dielectric vessel and the dielectrically insulated external metal vessel is electrically grounded. The optical resonator is placed within or partially downstream or entirely downstream of the plasma chamber. The gas dynamic channel within the optical resonator cavity may have the angle of opening along the gas flow direction.
摘要翻译：公开了一种亚音速转移气流激光器，其利用在两个平行的非同心圆柱形容器之间形成的气体动态通道的狭窄间隙中应用的高频放电激励（HFDE）。激光器主体由外部圆柱形金属容器和位于外部容器内部的内部圆柱形电介质容器组成。容器被密封并且形成用于通过涡轮鼓风机在通道中循环的激光气体介质的闭环循环的空气动力学通道。通过将单个电极放置在圆柱形电介质容器的外表面上来利用无电极腔体设计，并且介电绝缘的外部金属容器被电接地。光学谐振器放置在等离子体室内或部分地位于下游或完全位于等离子体室的下游。光学谐振腔内的气体动态通道可以具有沿着气流方向的开口角度。

9. 发明申请

WO2006105119A2 6 KHz AND ABOVE GAS DISCHARGE LASER SYSTEM 审中-公开
标题翻译： 6 KHz和以上气体放电激光系统
公开(公告)号：WO2006105119A2
公开(公告)日：2006-10-05
申请号：PCT/US2006/011339
申请日：2006-03-27
申请人： CYMER, INC. , UJAZDOWSKI, Richard, C. , NESS, Richard, M. , ALGOTS, J., Martin , FLEUROV, Vladimir, B. , PALENSCHAT, Frederick, A. , GILLESPIE, Walter, D. , MOOSMAN, Bryan, G. , STEIGER, Thomas, D. , SMITH, Brett, D. , MCKELVY, Thomas, E.
发明人： UJAZDOWSKI, Richard, C. , NESS, Richard, M. , ALGOTS, J., Martin , FLEUROV, Vladimir, B. , PALENSCHAT, Frederick, A. , GILLESPIE, Walter, D. , MOOSMAN, Bryan, G. , STEIGER, Thomas, D. , SMITH, Brett, D. , MCKELVY, Thomas, E.
IPC分类号： H01S3/22 , H01S3/223
CPC分类号： H01S3/036 , H01F3/10 , H01F27/22 , H01F27/266 , H01F38/10 , H01S3/0404 , H01S3/041 , H01S3/097 , H01S3/09702 , H01S3/225 , H01S3/2308
摘要： A high pulse repetition rate gas discharge laser system pulse power system magnetic reactor may comprise a housing comprising a core containing compartment between an inner wall of the housing, an outer wall and a bottom wall of the housing; a cooling mechanism operative to withdraw heat from the at least one of the inner wall, outer wall and bottom of the housing; at least one two magnetic cores contained within the core containing compartment; a cooling fin disposed between each of the at least two magnetic cores; and a thermal conductivity enhancement mechanism intermediate at least one of each respective cooling fin and each respective core and a respective one of the inner wall, the outer wall or the bottom wall, the thermal conductivity enhancement mechanism comprising a band comprising a plurality of torsion spring or leaf spring elements.
摘要翻译：高脉冲重复率气体放电激光系统脉冲功率系统磁反应器可以包括壳体，该壳体包括在壳体的内壁，外壁和壳体的底壁之间的容纳核心的隔间; 冷却机构，用于从壳体的内壁，外壁和底部中的至少一个中提取热量; 至少一个两个磁芯包含在所述芯容纳室内; 设置在所述至少两个磁芯中的每一个之间的冷却翅片; 以及在每个相应的冷却翅片和每个相应的芯部以及内壁，外壁或底壁中的相应的一个中的至少一个的热导率增强机构，所述热导率增强机构包括包括多个扭转弹簧或板簧元件。

