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1. 发明申请

WO2021036133A1 激光器审中-公开
公开(公告)号：WO2021036133A1
公开(公告)日：2021-03-04
申请号：PCT/CN2019/128717
申请日：2019-12-26
申请人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发明人：乔山 , 曾志男 , 梁晓燕
IPC分类号： H01S3/0959 , H01S3/097 , H01S3/22
摘要：一种激光器，包括：具有能量由低到高的基态、中间态及激发态的介质（2）；用于将介质（2）中的电子从基态激发至中间态的激励系统（3，4，5）；用于将介质（2）中处于不同空间位置的中间态的电子以固定的位相关系通过受激辐射过程退激至基态，发出相对波长更短的激光的激励激光器（1）。由于使用激励激光器（1）使电子从中间态跃迁，受激辐射产生的光子具有相干性，从而形成激光。通过采用激励系统（3，4，5）进行第一次泵浦再结合波长相对较长的激励激光器（1）进行第二次泵浦产生波长相对较短的激光，使短波长激光器的结构简单紧凑且易于实现，并可以降低短波长激光器的成本并实现具有更短波长的激光器。

2. 发明申请

WO2019174885A1 CONTROL SYSTEM AND METHOD 审中-公开
公开(公告)号：WO2019174885A1
公开(公告)日：2019-09-19
申请号：PCT/EP2019/054340
申请日：2019-02-21
申请人： ASML NETHERLANDS B.V.
发明人： GODFRIED, Herman, Philip , EVERTS, Frank , OP 'T ROOT, Wilhelmus, Patrick, Elisabeth, Maria
IPC分类号： H01S3/13 , H01S3/134 , G03F7/20 , H01S3/097 , H01S3/104
摘要： A control system for controlling a laser, comprising a sensor for sensing a physical value indicative of a characteristic of a laser beam emitted by the laser, a switch, a first controller and a second controller. Each controller is configured, to receive a further sensor value from the sensor, adjust a received setpoint value based on the received further sensor value to give an output value and cause the laser to operate in accordance with the output value. The switch is configured to switch between the controllers such that output values are provided from each controller in a cyclic fashion.

3. 发明申请

WO2019083722A1 METHOD OF AND APPARATUS FOR EXTENDING ELECTRODE LIFE IN A LASER CHAMBER 审中-公开
公开(公告)号：WO2019083722A1
公开(公告)日：2019-05-02
申请号：PCT/US2018/055078
申请日：2018-10-09
申请人： CYMER, LLC
发明人： DUFFEY, Thomas, Patrick , MELCHER, Paul, Christopher , GILLESPIE, Walter, Dale
IPC分类号： H01S3/225 , H01S3/09 , H01S3/097
摘要： Disclosed are methods of and apparatus for extending a useful lifetime of a laser discharge chamber in which a polarity of an electrode positioned at a fixed position within the chamber is caused to be positive with respect to the polarity of a second electrode defining a discharge gap with the first electrode and the first electrode is made of a material that forms an erosion resistant surface when the first electrode is used and an anode. Also disclosed is an arrangement in which a first electrode is positionable with respect a second electrode defining a discharge gap with the second electrode and the position of the first electrode controlled to maintain the width of the gap within a predetermined range.