10. 发明申请

WO2005060055A3 GAS DISCHARGE LASER LIGHT SOURCE BEAM DELIVERY UNIT 审中-公开
标题翻译：气体放电激光光源光束输送单元
公开(公告)号：WO2005060055A3
公开(公告)日：2006-03-02
申请号：PCT/US2004042472
申请日：2004-12-15
申请人： CYMER INC , DAS PALASH P , AHMED KURSHID , FRANCIS GREGORY , GLATZEL HOLGER , LUKASHEV ALEXEI , TYLER JEREOMY D , WEBB R KYLE
发明人： DAS PALASH P , AHMED KURSHID , FRANCIS GREGORY , GLATZEL HOLGER , LUKASHEV ALEXEI , TYLER JEREOMY D , WEBB R KYLE
IPC分类号： G03F7/20 , H01S20060101 , H01S3/00 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/04 , H01S3/041 , H01S3/08 , H01S3/0943 , H01S3/097 , H01S3/0971 , H01S3/0975 , H01S3/102 , H01S3/104 , H01S3/105 , H01S3/11 , H01S3/13 , H01S3/134 , H01S3/139 , H01S3/22 , H01S3/223 , H01S3/225 , H01S3/23 , H01S3/09
CPC分类号： B23K26/12 , B23K26/128 , B23K26/705 , G01J1/04 , G01J1/0418 , G01J1/4257 , G01J2001/0285 , G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/7055 , G03F7/70575 , G03F7/70933 , H01S3/005 , H01S3/0057 , H01S3/0071 , H01S3/02 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0385 , H01S3/0404 , H01S3/041 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/0943 , H01S3/097 , H01S3/09705 , H01S3/0971 , H01S3/0975 , H01S3/104 , H01S3/105 , H01S3/1305 , H01S3/134 , H01S3/139 , H01S3/22 , H01S3/2207 , H01S3/223 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256 , H01S3/2258 , H01S3/2333 , H01S3/2366
摘要： A beam delivery unit and method of delivering a laser beam from a gas discharge laser systems comprise: a beam delivery enclosure; a purge mechanism operatively connected to the beam delivery enclosure; an in-situ beam parameter monitor and adjustment mechanism within the enclosure, comprising a retractable beam redirecting optic; a beam analysis mechanism external to the enclosure; and, a retraction mechanism within the enclosure and operable from outside the enclosure and operative to move the retractable beam redirecting optic from a retracted position out of the beam path to an operative position in the beam path. A beam attenuator unit contained within the enclosure adjustably mounted within the enclosure for positioning within the beam delivery path. The BDU may have at least two enclosure isolation mechanisms comprising a first and second enclosure isolation mechanism on a first and second side of the enclosure from the at least one optic module; the BDU may have at least two enclosure isolation mechanism comprising a flapper valve having a metal to metal seating mechanism and a locking pin assembly. A precision offset ratchet driver operative to manipulate actuator mechanisms in difficult to reach locations may be provided. An external kinematic alignment tool may be provided. A method of contamination control for a BDU is disclosed comprising selection of allowable materials and fabrication processes.
摘要翻译：从气体放电激光系统输送激光束的光束传送单元和方法包括：光束传送罩; 可操作地连接到射束输送罩的清洗机构; 壳体内的原位光束参数监视和调节机构，包括可伸缩光束重定向光学元件; 外壳外部的光束分析机构; 以及在所述外壳内的收缩机构，并且可从所述外壳的外部操作，并且可操作地将所述可伸缩的束重定向光学器件从缩回位置移出所述光束路径到所述光束路径中的操作位置。包含在外壳内的光束衰减器单元可调节地安装在外壳内，用于定位在光束输送路径内。 BDU可以具有至少两个机壳隔离机构，其包括第一和第二机壳隔离机构，所述第一和第二机壳隔离机构在所述外壳的所述至少一个光学模块的第一和第二侧上; BDU可以具有至少两个外壳隔离机构，其包括具有金属对金属座位机构和锁定销组件的挡板阀。可以提供操作来操作难以到达位置的致动器机构的精密偏移棘轮驱动器。可以提供外部运动学对准工具。公开了一种用于BDU的污染控制方法，包括选择允许的材料和制造工艺。

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