4. 发明申请

WO2017119946A1 GAS MIXTURE CONTROL IN A GAS DISCHARGE LIGHT SOURCE 审中-公开
标题翻译：气体放散光源中的气体混合控制
公开(公告)号：WO2017119946A1
公开(公告)日：2017-07-13
申请号：PCT/US2016/060680
申请日：2016-11-04
申请人： CYMER, LLC
发明人： AHLAWAT, Rahul , AGGARWAL, Tanuj
IPC分类号： H01S3/036 , H01S3/097 , H01S3/225
CPC分类号： H01S3/036 , H01S3/0014 , H01S3/097 , H01S3/0971 , H01S3/10069 , H01S3/104 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2253 , H01S3/2255 , H01S3/2256 , H01S3/2258 , H01S3/2308
摘要： A gas discharge light source includes a gas discharge system that includes one or more gas discharge chambers. Each of the gas discharge chambers in the gas discharge system is filled with a respective gas mixture. For each gas discharge chamber, a pulsed energy is supplied to the respective gas mixture by activating its associated energy source to thereby produce a pulsed amplified light beam from the gas discharge chamber. One or more properties of the gas discharge system are determined. A gas maintenance scheme is selected from among a plurality of possible schemes based on the determined one or more properties of the gas discharge system. The selected gas maintenance scheme is applied to the gas discharge system. A gas maintenance scheme includes one or more parameters related to adding one or more supplemental gas mixtures to the gas discharge chambers of the gas discharge system.
摘要翻译：气体放电光源包括气体放电系统，其包括一个或多个气体放电室。气体排放系统中的每个气体排放室均填充有各自的气体混合物。对于每个气体放电室，通过激活其相关联的能量源将脉冲能量供应到相应的气体混合物，从而从气体放电室产生脉冲放大的光束。确定气体排放系统的一个或多个特性。基于确定的气体排放系统的一个或多个性质，从多种可能的方案中选择气体维护方案。选定的气体维护方案适用于气体排放系统。气体维护方案包括与将一种或多种补充气体混合物添加到气体排放系统的气体排放室有关的一个或多个参数。

5. 发明申请

WO2017100965A1 一种用于激光器的射频电源审中-公开
公开(公告)号：WO2017100965A1
公开(公告)日：2017-06-22
申请号：PCT/CN2015/000904
申请日：2015-12-14
申请人：徐海军
发明人：徐海军
IPC分类号： H01S3/097 , H01S3/03
CPC分类号： H01S3/03 , H01S3/097
摘要：一种用于激光器的射频电源，包括第一功率放大模块（1），第二功率放大模块（2），第三功率放大模块（3），第四功率放大模块（4），第五功率放大模块（5），第六功率放大模块（6），第一微带功率合成电路（7），第二微带功率合成电路（8），第三微带功率合成电路（9），射频输出匹配电路（10）和水冷散热器（11）。六个功率放大模块同时给出81.36MHz的射频功率电流，通过三个微带功率合成电路合成一路，然后通过电极输送给输出匹配微带电路，经过输出匹配微带电路匹配后输出到二氧化碳激光器。

6. 发明申请

WO2017046844A1 レーザシステム审中-公开
标题翻译：激光系统
公开(公告)号：WO2017046844A1
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：PCT/JP2015/076010
申请日：2015-09-14
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：梅田　博 , 若林　理
IPC分类号： H01S3/104 , H01S3/097
CPC分类号： H01S3/09702 , H01S3/097 , H01S3/104 , H01S3/225 , H01S3/2383
摘要：このレーザシステムは、第１のレーザ装置と、第２のレーザ装置と、第１の充電コンデンサに充電された充電電圧及び第２の充電コンデンサに充電された充電電圧を計測する共通の充電電圧計測部と、第１の充電コンデンサに充電された充電電圧及び第２の充電コンデンサに充電された充電電圧をそれぞれ降下させる少なくとも１つのブリード回路と、充電電圧計測部によって計測された電圧に基づいて少なくとも１つのブリード回路を制御するブリード回路制御部と、を備えてもよい。
摘要翻译：该激光系统可以设置有：第一激光装置; 第二激光装置; 公共充电电压测量单元，其测量充电到第一充电电容器的充电电压和充电到第二充电电容器的充电电压; 至少一个泄放电路，其分别降低充电到第一电容器的充电电压和充电到第二电容器的充电电压; 以及泄放电路控制单元，其基于由所述充电电压测量单元测量的电压来控制所述至少一个泄放电路。

7. 发明申请

WO2017035130A1 SYSTEM FOR RECLAIMING, REBALANCING AND RECIRCULATING LASER GAS MIXTURES USED IN A HIGH ENERGY LASER SYSTEM 审中-公开
标题翻译：在高能量激光系统中使用的回收，再分配和再循环激光气体混合系统
公开(公告)号：WO2017035130A1
公开(公告)日：2017-03-02
申请号：PCT/US2016/048169
申请日：2016-08-23
申请人： MATHESON TIR-GAS, INC.
发明人： VININSKI, Joseph , SCOTT, Dane
IPC分类号： H01S3/225 , H01S3/03 , H01S3/097
CPC分类号： H01S3/036 , H01S3/104 , H01S3/2207 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2255
摘要： The present invention relates to a system for recirculating the gas atmosphere within an excimer laser system, where contaminates, created in the laser's operation, are removed, and the gas concentrations of additive gases, such as Xe, Kr, or others, depleted in the laser operation, are rebalanced to specific lazing mixtures by analyzation and component replenishment from one or more external supplies.
摘要翻译：本发明涉及一种用于在准分子激光系统内再循环气体的系统，其中在激光器操作中产生的污染物被去除，并且诸如Xe，Kr等添加剂气体的气体浓度在激光操作通过一个或多个外部耗材的分析和部件补充来重新平衡到特定的混合物。

8. 发明申请

WO2016152738A1 高電圧パルス発生装置及びガスレーザ装置审中-公开
标题翻译：高电压脉冲发生器和气体激光器件
公开(公告)号：WO2016152738A1
公开(公告)日：2016-09-29
申请号：PCT/JP2016/058564
申请日：2016-03-17
申请人：国立大学法人長岡技術科学大学 , ギガフォトン株式会社
发明人：江　偉華 , 梅田　博 , 溝口　計 , 松永　隆 , 對馬　弘朗 , 大久保　智幸
IPC分类号： H01S3/097 , H02M9/04
CPC分类号： H01S3/09702 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/041 , H01S3/08009 , H01S3/0971 , H01S3/10069 , H01S3/134 , H01S3/225
摘要：　高電圧パルス発生装置は、パルストランスの１次側において互いに並列に接続されたｎ（ｎは２以上の自然数）個の１次側電気回路と、ガスレーザ装置のレーザチャンバ内に配置された一対の放電電極に接続された前記パルストランスの２次側電気回路と、を備え、ｎ個の１次側電気回路は、互いに並列に接続されたｎ個の１次側コイルと、ｎ個の１次側コイルにそれぞれ並列に接続されたｎ個のコンデンサと、ｎ個のコンデンサにそれぞれ直列に接続されたｎ個のスイッチと、を含み、ｎ個のコンデンサをそれぞれ充電するｎ個の充電器に接続され、２次側電気回路は、互いに直列に接続されたｎ個の２次側コイルと、ｎ個の２次側コイルの各両端にそれぞれ接続され一対の放電電極から２次側コイル側に向かって逆電流が流れることを抑制するｎ個のダイオードと、を含んでもよい。　
摘要翻译：高电压脉冲发生装置包括在脉冲变压器的初级侧彼此并联连接的n个初级侧电路（n为2以上的自然数），并且脉冲变压器的次级侧电路连接涉及设置在气体激光装置的激光室内的一对放电电极。 n个初级侧电路可以包括彼此并联连接的n个初级侧线圈，分别与n个初级侧线圈并联连接的n个电容器和分别与n个电容器串联连接的n个开关。 n个初级侧电路可以连接到分别对n个电容器充电的n个充电器。次级侧电路可以包括彼此串联连接的n个次级侧线圈，以及分别连接到n个次级侧线圈的两端的n个二极管，并且防止反向电流从一对放电电极朝向次级侧线圈。

9. 发明申请

WO2016151796A1 高電圧パルス発生装置及びガスレーザ装置审中-公开
标题翻译：高电压脉冲发生器和气体激光器件
公开(公告)号：WO2016151796A1
公开(公告)日：2016-09-29
申请号：PCT/JP2015/059106
申请日：2015-03-25
申请人：国立大学法人長岡技術科学大学 , ギガフォトン株式会社
发明人：江　偉華 , 梅田　博 , 溝口　計 , 松永　隆 , 對馬　弘朗
IPC分类号： H01S3/097 , H02M9/04
CPC分类号： H01S3/09702 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/041 , H01S3/08009 , H01S3/0971 , H01S3/10069 , H01S3/134 , H01S3/225
摘要：パルスレーザ光の発振効率を向上させ得る。　高電圧パルス発生装置は、ガスレーザ装置のレーザチャンバ内に配置された一対の放電電極間にパルス状の高電圧を印加する高電圧パルス発生装置であって、パルストランスの１次側において互いに並列に接続されたｎ（ｎは２以上の自然数）個の１次側電気回路と、前記一対の放電電極に接続された前記パルストランスの２次側電気回路と、を備え、前記ｎ個の１次側電気回路は、互いに並列に接続されたｎ個の１次側コイルと、前記ｎ個の１次側コイルにそれぞれ並列に接続されたｎ個のコンデンサと、前記ｎ個のコンデンサにそれぞれ直列に接続されたｎ個のスイッチと、を含み、前記２次側電気回路は、互いに直列に接続されたｎ個の２次側コイルと、前記一対の放電電極から前記２次側コイル側に向かって逆電流が流れることを抑制するダイオードと、を含んでもよい。
摘要翻译：本发明可以提高脉冲激光的振荡效率。高电压脉冲发生装置在布置在气体激光装置的激光室内的一对放电电极之间以脉冲的形式施加高电压。高电压脉冲发生装置包括在脉冲变压器的初级侧彼此并联连接的n个初级侧电路（n为2以上的自然数），并且脉冲变压器的次级侧电路连接到一对放电电极。 n个初级侧电路可以包括彼此并联连接的n个初级侧线圈，分别与n个初级侧线圈并联连接的n个电容器和分别与n个电容器串联连接的n个开关。次级侧电路可以包括彼此串联连接的n个次级侧线圈和用于防止反向电流从一对放电电极流动并且朝向次级侧线圈定向的二极管。

10. 发明申请

WO2016086183A1 SYSTEMS AND METHODS FOR SUPPLYING POWER TO AND COOLING DENTAL LASER SYSTEMS 审中-公开
标题翻译：用于供电和冷却牙科激光系统的系统和方法
公开(公告)号：WO2016086183A1
公开(公告)日：2016-06-02
申请号：PCT/US2015/062766
申请日：2015-11-25
申请人： CONVERGENT DENTAL, INC.
发明人： MONTY, Nathan, P. , GROVES, William, Harris
IPC分类号： H01S3/097 , H01S3/041 , H01S3/0971 , H01S3/104 , H01S3/223 , H01S3/03 , H01S3/04 , A61C1/00
CPC分类号： H01S3/1024 , A61C1/0046 , H01S3/0315 , H01S3/0407 , H01S3/041 , H01S3/09702 , H01S3/0971 , H01S3/0975 , H01S3/10046 , H01S3/104 , H01S3/2232
摘要： A dental laser system (12) is configured to provide high peak laser power, low duty cycle laser pulses, yielding a low average laser power and thus a reduced need for cooling. The laser power system may be configured to provide the electrical power required to produce the low average laser power and not the high peak laser power, and may include a capacitor bank section having at least one capacitor (50) configured to provide the electrical power needed to produce the high peak power laser pulses. The capacitors (50) are charged by a power supply comprising an AC filter (42) for removing noise and an AC-DC converter (44) charging the capacitors. At least 75% of the electrical power supplied to the laser should be delivered by the capacitors, the remainder directly from the AC-DC converter. The electrical power is supplied to the laser (12) by twisted lines (52,54) in order to reduce noise. The cooling system may be configured to provide laser cooling for the low average power level and thus may not require a refrigeration unit.
摘要翻译：牙科激光系统（12）被配置为提供高峰值激光功率，低占空比激光脉冲，产生低平均激光功率，从而降低对冷却的需要。激光功率系统可以被配置为提供产生低平均激光功率而不是高峰值激光功率所需的电功率，并且可以包括具有至少一个电容器（50）的电容器组部分，其被配置为提供所需的电功率以产生高峰值功率激光脉冲。电容器（50）由包括用于去除噪声的AC滤波器（42）的电源和对电容器充电的AC-DC转换器（44）充电。供应给激光器的电力的至少75％应由电容器传送，其余部分直接来自AC-DC转换器。电力通过扭绞线（52,54）提供给激光器（12），以减少噪音。冷却系统可以被配置为为低平均功率水平提供激光冷却，并且因此可以不需要制冷单元。

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